《電子技術(shù)應(yīng)用》
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臺積電5nm工藝2020年第一季度實現(xiàn)量產(chǎn)

2019-05-25
關(guān)鍵詞: 臺積電 EUV 制程 納米

5月23日,臺積電舉辦技術(shù)論壇,今年臺積電總產(chǎn)能將以7納米成長最多,第二代加入EUV的7納米預(yù)計第3季量產(chǎn),今年7納米總產(chǎn)能將增加1.5倍,達到100萬片約當(dāng)12吋晶圓。而5納米一期也已開始裝機,預(yù)計明年第1季量產(chǎn)。

對于制程技術(shù)進程,臺積電總裁魏哲家指出,臺積電7 納米制程技術(shù)已于去年量產(chǎn),目前市面看到的7 納米產(chǎn)品,都是由臺積電制造的,而7 納米加入EUV 的加強版也已完成,且良率已與第一代7 納米一樣;6 納米則是7 納米的優(yōu)化版本,矽智財(IP) 可與7 納米相容共用;5 納米則已完成試產(chǎn)。

臺積電發(fā)言人孫又文表示,5 納米預(yù)計明年第1 季量產(chǎn),而3 納米量產(chǎn)時間雖未定,但新技術(shù)推進時程約2 年時間,目前3 納米進展不錯,包括規(guī)格與制程技術(shù)等幾近界定完成。


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