11月15日，山東省工業(yè)和信息化廳公示了第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展《山東省第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展“十四五”規(guī)劃（征求意見稿）》。公開征求意見時(shí)間為2021年11月15日至11月19日。

圖片來源：山東省工業(yè)和信息化廳官網(wǎng)截圖

《征求意見稿》中提出了發(fā)展目標(biāo)。加快完善第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈體系，著力突破關(guān)鍵核心技術(shù)，切實(shí)提高山東省第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新能力。到2025年，碳化硅、氮化鎵等關(guān)鍵材料國(guó)產(chǎn)化率實(shí)現(xiàn)大幅提高，芯片設(shè)計(jì)能力達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，全產(chǎn)業(yè)鏈基本實(shí)現(xiàn)自主可控，打造百億級(jí)國(guó)家第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高地。

具體包括三方面：產(chǎn)業(yè)規(guī)模邁向新臺(tái)階。到2025年，建成較大規(guī)模先進(jìn)特色工藝制程生產(chǎn)線，推動(dòng)形成要素完備的第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)，帶動(dòng)模塊及系統(tǒng)應(yīng)用方面相關(guān)產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值突破300億元。建成國(guó)際先進(jìn)的第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)基地，帶動(dòng)形成基于第三代半導(dǎo)體的電力電子、微波電子、大功率半導(dǎo)體照明生產(chǎn)、應(yīng)用系統(tǒng)為核心的產(chǎn)業(yè)集群。

創(chuàng)新能力取得新突破。到2025年，突破核心關(guān)鍵技術(shù)，建設(shè)第三代半導(dǎo)體國(guó)家地方聯(lián)合工程研究中心、國(guó)家博士后科研工作站、院士工作站，搭建國(guó)際先進(jìn)的第三代半導(dǎo)體公共研發(fā)、檢測(cè)和服務(wù)平臺(tái)，全產(chǎn)業(yè)鏈創(chuàng)新能力得到有效提升。

市場(chǎng)主體實(shí)現(xiàn)新跨越。培育壯大掌握核心技術(shù)、具有國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力和影響力的龍頭企業(yè)，帶動(dòng)發(fā)展掌握核心關(guān)鍵技術(shù)的特色企業(yè)，夯實(shí)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展根基。

《征求意見稿》指出，山東省第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展區(qū)域布局。

產(chǎn)業(yè)布局

按照“政府引導(dǎo)、龍頭帶動(dòng)、園區(qū)孵化、集群推進(jìn)”的總體思路，發(fā)揮國(guó)家集成電路設(shè)計(jì)濟(jì)南產(chǎn)業(yè)化基地、青島嶗山微電子產(chǎn)業(yè)園、中德生態(tài)園集成電路產(chǎn)業(yè)基地、濟(jì)寧省級(jí)信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)基地等集聚優(yōu)勢(shì)，加大龍頭企業(yè)支持力度，加快構(gòu)建“4+N”區(qū)域布局。

濟(jì)南。實(shí)施高性能集成電路突破計(jì)劃，優(yōu)化升級(jí)國(guó)家集成電路設(shè)計(jì)產(chǎn)業(yè)化基地，依托山東天岳碳化硅襯底材料技術(shù)優(yōu)勢(shì)，結(jié)合濟(jì)南比亞迪半導(dǎo)體芯片等上下游配套項(xiàng)目建設(shè)，打造基于硅基和碳化硅基功率半導(dǎo)體器件生產(chǎn)集聚區(qū)，建成國(guó)際先進(jìn)的碳化硅半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)基地。

青島。立足本地整機(jī)（系統(tǒng)）市場(chǎng)應(yīng)用優(yōu)勢(shì)，建設(shè)好芯恩、惠科等集成電路重大項(xiàng)目，以發(fā)展模擬及數(shù)?；旌霞呻娐?、智能傳感器、半導(dǎo)體功率器件、光電子芯片和器件、第三代半導(dǎo)體為主線，通過抓龍頭、補(bǔ)短板、促融合、育生態(tài)，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)規(guī)模快速擴(kuò)張、支撐能力顯著增強(qiáng)，加快培育自主可控產(chǎn)業(yè)生態(tài)。

濟(jì)寧。重點(diǎn)做大單晶硅、晶圓片、外延片等上游半導(dǎo)體材料，強(qiáng)鏈發(fā)展中游半導(dǎo)體分立器件、功率器件及功能芯片產(chǎn)業(yè)。加強(qiáng)同省內(nèi)外高校合作，面向國(guó)內(nèi)外引進(jìn)吸收先進(jìn)第三代半導(dǎo)體應(yīng)用加工技術(shù)，提升產(chǎn)業(yè)發(fā)展位次。

濰坊。做好浪潮華光氮化鎵材料與器件產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目建設(shè)，優(yōu)化項(xiàng)目建設(shè)環(huán)境，全力以赴提供優(yōu)質(zhì)服務(wù)、跟蹤服務(wù)、精準(zhǔn)服務(wù)，努力為項(xiàng)目推進(jìn)創(chuàng)造良好條件。

其他市。依托本地產(chǎn)業(yè)發(fā)展基礎(chǔ)和特色，突出差異化發(fā)展，加強(qiáng)同重點(diǎn)市的協(xié)調(diào)聯(lián)動(dòng)，支持做好項(xiàng)目招引，逐步做大產(chǎn)業(yè)規(guī)模。

