kla-tencor" title="kla-tencor">kla-tencor.com/">KLA-Tencor 公司(納斯達(dá)克" title="納斯達(dá)克">納斯達(dá)克股票代碼:KLAC)今天發(fā)布其最新的探針式表面輪廓測(cè)量系統(tǒng) P-6?,該系統(tǒng)針對(duì)科學(xué)研究與生產(chǎn)環(huán)境(例如,光電太陽能電池制造)提供一組獨(dú)特的先進(jìn)功能組合。P-6 系統(tǒng)受益于在先進(jìn)半導(dǎo)體輪廓儀系統(tǒng)上開發(fā)的測(cè)量技術(shù),但卻采用了較小與較經(jīng)濟(jì)的桌面型機(jī)臺(tái)設(shè)計(jì),可接受最大至
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KLA-Tencor 的成長與新興市場(chǎng)集團(tuán)副總裁 Jeff Donnelly 表示:“我們對(duì) P-6 探針系統(tǒng)的推出感到振奮,該系統(tǒng)將為科學(xué)與太陽能客戶提供在應(yīng)用方面的最佳功能組合。對(duì)于太陽能市場(chǎng),P-6 擁有在開發(fā)階段提高太陽能電池效率,以及監(jiān)控生產(chǎn)制程" title="制程">制程質(zhì)量所需的分辨率、掃描質(zhì)量和自動(dòng)控制能力?!?/SPAN>?
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融合 KLA-Tencor 的自動(dòng)化 P-16+ 探針式輪廓儀的眾多功能,P-6 探針式輪廓儀充分承襲了最佳技術(shù)與效能的傳統(tǒng): ?
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·????????????? 低噪聲基底可改善表征微小表面特征的測(cè)量靈敏度?
·????????????? 小于 6 埃的步進(jìn)高度可重復(fù)性,確保了嚴(yán)苛的制程控制?
·????????????? 150 毫米 X-Y 樣本載臺(tái)可實(shí)現(xiàn)覆蓋整個(gè)基底的單一測(cè)量?
·????????????? 2D" title="2D">2D 應(yīng)力測(cè)量與分析可將缺陷降至最低并提升良率?
·????????????? 功能強(qiáng)大且容易使用的分析軟件,提供高階應(yīng)用的靈活性?
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P-6 輪廓儀已通過主要太陽能產(chǎn)品制造商 BP Solar 的合格認(rèn)證。BP Solar 技術(shù)副總裁 Eric Daniels 表示:“我們對(duì) KLA-Tencor 的 P-6 系統(tǒng)的評(píng)估證明,它對(duì)于多種表面測(cè)量應(yīng)用系統(tǒng)的一系列制程條件具有高靈敏性,其中包括 ARC 薄膜、導(dǎo)線觸點(diǎn)及前表面紋理結(jié)構(gòu)。對(duì)于支持我們的技術(shù)開發(fā)與生產(chǎn)改善,P6 將發(fā)揮重要價(jià)值?!?/SPAN>?
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P-6 系統(tǒng)將于 2008 年 7 月 15 至 17 日在舊金山舉辦的 InterSolar 北美展會(huì)第 9252 號(hào) KLA-Tencor 展臺(tái)上展出。?
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關(guān)于 KLA-Tencor: KLA-Tencor 是專為半導(dǎo)體和相關(guān)產(chǎn)業(yè)提供制程控制及良率" title="良率">良率管理解決方案的全球領(lǐng)先供應(yīng)商。該公司總部設(shè)在美國加州的密爾必達(dá)市,銷售及服務(wù)網(wǎng)遍布全球。KLA-Tencor 躋身于標(biāo)準(zhǔn)普爾 500 強(qiáng)公司之一,并在納斯達(dá)克全球精選市場(chǎng)上市交易,其股票代碼為 KLAC。有關(guān)該公司的更多信息,請(qǐng)參觀網(wǎng)站 http://www.kla-tencor.com。?