MEMS傳感器和智能傳感器的發(fā)展 | |
所屬分類:技術(shù)論文 | |
上傳者:serena | |
文檔大?。?span>141 K | |
標(biāo)簽: MEMS | |
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文檔介紹:MEMS傳感器和智能傳感器是新型傳感器的代表,具有集成化和智能化的特點。 | |
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