4月1日消息，國投集團所屬中國電子工程設計院股份有限公司（以下簡稱“中國電子院”）建設的全球首個納米級微振動實驗室日前在河北雄安新區(qū)正式投運。這是國投集團在先進電子制造領域布局打造的國家級科技創(chuàng)新平臺。

“納米級微振動實驗室將全面服務于半導體制造、航空航天、精密儀器、生物醫(yī)藥等重點領域，推動我國高精密制造領域‘軟實力’與‘硬裝備’協(xié)同提升?！敝袊娮釉菏紫夹g官楊光明介紹，該實驗室核心裝置為我國自主研發(fā)的全球尺寸最大、精度最高的微振動模擬實驗臺。

據(jù)悉，實驗臺平面尺寸達4米×4米，臺體自重約50噸，設計承載能力高達20噸，振動精度突破納米級，最小振動幅值遠低于地球自身脈動，可全面滿足大型半導體設備整機及衛(wèi)星全尺寸載荷的上臺測試需求。

實驗臺采用中國電子院自主研發(fā)的空氣彈簧主動隔振系統(tǒng)，可高效隔離地基及建筑結構的環(huán)境振動干擾，在臺面上構建超純凈微振動環(huán)境。實驗臺配套高精度直線電機作動器，可在寬頻率范圍內(nèi)，實現(xiàn)0.001伽（Gal）至5伽的加速度精密輸出，能夠精準模擬極微弱背景環(huán)境振動，全面覆蓋電子信息、航空航天等核心領域應用的全頻段、全幅值區(qū)間。

同時，實驗臺具備正弦波、隨機波、掃頻波等豐富波形模擬能力，可實現(xiàn)單方向精確模擬與三方向同步模擬。其不僅能開展特定頻率的精細化分析，也可還原復雜真實環(huán)境下多自由度耦合的隨機振動場景，為科研攻關與裝備驗證提供了高度貼合實際工況、靈活可控的實驗條件。

“納米級微振動實驗室的建成投用，打通了我國多個戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)領域的實驗驗證堵點?！睏罟饷髡f，該實驗室填補了我國在微振動試驗方法、精密設備振動容許標準、隔振裝置評價體系等多個環(huán)節(jié)的技術與市場空白，為我國電子制程、空天信息等領域高端裝備自主研發(fā)提供了關鍵基礎支撐。

他表示，納米級微振動實驗室的投運，對于保障我國產(chǎn)業(yè)鏈供應鏈安全、實現(xiàn)半導體產(chǎn)業(yè)自主可控、服務航天強國與制造強國戰(zhàn)略具有重要意義。