目前全球唯一能夠制造EUV光刻機(jī)的廠商,只有一家,那就是荷蘭的ASML。
但事實(shí)上,全球的光刻機(jī)廠商不只ASML一家,不說中國的光刻機(jī)廠商,僅日本就有兩家,分別是尼康、佳能。
這兩家還是大名鼎鼎,在ASML剛誕生時(shí),尼康、佳能可是大哥,ASML是小弟,只能仰望著尼康、佳能。
直到后來,ASML在臺(tái)積電的啟發(fā)下,研制出了以水為介質(zhì)的浸潤式光刻機(jī),才一路崛起,最后把尼康、佳能踩在了腳下。
后來ASML搞出了EUV光刻機(jī)后,尼康、佳能也就只搞些中、低端光刻機(jī),不再與ASML爭鋒了。
這讓很多人很奇怪,論技術(shù)實(shí)力,資金實(shí)力,尼康、佳能不會(huì)比ASML差,更關(guān)鍵的是尼康、佳能也沒有被技術(shù)封鎖,為何就是搞不出EUV光刻機(jī)呢?
其實(shí)主要有兩個(gè)原因,一個(gè)是事實(shí)上的技術(shù)壟斷。
雖然尼康、佳能沒有被技術(shù)封鎖,似乎想要買什么設(shè)備、需要什么樣的技術(shù),都可以得到,但ASML早做了大量的準(zhǔn)備,將蔡司、Cymer、TRUMPF這些核心技術(shù)公司,通過合作、獨(dú)家供應(yīng),成立科技機(jī)構(gòu)等手段,捆綁在了一起。
尼康、佳能其實(shí)很難拿到蔡司、Cymer、TRUMPF公司的技術(shù)等,這就造成了事實(shí)上的壟斷,尼康、佳能也沒辦法,畢竟EUV光刻機(jī),不是一家廠商或者幾家廠商可以搞定。
另外一個(gè)是市場(chǎng)大小決定的。
EUV光刻機(jī)看起來非常重要,但其實(shí)際市場(chǎng)需求并不大,以ASML為例,2021年也僅賣出42臺(tái)EUV光刻機(jī),從EUV光刻機(jī)推出到2021年底,已經(jīng)有7年,但一共也只賣出132臺(tái)EUV光刻機(jī)。
市場(chǎng)需求就在這里,決定了整個(gè)EUV光刻機(jī)的利潤也只有這么大,一這ASML還能夠活得滋潤,但如果尼康、佳能都搞出了EUV光刻機(jī),三家廠商競爭,估計(jì)大家都賺不到什么錢了。
所以對(duì)于尼康、佳能而言,研發(fā)出EUV光刻機(jī),也并不能帶來多少利潤,反而承擔(dān)的風(fēng)險(xiǎn)特別大,比如投入了巨額資金,又研發(fā)失敗怎么辦,研發(fā)出來了,賣不出多少臺(tái),虧本怎么辦?
畢竟尼康、佳能所處的環(huán)境不一樣,日本作為美國的小弟,EUV光刻機(jī)不會(huì)被卡,所以不像中國廠商,必須自研才有出路,對(duì)于尼康、佳能而言,則不一樣了。
所以我們?cè)谂Φ难邪l(fā)光刻機(jī),一定要搞出EUV光刻機(jī),但對(duì)于尼康、佳能而言,則沒有那么迫切,所以也沒有下定決心去研發(fā)。