加速度傳感器原理
所屬分類:解決方案
上傳者:aet
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標(biāo)簽: 光傳輸網(wǎng)絡(luò)
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文檔介紹:MEMSIC器件是基于單片CMOS集成電路制造工藝而生產(chǎn)出來(lái)的一個(gè)完整的雙軸加速度測(cè)量系統(tǒng)。就像其它加速度傳感器有重力塊一樣,MEMSIC器件是以可移動(dòng)的熱對(duì)流小氣團(tuán)作為重力塊器件,通過(guò)測(cè)量由加速度引起的內(nèi)部溫度的變化來(lái)測(cè)量加速度。     加速度傳感器原理.pdf
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