2017年12月11日， 佳能正式發(fā)售適用于i線半導(dǎo)體光刻機“FPA-5550iZ2”※1和KrF半導(dǎo)體光刻機“FPA-6300ES6a”※2的新產(chǎn)品——“200mm Option”。

i線半導(dǎo)體光刻機“FPA-5550iZ2”（2016年12月發(fā)售）和KrF半導(dǎo)體光刻機“FPA-6300ES6a”（2012年4月發(fā)售）兩款設(shè)備自發(fā)售以來，在存儲器、邏輯電路、圖像傳感器等物聯(lián)網(wǎng)和車載半導(dǎo)體元件生產(chǎn)制作等方面的優(yōu)勢，備受業(yè)界好評。從即日起，佳能將正式發(fā)售兩種機型通用的新品配件——“200mm Option”。

在存儲器和微處理器等半導(dǎo)體元件的制造領(lǐng)域，需要采用先進的微細(xì)加工技術(shù)，目前通常采用的是300mm晶圓規(guī)格。隨著物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用和車載設(shè)備的迅速普及，該領(lǐng)域的半導(dǎo)體元件市場需求也不斷擴大，而這個領(lǐng)域的半導(dǎo)體元件需要利用成熟的工藝進行多品種少量的生產(chǎn)，因此元件制造廠商迫切需要能夠應(yīng)對200mm晶圓需求的設(shè)備。

佳能發(fā)布對應(yīng)200mm 晶圓需求的新品配件"200mm Option"，能夠通用于i線半導(dǎo)體光刻機“FPA-5550iZ2”、KrF半導(dǎo)體光刻機“FPA-6300ES6a”,更廣泛地滿足客戶需求。

 ■實現(xiàn)業(yè)界高水準(zhǔn)※3的高生產(chǎn)效率

通過配備“200mm Option”，在200mm晶圓規(guī)格下，“FPA-5550iZ2”和“FPA-6300ES6a”最快曝光處理速度分別達到每小時230片※4和每小時255片※5。在實現(xiàn)了同級別光刻機中高水準(zhǔn)生產(chǎn)效率的同時也滿足了降低CoO※6（半導(dǎo)體制造設(shè)備投資和使用所需成本）的需求。

 ■在統(tǒng)一化平臺上可以輕松升級解決方案并使其多樣化

“FPA-5550iZ2”、“FPA-6300ES6a”自發(fā)售以來，由于使用了安全、高品質(zhì)的統(tǒng)一平臺, 因此能夠為運行中的設(shè)備提供解決方案，為提高生產(chǎn)效率和重合精度實現(xiàn)持續(xù)升級。

為不斷滿足客戶提高生產(chǎn)效率的需求，佳能今后也會持續(xù)地為半導(dǎo)體光刻機提供更加多樣化的解決方案和升級服務(wù)。

注釋：

※1  使用i線（水銀燈波長365nm）光源的半導(dǎo)體光刻機。1nm（納米）是10億分之1米。

※2  使用波長248nm，混合了稀有氣體氪（Kr）和鹵素氣體氟（F）的激光的半導(dǎo)體光刻機。

※3  同級別的i線半導(dǎo)體光刻機以及KrF半導(dǎo)體光刻機的范圍內(nèi)。截止2017年12月10日。（佳能數(shù)據(jù)）

※4  200mm晶圓,58Shot的條件下,每1小時的晶圓曝光處理片數(shù)。

※5  200mm晶圓,46Shot的條件下,每1小時的晶圓曝光處理片數(shù)。

※6 Cost of Ownership的縮略語。半導(dǎo)體制造設(shè)備投資和使用所需成本。是半導(dǎo)體廠商的生產(chǎn)線衡量工程和制造設(shè)備生產(chǎn)效率的指標(biāo)之一。

佳能集團介紹

佳能自1937年創(chuàng)業(yè)以來，始終秉承“共生”的企業(yè)理念，以創(chuàng)造世界一流產(chǎn)品為奮斗目標(biāo)，向多元化和全球化發(fā)展。目前，佳能的事業(yè)以光學(xué)技術(shù)為核心，涵蓋了辦公產(chǎn)品、影像系統(tǒng)產(chǎn)品、醫(yī)療系統(tǒng)業(yè)務(wù)以及產(chǎn)業(yè)設(shè)備及其他產(chǎn)品等廣泛領(lǐng)域。位于東京的集團總部與美洲、歐洲、亞洲、大洋洲以及日本的各區(qū)域總部緊密聯(lián)系，構(gòu)筑了全球化與本土化有機結(jié)合的經(jīng)營體制。1996年，佳能啟動了旨在實現(xiàn)以技術(shù)服務(wù)社會，成為全球范圍內(nèi)被信賴、受尊敬的企業(yè)為目標(biāo)的“全球優(yōu)良企業(yè)集團構(gòu)想”。 2017年是佳能成立80周年。目前佳能集團分布在世界各地的合并結(jié)算子公司已達373家公司，員工201,173人。（此數(shù)據(jù)截止至2017年6月30日）

佳能亞洲營銷集團介紹

佳能亞洲營銷集團是佳能五大營銷集團之一，所管轄亞洲機構(gòu)遍布中國、韓國、新加坡、泰國、馬來西亞、菲律賓、印度、越南、香港、臺灣等國家及地區(qū)，目前擁有12家集團公司，員工近7千人。在“感動常在”口號的指引下，佳能亞洲營銷集團始終以創(chuàng)造世界卓越產(chǎn)品和提供優(yōu)質(zhì)服務(wù)為奮斗目標(biāo)，積極推動事業(yè)向多元化和全球化發(fā)展，辦公產(chǎn)品、影像系統(tǒng)產(chǎn)品、醫(yī)療系統(tǒng)業(yè)務(wù)以及產(chǎn)業(yè)設(shè)備及其他產(chǎn)品等廣泛領(lǐng)域都發(fā)揮著巨大的作用。佳能亞洲營銷集團總部是位于北京的佳能（中國）有限公司，在佳能（中國）的帶領(lǐng)下，佳能亞洲營銷集團加強了多種經(jīng)營的戰(zhàn)略，在全球市場占有越來越重要的位置。（以上數(shù)據(jù)截止至2017年6月30日）

 佳能（中國）有限公司介紹

佳能的中國事業(yè)始于上個世紀(jì)70年代末。從最初的技術(shù)合作到獨資建廠再到成立銷售公司，經(jīng)歷了多種經(jīng)營模式的探索。1997年3月，佳能（中國）有限公司成立，全面負(fù)責(zé)佳能在中國市場銷售的各項工作。經(jīng)過多年努力，目前業(yè)務(wù)已經(jīng)覆蓋辦公產(chǎn)品、影像系統(tǒng)產(chǎn)品、醫(yī)療系統(tǒng)業(yè)務(wù)以及產(chǎn)業(yè)設(shè)備及其他產(chǎn)品四大領(lǐng)域，已基本建成以6大區(qū)域總部為核心30個分支機構(gòu)以及8個展廳、6個快修中心、5個特約快修中心、9個快捷服務(wù)站等組成的銷售服務(wù)網(wǎng)絡(luò)。2017年是佳能（中國）成立20周年，公司將深深植根于中國市場，致力于成為一家被中國人民信賴、尊敬的企業(yè)。（以上數(shù)據(jù)截止至2017年6月30日）