MEMS及微机械加速度计可靠性研究
所屬分類：技术论文
上傳者：bixd
文檔大?。?span>143 K
標(biāo)簽： 传感器与数据采集
所需積分：0分積分不夠怎么辦？
文檔介紹：由于MEMS 器件的应用日益频繁, 其可靠性研究就显得十分重要。介绍了引起可靠性问题的原因。 以微机械加速度计为例, 指出了该加速度计的可靠性问题, 以及对其可靠性测试研究的内容。
現(xiàn)在下載
VIP會(huì)員，AET專家下載不扣分；重復(fù)下載不扣分，本人上傳資源不扣分。