2024年3月20日，半導體行業(yè)盛會 SEMICON China 2024啟幕，全球高端半導體設備制造商德國PVA TePla集團再次亮相，并向行業(yè)展示其最新打造的國產碳化硅晶體生長設備“SiCN”。該設備專為中國市場定制，并結合半導體行業(yè)生產特點，將德國的設計經驗和理念與中國本土化生產配套能力優(yōu)勢聯(lián)合，采用PVT法(物理氣相傳輸工藝)生產碳化硅晶體，計劃于2024年第二季度投入市場。

PVA TePla亮相SEMICONChina2024

　　“作為PVA TePla在華打造的首款國產碳化硅晶體生長設備，‘SiCN’旨在幫助我們更好地滿足本土化需求，為中國市場提供成熟穩(wěn)定的工藝設備，進一步幫助合作伙伴提升市場競爭力?！钡聡鳳VA TePla集團半導體業(yè)務中國區(qū)負責人謝秀紅表示，“中國已成為全球第三代半導體產業(yè)鏈中碳化硅襯底制造的重要基地。PVA TePla在晶體生長設備設計和制造領域積累了豐富的經驗，未來將持續(xù)致力于加強本土化供應鏈建設，完善本土團隊的技術服務能力，助力中國半導體產業(yè)高質量發(fā)展?！?/p>

　　打造首款國產碳化硅晶體生長設備

　　在中國，電動汽車和諸多新興行業(yè)的蓬勃發(fā)展為碳化硅襯底材料帶來廣闊機遇。碳化硅半導體材料的生產技術日漸成熟穩(wěn)定，并已形成相當?shù)墓I(yè)規(guī)模。作為最早將碳化硅晶體設備引入中國市場的企業(yè)之一，德國PVA TePla集團始終致力于融合中德前沿技術優(yōu)勢?！癝iCN”融匯了中國的本土化采購、生產配套能力和德國的技術積累和傳承，通過設備更好的可靠性和一致性運行，有效提高良品率，在降低制造成本的同時達到更優(yōu)效益，幫助下游客戶有效提高最終產品的附加值和核心競爭力。

PVA TePla碳化硅晶體生長設備

　　·定制化：特定的晶體生長工藝通常是企業(yè)的高度機密，定制化晶體生長平臺對于驗證和優(yōu)化其工藝至關重要。PVA TePla可為客戶提供專業(yè)定制化解決方案，以滿足行業(yè)獨特的工藝和知識產權需求，從而實現(xiàn)無縫擴展以進行大規(guī)模生產。

　　·靈活性：“SiCN”的設計可采用和更換成熟供應商的標準組件以及定制組件，保證設備可以使用最新的研發(fā)成果，實現(xiàn)持續(xù)的技術進步。

　　·可靠生產：“SiCN”系統(tǒng)設計緊湊，自動化程度高，可最大化節(jié)約整體運營空間，同時方便維護，可實現(xiàn)可靠的大規(guī)模生產?？蛻暨€可整合如加料小車、多種真空泵選項和測量設備等其他部件，進一步提升系統(tǒng)功能。

　　·高生產效能：晶體生長過程需要具備在超過2,000°C的高溫條件下長時間運行，因此優(yōu)異的能源效率可以實現(xiàn)更佳的成本效益?！癝iCN”采用經驗證的低能耗感應線圈設計，實現(xiàn)高效率的感應加熱，有效降低能耗，優(yōu)化生產成本。

　　德國PVA TePla集團已在全球范圍內銷售SiC晶體生長系統(tǒng)，并與全球領先的主流碳化硅襯底材料供應商共同研發(fā)并為其提供長晶設備，其設備穩(wěn)定性和產品質量一致性，在大尺寸碳化硅材料的研發(fā)過程中起到了關鍵作用。

　　建立中國供應鏈與本土化配套服務

　　目前，德國PVA TePla集團已在中國建立生產基地、演示中心及供應鏈中心，旨在將高端設備國產化，以更好地助力中國半導體產業(yè)提升和發(fā)展，特別是碳化硅晶體和大尺寸單晶硅片的生產。同時，為了貼合本土市場需求，德國PVA TePla集團也在進一步完善本地團隊技術服務，加強與下游合作伙伴的研發(fā)合作，并且提供更加專業(yè)化、定制化的本地支持，幫助合作伙伴更加便捷、快速的實現(xiàn)大規(guī)模生產能力。

　　隨著中國成為全球碳化硅的重要生產基地，德國PVA TePla集團將持續(xù)深耕中國市場，加強本土化生產供應與配套服務能力，深化本地創(chuàng)新研發(fā)合作，助力中國半導體產業(yè)高質量發(fā)展。

　　關于德國PVA TePla集團(德國普發(fā)拓普)

　　德國PVA TePla集團是全球領先的材料和測量測試技術領域高科技解決方案供應商。憑借廣泛的創(chuàng)新產品、工藝和服務組合，PVA TePla支持客戶克服許多不同行業(yè)的苛刻挑戰(zhàn)。作為系統(tǒng)供應商，PVA TePla為材料加工、精煉生產、復雜工藝提供可靠保障。從概念到加工，PVA TePla為半導體材料、晶體、光學元件和其他高科技材料的生產提供系統(tǒng)和解決方案。在測量測試領域，PVA TePla也針對廣泛應用提供高精度測量和分析設備，包括從表面檢測到3D檢測，從而有助于質量控制，過程監(jiān)控和缺陷分析。通過這些方案和服務，PVA TePla支持客戶提高產品質量，優(yōu)化生產流程，增強其在市場上的競爭力。