去年臺積電是全球最大的純MEMS器件代工廠商，營業(yè)收入劇增201%，不但奪取了競爭對手的市場份額，而且創(chuàng)造了新的收入來源。
　　
　　據(jù)IHSiSuppli公司的MEMS競爭分析報告，2011年臺積電相關(guān)營業(yè)收入達(dá)到5300萬美元，遠(yuǎn)高于2010年的1760萬美元。該公司生產(chǎn)多種暢銷的MEMS傳感器和激勵器，包括3軸陀螺儀、加速計、MEMS麥克風(fēng)、壓力傳感器、片上實(shí)驗(yàn)室和噴墨打印頭。
　　
　　在12家提供MEMS制造業(yè)務(wù)的純代工廠商中，臺積電名列前茅。除了臺積電以外，去年MEMS營業(yè)收入增長的其它代工廠商包括SilexMicrosystems、TeledyneDalsa、InnovativeMicroTechnology、X-Fab,Tronics、JazzSemiconductor、Semefab和GlobalFoundries。營業(yè)收入下滑的廠商是Asia-Paci?cMicrosystems、Micralyne和tMtTouchMicrosystems，如表1所示。
　　
　　去年12家純MEMS代工廠商以及其它幾家廠商的總體營業(yè)收入為2.86億美元，比2010年的2.318億美元勁增23%。
　　
　　臺積電MEMS業(yè)務(wù)增長主要來自其客戶In¬venSense，臺積電為其生產(chǎn)3軸陀螺儀和6軸慣性測量單元(IMU)。這兩種MEMS器件對于智能手機(jī)和平板電腦等移動設(shè)備以及游戲都非常重要。愛普生最初是InvenSense的最大的3軸陀螺儀供應(yīng)商，直到去年受到日本3月地震的沖擊，使得臺積電乘虛而入并奪走了愛普生的市場。
　　
　　去年臺積電MEMS業(yè)務(wù)的另一個主要增長點(diǎn)是亞德諾半導(dǎo)體(ADI)。尤其是ADI得到蘋果iPad2平板電腦中的MEMS麥克風(fēng)設(shè)計訂單，讓臺積電受益非淺。
　　
　　對于全球最大的晶圓代工廠商臺積電來說，MEMS業(yè)務(wù)在其總體營業(yè)收入中所占份額仍然微不足道。然而，臺積電仍然特別熱衷于MEMS領(lǐng)域，尤其是因?yàn)樵摴疽呀?jīng)在主流半導(dǎo)體代工領(lǐng)域中占據(jù)了很大的份額。因此，它的增長前景有限，必須不斷尋找MEMS這樣的增長較快領(lǐng)域，以保持?jǐn)U張勢頭。臺積電最初決定從事MEMS制造是在2008年。
　　
　　Silex與TeledyneDalsa也取得了不錯的增長
　　
　　瑞典SilexMicrosystems是2011年排名第二的MEMS代工廠商，營業(yè)收入為4590萬美元，比2010年的3600萬美元增長28%。其增長主要來自用于光纖電信應(yīng)用的光學(xué)MEMS開關(guān)。
　　
　　這家瑞典代工廠商的用戶基礎(chǔ)很寬廣，有60多個客戶，其MEMS生產(chǎn)合同涉及的領(lǐng)域包括科學(xué)應(yīng)用、微型投影儀的掃描鏡、用于診斷的片上實(shí)驗(yàn)室、用于消費(fèi)產(chǎn)品的陀螺儀、用于血壓監(jiān)測的壓力監(jiān)視器、以及St.JudeMedicalandDebiotechS.A.的MEMS給藥系統(tǒng)。
　　
　　Silex也因及早押注硅通孔(TSV)技術(shù)而獲益。TSV是用于形成3D封裝與3D集成電路的一種高性能工藝。Silex是六年前在這種新工藝上面投入重金的首批MEMS代工廠商之一，因?yàn)槠涓挥羞h(yuǎn)見的行動而贏得許多客戶。目前其有效合同中，約有50%與TSV工藝有關(guān)。
　　
　　美國加州的TeleDyneDalsa排名第三，2011年MEMS營業(yè)收入為3700萬美元，比2010年的3090萬美元增長20%。光學(xué)MEMS也是其主要營收來源，該公司去年開始向市場領(lǐng)先廠商JDSU提供波長選擇開關(guān)可重構(gòu)光加/減復(fù)用器(WSSROADM)。
　　
　　加拿大Micralyne以前曾為JDSU代工生產(chǎn)WSSROADM器件。該產(chǎn)品用于在光纖網(wǎng)絡(luò)中增加、阻擋、傳遞或重定向經(jīng)調(diào)制的紅外與可見光束。這項(xiàng)MEMS合同占Micralyne的半數(shù)營業(yè)收入，失去這家客戶，導(dǎo)致其2011年MEMS營業(yè)收入銳減46%，從2010年的3130萬美元降至1680萬美元。其排名也從2010年的第二下滑至第六。
　　
　　Dalsa去年在汽車與醫(yī)療應(yīng)用壓力傳感器領(lǐng)域也取得了不錯的成績，而且迅速擴(kuò)大了其片上實(shí)驗(yàn)室市場。未來幾年，這家公司將因與各類伙伴的合作而受益，包括蒙特利爾謝布魯克大學(xué)、加拿大以及魁北克政府、工業(yè)伙伴IBMCanada。它與IBMCanada的合作將在一家微電子創(chuàng)新中心進(jìn)行，這個資金充足的中心將幫助Dalsa擴(kuò)充在200毫米晶圓及TSV工藝方面的專門知識。
　　
　　其它贏家與輸家
　　
　　除了上述三家廠商，2011年?duì)I業(yè)收入增長的MEMS代工廠商還排名第五的美國加州InnovativeMicroTechnology(IMT)、排名第七的德國7X-Fab、排名第八的法國Tronics、排名第10的美國加州JazzSemiconductor、排名第11的英國Semefab、排名第12的美國加州GlobalFoundries。
　　
　　這些廠商的營業(yè)收入增長率都處于比較強(qiáng)勁的兩位數(shù)，從11%直到178%。GlobalFoundries的營收增長了178%，增長率排名第二，僅次于臺積電。
　　
　　去年該領(lǐng)域中的輸家是排名第四的臺灣Asia-Paci?cMicrosystems、排名第六的Mi¬cralyne、排名第九的臺灣tMtTouchMicrosystems。
　　
　　2011年陀螺儀是純MEMS代工廠商的主要MEMS收入來源，其次是加速計和壓力傳感器。去年最大的MEMS應(yīng)用領(lǐng)域是消費(fèi)與移動領(lǐng)域，領(lǐng)先于工業(yè)應(yīng)用及醫(yī)療應(yīng)用。