《電子技術(shù)應(yīng)用》
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歐陸2604控制器在分子外延(MBE)設(shè)備上的應(yīng)用
摘要: 歐陸2604控制器在分子外延(MBE)設(shè)備上的應(yīng)用設(shè)備現(xiàn)狀用改造方案簡述:原美國MBE設(shè)備中的溫控表型號為歐陸的905D,由于該型號的表歐陸公司已經(jīng)停產(chǎn),而且維修費用較高甚至不能維修;所以此方案考慮用歐陸的2604完全替換原905D,用一臺新的計算機替換原計算機,在新計算機上安裝Windows2000操作系統(tǒng),在新計算機上實現(xiàn)原905D的溫度控制編程功能。
Abstract:
Key words :

歐陸2604控制器在分子外延(MBE)設(shè)備上的應(yīng)用

 

設(shè)備現(xiàn)狀用改造方案簡述:
原美國MBE設(shè)備中的溫控表型號為歐陸的905D,由于該型號的表歐陸公司已經(jīng)停產(chǎn),而且維修費用較高甚至不能維修;所以此方案考慮用歐陸的2604完全替換原905D,用一臺新的計算機替換原計算機,在新計算機上安裝Windows2000操作系統(tǒng),在新計算機上實現(xiàn)原905D的溫度控制編程功能。改造后還可保留原設(shè)備,以備在新設(shè)備出現(xiàn)問題時還可用原來的設(shè)備完全替換。
1. 改造工程包括以下各項:
1.1 用歐陸2604替換原905D溫控表,共6塊,每塊2604帶雙回路PID控制。
1.2 增加一臺工業(yè)計算機,用于對新增加溫控表2604的溫度控制和原系統(tǒng)中7路擋板的控制。
1.3 對原905D溫控表控制盒進行改裝,完成新老表的更換,增加必要通訊連接器,完成新2604溫度控制系統(tǒng)的要求并對適應(yīng)新上位系統(tǒng)的通訊要求。
1.4 在2604上進行組態(tài)設(shè)置,實現(xiàn)溫控回路的控制,實現(xiàn)對應(yīng)聯(lián)鎖動作的控制,保持原系統(tǒng)的保護要求。
1.5 真空度的interlock進每個2604的DI板,每個溫控回路在interlock動作時進行強制125℃的給定。
1.6 對原擋板控制盒進行改裝,必要時新舊系統(tǒng)能進行切換操作。
1.7 對各新加溫控表和新加工控機進行網(wǎng)絡(luò)聯(lián)結(jié),實現(xiàn)現(xiàn)場總線控制。
1.8 在新增工控機上進行組態(tài)編程,實現(xiàn)對2604的自動及手動操作,實現(xiàn)對各擋板的手自動操作。
1.9 完成必要的電氣線路改造,適應(yīng)新的系統(tǒng)要求。
2. 改造后實現(xiàn)功能
2.1 由2604代替原905D,實現(xiàn)溫度控制。
2.2 在新工控機上代替原計算機完成順序控制程序的輸入。
2.3 程序控制功能和原有功能相同,編程界面和簡便性與原有編程界面相當。
2.4 擋板控制及動作聯(lián)鎖在工控機上實現(xiàn)。
2.5 真空聯(lián)鎖信號既進2604做聯(lián)鎖也進工控機做擋板動作的聯(lián)鎖。
2.6 在上位機里對每塊2604進行通訊狀態(tài)檢查,如果通訊失敗在上位做報警。
2.7 對2604的每個溫度做歷史記錄查詢功能。
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