MEMS傳感器和智能傳感器的發(fā)展
所屬分類：技術(shù)論文
上傳者：serena
文檔大?。?span>141 K
標(biāo)簽： MEMS
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文檔介紹：MEMS傳感器和智能傳感器是新型傳感器的代表，具有集成化和智能化的特點。
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