近日，位于杭州城西科創(chuàng)大走廊的浙江大學成果轉化基地傳出喜訊：作為基地首批簽約孵化項目之一，全國首臺國產(chǎn)商業(yè)電子束光刻機“羲之”已進入應用測試，其精度比肩國際主流設備，標志著量子芯片研發(fā)從此有了“中國刻刀”。

在測試現(xiàn)場，浙大余杭量子研究院相關團隊緊張忙碌著，一臺模樣酷似大型鋼柜的機器正在做應用測試，電子顯示屏上不斷閃爍著實時參數(shù)?！斑@不是普通的機器，而是一支能在頭發(fā)絲上雕刻出整座城市地圖的‘納米神筆’！”團隊負責人告訴記者，依托省重點實驗室，這臺研究院自主研發(fā)的新一代100kV電子束光刻機“羲之”已正式投入市場。

“羲之”取名自書法家王羲之，“只不過我們的‘毛筆’是電子束，在芯片上刻寫電路。”研發(fā)團隊相關負責人介紹，這臺設備專攻量子芯片、新型半導體研發(fā)的核心環(huán)節(jié)，它通過高能電子束在硅基上“手寫”電路，精度達到0.6nm，線寬8nm，可靈活修改設計無須掩膜版，如同用納米級毛筆在芯片上精準作畫，特別適合芯片研發(fā)初期的反復調試。

此前，此類設備受國際出口管制，中國科學技術大學、之江實驗室等國內頂尖科研機構長期無法采購，“羲之”的落地有望打破這一困局。記者了解到，其定價低于國際均價，目前已與多家企業(yè)及科研機構展開接洽。

“羲之”的成功并非孤例，其背后是科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新“兩新融合”的強力驅動。今年7月，省級教育科技人才一體改革專項試點項目落地位于余杭區(qū)的浙江大學校友企業(yè)總部經(jīng)濟園，浙江大學與該園聯(lián)手搭建了成果轉化高速路：園區(qū)企業(yè)開出“技術需求清單”；浙大教授帶研究生組隊“揭榜”；從實驗室樣品到量產(chǎn)產(chǎn)品，全流程陪跑。

在城西科創(chuàng)大走廊，這樣的融合正成為常態(tài)。院士工作站落地城投未來之星辦公樓，無縫對接企業(yè)需求；城西科創(chuàng)大走廊連年推出優(yōu)秀概念驗證項目征集，打通成果轉化的“最前一公里”。接下去，城西科創(chuàng)大走廊將持續(xù)推動“兩新融合”，為硬科技突破加速賦能，推動科技成果高效轉化為現(xiàn)實生產(chǎn)力。