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機器視覺在半導體中的應用--晶圓檢測
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摘要: 經(jīng)過光刻的晶圓在檢測后會發(fā)現(xiàn)大量的壞品,壞品通常是打上標志,如果是不完整的晶片也是屬于壞品。 要求把良品檢測出來,并把它的坐標位置與角度傳送給運動機構,再由機械結構作出進一步的調整。CCD、鏡頭、光源由固定座固定不需要移動。
Abstract:
Key words :

        客戶要求:

        經(jīng)過光刻的晶圓在檢測后會發(fā)現(xiàn)大量的壞品,壞品通常是打上標志,如果是不完整的晶片也是屬于壞品。

        要求把良品檢測出來,并把它的坐標位置與角度傳送給運動機構,再由機械結構作出進一步的調整。CCD、鏡頭、光源由固定座固定不需要移動。

 

        實現(xiàn)方式:

        硬件:CCD采用臺灣敏通高清晰度相機

                圖像采集卡采用創(chuàng)科視覺的PCI2100圖像采集卡,隨卡帶有圖象定位軟件。

                鏡頭使用COMPUTAR鏡頭

                光源是環(huán)形紅光

        軟件:采用創(chuàng)科視覺公司的ckvision軟件開發(fā)包進行二次開發(fā)。

ckvision提供多種高級功能

                 條形碼讀出

輪廓識別

普通物體識別

模式匹配 

斑點檢測

邊緣檢測

表面分析 

快速傅利葉轉換

濾波器

坐標跟蹤

目標定位

條碼識別

各種圖象邏輯運算

OCR光學字符號識別

圖象形態(tài)分析

 

        實現(xiàn)過程

        因為客戶需要我們提供圖像方面的DLL庫,只需要圖象采集、打開保存、圖象捕捉、顯示圖象、在圖象上顯示用戶設置的檢測框與十字線、提供灰度直方圖、二值化功能、對象計數(shù)、對象中心和角度的輸出、檢測壞點、檢測是否完整等功能。

        開發(fā)工具采用VC6、為了加快運行速度嵌入了Intel匯編指令,為了達到更好的檢測效果我們對ckvision的工具進行了部分修改。

        壞點檢測與是否完整檢測使用具有學習功能的匹配算法,對象中心與角度的檢測使用了

輪廓識別和邊緣檢測算法。

 

        應用效果:

        目前該圖象庫已經(jīng)得到了多家客戶的使用與測試。功能已經(jīng)得到了完整的改善,已經(jīng)開始批量生產(chǎn)。

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