半導(dǎo)體制程之一:光刻 (大學(xué)教材) | |
所屬分類(lèi):教程|講義 | |
上傳者:zhoubin333 | |
文檔大小:1416 K | |
標(biāo)簽: 半導(dǎo)體 光刻 | |
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文檔介紹: 半導(dǎo)體制程之一:光刻 (大學(xué)教材) 講解最基礎(chǔ)的光刻 半導(dǎo)體五大制程:光刻(或稱(chēng)微影/黃光), 蝕刻, 薄膜, 擴(kuò)散, 化學(xué)機(jī)械研磨 | |
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