近年來(lái)，新型高壓大電流集成放大器廣泛使用于壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源的設(shè)計(jì)中，然而壓電元件表現(xiàn)出的電容性和功率運(yùn)放較高的輸入失調(diào)電壓（幾十毫伏），使得壓電陶瓷電源控制存在精度不高、穩(wěn)定性較差以及非線性失真等缺點(diǎn)。而且模擬信號(hào)發(fā)生器的頻率分辨率低且跟蹤遲滯[1]，也降低了壓電陶瓷的動(dòng)態(tài)響應(yīng)速度。因此設(shè)計(jì)一種高精度、穩(wěn)定性好的數(shù)控壓電陶瓷電源是實(shí)現(xiàn)微位移控制、非線性檢測(cè)以及微機(jī)電系統(tǒng)轉(zhuǎn)換的關(guān)鍵[2]。

1 壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源
    壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源由自適應(yīng)數(shù)字信號(hào)發(fā)生器、D/A轉(zhuǎn)換、復(fù)合放大器、高壓直流電源、相位補(bǔ)償和保護(hù)電路等組成，如圖1所示。其中復(fù)合式放大器優(yōu)化了前級(jí)輸入結(jié)構(gòu)，采用高精度低漂移的低壓運(yùn)放與高壓集成功率運(yùn)算放大器級(jí)聯(lián)，在高電壓大電流驅(qū)動(dòng)壓電負(fù)載的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)較高的線性控制精度和動(dòng)態(tài)響應(yīng)特性。

1.1 數(shù)字信號(hào)發(fā)生器
    壓電陶瓷元件工作頻率受溫度、負(fù)載和接觸面的影響較大，因此信號(hào)發(fā)生器應(yīng)具備頻率跟蹤功能，以實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)工作頻率。圖2所示為一種數(shù)字式自適應(yīng)信號(hào)發(fā)生器的原理框圖[1]。其工作過(guò)程為：從取樣電阻Rs處得到與輸出電流成正比的電壓信號(hào)Smp，該采樣信號(hào)與循環(huán)計(jì)數(shù)器經(jīng)D/A產(chǎn)生的鋸齒波比較，得到一個(gè)脈沖信號(hào)，脈沖后沿將此循環(huán)計(jì)數(shù)值存放至鎖存器組，該值即為此時(shí)刻模擬采樣信號(hào)對(duì)應(yīng)的數(shù)字量。循環(huán)計(jì)數(shù)器每隔128個(gè)周波，更新一次數(shù)字量，相鄰時(shí)刻的兩個(gè)數(shù)字量送入極值比較器，則可判斷電流變大（1）或減少（0），比較結(jié)果(1或0)通過(guò)D觸發(fā)器來(lái)調(diào)整頻率控制計(jì)數(shù)器方向，確定頻率控制字的增減，自適應(yīng)地實(shí)時(shí)調(diào)整頻率。調(diào)整后的頻率控制字查找波形數(shù)據(jù)表，輸出12位數(shù)字量經(jīng)D/A轉(zhuǎn)換產(chǎn)生正弦波、方波和其他波形信號(hào)。該信號(hào)發(fā)生器由全數(shù)字硬件電路實(shí)現(xiàn)，分辨率高，工作頻率穩(wěn)定且無(wú)溫度漂移現(xiàn)象。

1.2 復(fù)合放大器
    PA04是Cirrus Logic公司生產(chǎn)的一種高電壓MOSFET功率運(yùn)算放大器，工作電壓高達(dá)200 V，峰值輸出電流為20 A，轉(zhuǎn)換率為50 V/μs，最大輸入失調(diào)電壓可達(dá)10 mV，因輸入特性不能滿足分辨率為10 mV以下的高精度壓電驅(qū)動(dòng)電源的要求，所以需配合其他器件使用。OP07是一種低噪聲、高精度的單片運(yùn)算放大器，轉(zhuǎn)換率為0.17 V/μs，輸入級(jí)可提供75 μV的高精度輸入失調(diào)電壓和漂移，能高增益地放大微弱信號(hào)，而不需要偏置和調(diào)零，這種特性使得OP07適合作前級(jí)放大器來(lái)控制精度和漂移。故本設(shè)計(jì)的復(fù)合放大器由高壓放大器PA04和低漂移高精度OP07運(yùn)放級(jí)聯(lián)組成[2-3]，形成一個(gè)具有反饋的復(fù)合式放大器，其中OP07是主放大器，而PA04用作升壓放大器，實(shí)現(xiàn)高精度和低漂移的高電壓電源的驅(qū)動(dòng)，如圖3所示。

    兩個(gè)串聯(lián)的高壓開(kāi)關(guān)DC電源為PA04提供±100 V直流電壓，OP07電源采用±15 V供電。為提高噪聲抑制能力，在復(fù)合放大器電源兩端分別并聯(lián)0.1 μF電容去耦。復(fù)合結(jié)構(gòu)放大器開(kāi)環(huán)增益AOL等于OP07開(kāi)環(huán)增益和PA04的閉環(huán)放大倍數(shù)之和，復(fù)合放大器小信號(hào)交流增益1/β由高精密電阻反饋電阻RFC和輸入電阻RIC之比確定。
 
1.3 相位補(bǔ)償設(shè)計(jì)
    如圖4所示，復(fù)合放大器的開(kāi)環(huán)增益與小信號(hào)交流增益1/β在閉合頻率fcl處交匯，該處環(huán)路增益Aβ為0 dB。當(dāng)復(fù)合放大器驅(qū)動(dòng)容性壓電負(fù)載時(shí)[3]，放大器的輸出阻抗Z0和容性負(fù)載CL會(huì)在開(kāi)環(huán)增益AOL的高頻段增加一個(gè)極點(diǎn)fp2=1/Z0CL，修正開(kāi)環(huán)增益曲線為AOL/C，圖4中在fcl(標(biāo)注為  )處閉合斜率差變?yōu)?0 dB/dec，大于20 dB/dec，相移接近180°，處于臨界穩(wěn)定狀態(tài)，很可能產(chǎn)生振蕩而損壞放大器，故對(duì)復(fù)合放大器進(jìn)行相位補(bǔ)償設(shè)計(jì)。

