在晶圓代工市場中,臺積電與三星的競爭始終是大家所關(guān)心的戲碼。其中,三星雖然有高通這樣的VIP 客戶,但在 7 納米制程節(jié)點上,高通預(yù)計會轉(zhuǎn)投回臺積電的情況下,三星要想受到更多的客戶的青睞,只能從工藝技術(shù)上著手了。
這也是三星為什么跳過非 EUV 技術(shù)的 7 納米制程,直接上 7 納米 LPP EUV 制程技術(shù)的原因。如今,三星終于公布了他的 7 納米 LPP 制程已經(jīng)完成了新斯科技(Synopsys)的物理認(rèn)證,意味著 7 納米 EUV 制程將可以進行全球量產(chǎn)了。
事實上,目前在全球的前幾大晶圓代工廠商中,英特爾的10 納米制程還沒搞定,因此距離 7 納米制程就更遙遠(yuǎn)了。而臺積電的 7 納米制程量產(chǎn)比較順利,會有蘋果、海思、高通、NVIDIA、AMD 等客戶陸續(xù)流片、量產(chǎn)。不過,臺積電的第一代 7 納米制程,使用的還是傳統(tǒng)的多重曝光技術(shù),一直必須到 2019 年得第 2 代 7 納米制程才會使用 EUV 光刻技術(shù)。
格羅方德方面也走臺積電相似的路線,預(yù)計2018 年量產(chǎn)的 7 納米 DUV 制程還是傳統(tǒng)的深紫外光刻技術(shù)。對此,號稱頻率可達 5GHz 的 AMD 7 納米 Zen 2處理器就會使用格羅方德的 7 納米制程技術(shù),2019 年初問世,2020年 的再下一代才是 7 納米 EUV 制程技術(shù)。
相對于其他競爭對手,三星在EUV 技術(shù)上是最積極的。也就是三星直接跳過了第一代非 EUV 光刻的 7 納米制程,直接使用加入 EUV 技術(shù)的 7 納米 LPP 制程,并且預(yù)定在 2018 年下半年正式量產(chǎn)。日前,新斯科技與三星已經(jīng)聯(lián)合宣布,三星使用的 7 納米 LPP 制程技術(shù)完成了 IC 驗證器的認(rèn)證工作了。
在三星完成這次的認(rèn)證之后,三星的7 納米 LPP 制程就可以立即提供認(rèn)證的技術(shù)資料,包括 DRC 設(shè)計規(guī)則檢查、LVS 布局與原理圖、金屬填充技術(shù)檔等等給予相關(guān)客戶,而這也意味著三星的 7 納米 LPP 制程正式進入可以量產(chǎn)的階段。
目前在EUV 光刻技術(shù)競爭激烈下,各家大廠搶 EUV 光刻機也成為重要經(jīng)營項目之一。根據(jù)之前的消息,ASML 的 EUV 光刻機中,臺積電訂購了大約 10 臺,三星訂購了大約 6 臺,英特爾訂購了 3 臺,而格羅方德的EUV訂單數(shù)量不詳,中芯國際也訂購了 1 臺 EUV 光刻機,將用于 7 納米制程技術(shù)研究上,預(yù)計 2019 年初交貨。而就在各家廠商手中都握有 EUV 光刻機的情況下,似乎未來在7納米節(jié)點上要勝出,就必須對比大家的最后的技術(shù)與管理能力了。