目前全球唯一能夠制造EUV光刻機的廠商,只有一家,那就是荷蘭的ASML。
但事實上,全球的光刻機廠商不只ASML一家,不說中國的光刻機廠商,僅日本就有兩家,分別是尼康、佳能。
這兩家還是大名鼎鼎,在ASML剛誕生時,尼康、佳能可是大哥,ASML是小弟,只能仰望著尼康、佳能。
直到后來,ASML在臺積電的啟發(fā)下,研制出了以水為介質(zhì)的浸潤式光刻機,才一路崛起,最后把尼康、佳能踩在了腳下。
后來ASML搞出了EUV光刻機后,尼康、佳能也就只搞些中、低端光刻機,不再與ASML爭鋒了。
這讓很多人很奇怪,論技術(shù)實力,資金實力,尼康、佳能不會比ASML差,更關(guān)鍵的是尼康、佳能也沒有被技術(shù)封鎖,為何就是搞不出EUV光刻機呢?
其實主要有兩個原因,一個是事實上的技術(shù)壟斷。
雖然尼康、佳能沒有被技術(shù)封鎖,似乎想要買什么設(shè)備、需要什么樣的技術(shù),都可以得到,但ASML早做了大量的準(zhǔn)備,將蔡司、Cymer、TRUMPF這些核心技術(shù)公司,通過合作、獨家供應(yīng),成立科技機構(gòu)等手段,捆綁在了一起。
尼康、佳能其實很難拿到蔡司、Cymer、TRUMPF公司的技術(shù)等,這就造成了事實上的壟斷,尼康、佳能也沒辦法,畢竟EUV光刻機,不是一家廠商或者幾家廠商可以搞定。
另外一個是市場大小決定的。
EUV光刻機看起來非常重要,但其實際市場需求并不大,以ASML為例,2021年也僅賣出42臺EUV光刻機,從EUV光刻機推出到2021年底,已經(jīng)有7年,但一共也只賣出132臺EUV光刻機。
市場需求就在這里,決定了整個EUV光刻機的利潤也只有這么大,一這ASML還能夠活得滋潤,但如果尼康、佳能都搞出了EUV光刻機,三家廠商競爭,估計大家都賺不到什么錢了。
所以對于尼康、佳能而言,研發(fā)出EUV光刻機,也并不能帶來多少利潤,反而承擔(dān)的風(fēng)險特別大,比如投入了巨額資金,又研發(fā)失敗怎么辦,研發(fā)出來了,賣不出多少臺,虧本怎么辦?
畢竟尼康、佳能所處的環(huán)境不一樣,日本作為美國的小弟,EUV光刻機不會被卡,所以不像中國廠商,必須自研才有出路,對于尼康、佳能而言,則不一樣了。
所以我們在努力的研發(fā)光刻機,一定要搞出EUV光刻機,但對于尼康、佳能而言,則沒有那么迫切,所以也沒有下定決心去研發(fā)。