近日，華中科技大學(xué)機(jī)械學(xué)院劉世元教授團(tuán)隊(duì)成功研發(fā)出我國(guó)首款完全自主可控的OPC軟件，并已在相關(guān)企業(yè)實(shí)現(xiàn)成果轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白。

　　劉世元介紹，光刻是芯片制造中最為關(guān)鍵的一種工藝，就是通過(guò)光刻成像系統(tǒng)，將設(shè)計(jì)好的圖形轉(zhuǎn)移到硅片上。隨著芯片尺寸不斷縮小，硅片上的曝光圖形會(huì)產(chǎn)生畸變。

　　在90nm甚至180nm以下芯片的光刻制造前，都必須采用一類(lèi)名為OPC（光學(xué)臨近校正）的算法軟件進(jìn)行優(yōu)化。沒(méi)有OPC，所有IC制造廠(chǎng)商將失去將芯片設(shè)計(jì)轉(zhuǎn)化為芯片產(chǎn)品的能力。

　　目前，全球OPC工具軟件市場(chǎng)完全由Synopsys、Mentor、ASML-Brion等三家美國(guó)公司占領(lǐng)。

　　劉世元是華中科技大學(xué)集成電路測(cè)量裝備研究中心、光谷實(shí)驗(yàn)室集成電路測(cè)量檢測(cè)技術(shù)創(chuàng)新中心主任。

　　研制的儀器、軟件、測(cè)量裝備等多項(xiàng)成果已實(shí)現(xiàn)成果轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化，在中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、華為、京東方、華星光電等微電子、光電子龍頭企業(yè)獲得批量應(yīng)用。

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