12月16日消息，昨天，晶瑞電材發(fā)布投資者關(guān)系活動(dòng)記錄表，并表示其KrF（248）光刻膠產(chǎn)品已完成中試，建成了中試示范線，已進(jìn)入客戶測試階段，并已經(jīng)開始著手建設(shè) KrF 光刻膠的量產(chǎn)化生產(chǎn)線。

另外，經(jīng)瑞電材已經(jīng)開始啟動(dòng)其ArF（193）高端光刻膠的研發(fā)工作，目前已經(jīng)完成光刻機(jī)、勻膠顯影機(jī)、掃描電鏡、臺(tái)階儀等關(guān)鍵研發(fā)設(shè)備的購置，其中，ASML 1900Gi 型光刻機(jī)設(shè)備正在積極調(diào)試中。

有投資者問道，公司是否已經(jīng)購得一臺(tái) KrF 光刻機(jī)，公司目前共有幾臺(tái)光刻機(jī)？ 晶瑞電材表示，公司近期已購得 KrF 光刻機(jī)一臺(tái)，可用于 KrF 光刻膠的曝光測試，同時(shí)公司 KrF 光刻膠量產(chǎn)化生產(chǎn)線正在積極建設(shè)中。此前，公司已經(jīng)購得用于負(fù)膠、g 線、i線、ArF 等 4 臺(tái)光刻機(jī)，再加之此次購得的 KrF 光刻機(jī)，截至目前，公司已經(jīng)到位 5 臺(tái)光刻機(jī)。

眾所周知，由于國內(nèi)光刻膠領(lǐng)域起步較晚，技術(shù)嚴(yán)重落后等原因，導(dǎo)致我國半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域的光刻膠需求主要由外資企業(yè)來滿足，日美廠商占據(jù)了約87％的份額，國內(nèi)光刻膠產(chǎn)品進(jìn)口比例高達(dá)九成。

如今，國內(nèi)能實(shí)現(xiàn)光刻膠量產(chǎn)的企業(yè)只有晶瑞電材和北京科華兩家企業(yè)，其中，晶瑞電材公司的i線光刻膠已實(shí)現(xiàn)供貨中芯國際、合肥長鑫等國內(nèi)FAB廠，北京科華則已經(jīng)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)KrF光刻膠，并向中芯國際供貨。

目前國內(nèi)的高端ArF光刻膠領(lǐng)域里，仍沒有企業(yè)能實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，目前國內(nèi)在ArF光刻膠領(lǐng)域進(jìn)度較為領(lǐng)先的企業(yè)是南大光電，其自主研發(fā)的ArF光刻膠產(chǎn)品，在2020年12月時(shí)成功通過武漢新芯的使用認(rèn)證，成為通過產(chǎn)品驗(yàn)證的第一家國產(chǎn)ArF光刻膠企業(yè)，目前，南大光電已經(jīng)建設(shè)完成ArF光刻膠產(chǎn)品的大規(guī)模生產(chǎn)線，全面實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)后，產(chǎn)能將達(dá)到年產(chǎn)25噸ArF光刻膠。

現(xiàn)在，晶瑞電材也已經(jīng)開始研發(fā)高端ArF光刻膠，在未來，隨著晶瑞電材KrF光刻膠測試完成并逐步量產(chǎn)、ArF光刻膠研發(fā)成功并實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，以及其在南通、陜西、四川等基地新增的高純硫酸、NMP、光刻膠等產(chǎn)品產(chǎn)能的逐步釋放，將為國內(nèi)的光刻膠產(chǎn)業(yè)帶來新的突破。