1.3.1 零點(diǎn)補(bǔ)償
    復(fù)合放大器的零點(diǎn)補(bǔ)償包括升壓放大器PA04和復(fù)合結(jié)構(gòu)的補(bǔ)償。為確保容性負(fù)載時(shí)PA04升壓放大器工作穩(wěn)定，對(duì)PA04的反饋電阻RF和并聯(lián)電容CF進(jìn)行零點(diǎn)補(bǔ)償[3-4]。本設(shè)計(jì)取CF為2 pF，放大器相位裕度大于45°；復(fù)合結(jié)構(gòu)反饋電阻RFC并聯(lián)反饋電容CFC，形成零點(diǎn)補(bǔ)償電路。該補(bǔ)償結(jié)構(gòu)使1/β曲線在fp5=1/2?仔RFCCFC處以20 dB/dec速度下插，與AOL/C曲線相交得到40 dB/dec，但仍然大于20 dB/dec,故復(fù)合放大器不穩(wěn)定，需要噪聲增益補(bǔ)償。

    放大器OP07輸入端用兩對(duì)IN4148二極管反接提供差模和共模保護(hù),防止來(lái)自 CFC 的瞬態(tài)過(guò)壓。OP07 輸出端使用快速恢復(fù)二極管MUR160對(duì)瞬態(tài)過(guò)壓進(jìn)行保護(hù)，阻止來(lái)自CF的瞬態(tài)過(guò)壓通過(guò)PA04將OP07損壞；高壓放大器PA04輸出端可增加一對(duì)快恢復(fù)二極管UF4004，反向恢復(fù)時(shí)間應(yīng)小于100 ns，防止壓電負(fù)載由于機(jī)械壓力產(chǎn)生的電壓對(duì)放大器的沖擊，將尖峰電壓送回電源。
1.5 散熱性設(shè)計(jì)
    壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源的散熱設(shè)計(jì)主要考慮復(fù)合放大器的功耗，因壓電負(fù)載呈純?nèi)菪?功率因數(shù)很低,電源輸出功率幾乎全部消耗在放大器上，因此要選擇合適的散熱方式保證殼溫低于85 ℃。圖7為散熱設(shè)計(jì)分析模型，該模型將功率等效為電流，溫度等效為電壓，熱阻等

2 壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源的測(cè)試
    PSPICE軟件是一個(gè)多功能的數(shù)模混合電路試驗(yàn)平臺(tái)，具有快速、準(zhǔn)確的仿真能力，能方便、精確地判斷電路設(shè)計(jì)的正確性，故本設(shè)計(jì)采用PSpice V10.5來(lái)測(cè)試所設(shè)計(jì)的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源。
2.1 穩(wěn)定性測(cè)試
    信號(hào)發(fā)生器產(chǎn)生正弦波，幅度為5 V，頻率范圍為10 Hz~1 000 kHz，通過(guò)小信號(hào)增益電路測(cè)試[6]，輸出電壓Vo頻率特性曲線如圖8所示。在轉(zhuǎn)折頻率處未出現(xiàn)尖峰，表明相位裕度沒(méi)有下降。經(jīng)過(guò)峰峰值為1 V的階躍響應(yīng)測(cè)試，輸出端未觀察到過(guò)沖或振蕩，故系統(tǒng)在工作頻帶范圍內(nèi)是穩(wěn)定的。

圖中可看出輸出電壓與輸入信號(hào)成線性關(guān)系，其相關(guān)系數(shù)為0.999，表明放大器具有較好的線性度，達(dá)到設(shè)計(jì)要求。
    數(shù)字跟蹤式壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源具有較高的頻率分辨率和跟蹤實(shí)時(shí)性，通過(guò)高精度低壓運(yùn)放與高壓放大器級(jí)聯(lián)的復(fù)合結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)高精度的驅(qū)動(dòng)電壓控制，同時(shí)合理的相位補(bǔ)償電路、保護(hù)電路和散熱設(shè)計(jì)保證了驅(qū)動(dòng)電源的穩(wěn)定性和可靠性。
參考文獻(xiàn)
[1] 滕旭東，傅友登，王弘輝，等.基于數(shù)字PWM的新型超聲波清洗電源的研制[J].電子技術(shù)應(yīng)用，2007，33(9)：154-157.
[2] 姚鵬，劉巖.針對(duì)容性壓電負(fù)載的橋式功率放大電路的設(shè)計(jì)[J].壓電與聲光，2011，33(2)：235-238.
[3] CIRRUS L.Stability for power amplifiers[EB/OL].[2009-02-27].http://www.cirrus.com/en/pubs/appNote/Apex_AN19U_D.pdf.
[4] CARTER B，MANCINI R著.運(yùn)算放大器權(quán)威指南(第3版)[M].姚劍清，譯.北京：人民郵電出版社，2010.
[5] CIRRUS L.General operating considerations[EB/OL].[2009-04-13].http://www.cirrus.com/en/pubs/appNote/Apex_AN01U_G.pdf.
[6] 楊雪鋒，李威，王禹橋，等.壓電陶瓷致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)電源的仿真及設(shè)計(jì)[J].微計(jì)算機(jī)信息(測(cè)控自動(dòng)化)，2009，25(1-1)：209-211.