mems-ic 設(shè)計(jì)的新平臺(tái)和結(jié)構(gòu)化方法
所屬分類：解決方案
上傳者：bixd
文檔大?。?span>428 K
標(biāo)簽： 傳感器與數(shù)據(jù)采集
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文檔介紹：伴隨著傳感技術(shù)在汽車和消費(fèi)電子產(chǎn)品的迅速普及，微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）在最 近幾年已進(jìn)入主流。為了控制及信號(hào)調(diào)理，基于MEMS 的傳感器必然需要密切耦 合的電子電路。電子電路要么獨(dú)立于MEMS，要么和MEMS 在一個(gè)裸片中嵌入 到模擬/混合信號(hào)集成電路中。MEMS 設(shè)計(jì)通常需要一個(gè)使用三維機(jī)械CAD 和有 限元工具來(lái)進(jìn)行功能驗(yàn)證的專家團(tuán)隊(duì)；而 IC 設(shè)計(jì)是通過(guò)EDA 工具，如Cadence Virtuoso 客戶設(shè)計(jì)環(huán)境，來(lái)實(shí)現(xiàn)。傳統(tǒng)上，MEMS 設(shè)計(jì)人員手工制作了Verilog - A 模型以便放入到IC 設(shè)計(jì)中去。這些手工制作的模型往往過(guò)于簡(jiǎn)單，而且非參數(shù) 化。此外，創(chuàng)建這些模型相當(dāng)費(fèi)時(shí)，并需要專門知識(shí)。隨著來(lái)自于消費(fèi)電子行業(yè) 的市場(chǎng)拉動(dòng)朝著更多功能、更低成本和更快的推向市場(chǎng)時(shí)間邁進(jìn)，傳統(tǒng)設(shè)計(jì)方法 的缺點(diǎn)日益明顯。本文介紹了一種MEMS 器件設(shè)計(jì)，及在Cadence Virtuoso 設(shè)計(jì) 環(huán)境與集成電子產(chǎn)品一起仿真的新方法。采用德州儀器的數(shù)字微反射鏡器件 （DMD）的例子，我們展示新的MEMS - IC 設(shè)計(jì)方法如何可以應(yīng)用到一個(gè)鏡面 陣列，并將多個(gè)MEMS 微鏡與電子控制電路一起仿真。
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