與此同時(shí)，《征求意見稿》還明確了山東省第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)任務(wù)。

堅(jiān)持全產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展，提升產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)能級(jí)

以技術(shù)和產(chǎn)品發(fā)展相對(duì)成熟的碳化硅晶體材料為切入點(diǎn)，迅速做大碳化硅半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)規(guī)模。聚焦材料、外延、芯片、封裝和應(yīng)用等第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈重點(diǎn)環(huán)節(jié)，加強(qiáng)產(chǎn)學(xué)研聯(lián)合，以合資、合作方式培育和吸引高水平企業(yè)，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)集聚和產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同，打造第三代半導(dǎo)體電力電子、微波電子和半導(dǎo)體照明等第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展高地。

1.提升材料制備能力。加速推進(jìn)大尺寸GaN、SiC等單晶體材料生長(zhǎng)及量產(chǎn)技術(shù)，突破GaN、SiC材料大直徑、低應(yīng)力和低位錯(cuò)缺陷等關(guān)鍵技術(shù)，全面提升4-8英寸GaN外延、SiC襯底單晶材料產(chǎn)業(yè)化能力。突破超硬晶體材料切割和拋光等關(guān)鍵核心技術(shù)，提升4-8英寸GaN、SiC襯底材料精密加工能力。加大對(duì)薄膜材料外延生長(zhǎng)技術(shù)的支持力度，補(bǔ)足第三代半導(dǎo)體外延材料生長(zhǎng)環(huán)節(jié)。推動(dòng)氧化鎵（Ga2O3）等新一代超寬禁帶半導(dǎo)體材料的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化。

2.發(fā)展器件設(shè)計(jì)。大力扶持基于第三代半導(dǎo)體GaN、SiC的高壓大功率、微型發(fā)光二極管、毫米波、太赫茲等高端器件設(shè)計(jì)產(chǎn)業(yè)，圍繞SiC功率器件的新能源汽車應(yīng)用和GaN功率器件的消費(fèi)類快充市場(chǎng)，促進(jìn)產(chǎn)學(xué)研合作以及成果轉(zhuǎn)化，引導(dǎo)器件設(shè)計(jì)企業(yè)上規(guī)模、上水平，提升設(shè)計(jì)產(chǎn)業(yè)集聚度，大力發(fā)展第三代半導(dǎo)體仿真設(shè)計(jì)軟件自主品牌產(chǎn)品，建設(shè)具有全球競(jìng)爭(zhēng)力的器件設(shè)計(jì)和軟件開發(fā)集聚區(qū)。

3.布局器件制造。推進(jìn)基于GaN、SiC的垂直型SBD（肖特基二極管）、HEMT（高電子遷移率晶體管）、MOSFET（金屬氧化物半導(dǎo)體場(chǎng)效應(yīng)晶體管）、IGBT（大功率絕緣柵雙極型晶體管）、Micro-LED（微型發(fā)光二極管）、高端傳感器、MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)），以及激光器等器件和模塊的研發(fā)制造，支持科研院所微納加工平臺(tái)建設(shè)。大力推動(dòng)晶圓生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目，優(yōu)先發(fā)展特色工藝制程器件制造，在關(guān)鍵電力電子器件方面形成系列產(chǎn)品，綜合性能達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，SiC二極管、晶體管及其模塊產(chǎn)品和GaN器件產(chǎn)品、激光芯片及其器件產(chǎn)品具有國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力。

4.健全封測(cè)產(chǎn)業(yè)。積極發(fā)展高端封裝測(cè)試，引進(jìn)先進(jìn)封測(cè)生產(chǎn)線和技術(shù)研發(fā)中心，大力發(fā)展晶圓級(jí)、系統(tǒng)級(jí)先進(jìn)封裝技術(shù)以及先進(jìn)晶圓級(jí)測(cè)試技術(shù)。大力支持科研院所在第三代半導(dǎo)體相關(guān)的電氣性能、散熱設(shè)計(jì)、可靠性、封裝材料等方面的研發(fā)工作，發(fā)展基于第三代半導(dǎo)體的功率和電源管理芯片、射頻芯片、顯示芯片等產(chǎn)品的封測(cè)產(chǎn)業(yè)。

5.開發(fā)技術(shù)裝備。布局“生長(zhǎng)、切片、拋光、外延”等核心技術(shù)裝備，通過關(guān)鍵設(shè)備牽引，實(shí)現(xiàn)分段工藝局部成套，拓展解決整線成套設(shè)備國(guó)產(chǎn)化，并實(shí)現(xiàn)整線集成。提升氧化爐、沉積設(shè)備、光刻機(jī)、刻蝕設(shè)備、離子注入機(jī)、清洗機(jī)、化學(xué)研磨設(shè)備的生產(chǎn)能力以及設(shè)備的精度和穩(wěn)定性。突破核心共性關(guān)鍵技術(shù)，形成一流的工藝和產(chǎn)業(yè)應(yīng)用技術(shù)，掌握核心裝備制造技術(shù)，打造第三代半導(dǎo)體材料裝備領(lǐng)軍企業(yè)。研究開發(fā)碳化硅單晶智能化生長(zhǎng)裝備并實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，突破碳化硅晶體可控生長(zhǎng)環(huán)境精準(zhǔn)檢測(cè)與控制技術(shù)、基于大數(shù)據(jù)分析的數(shù)字孿生及人工智能模擬技術(shù)，形成智能化碳化硅晶體生長(zhǎng)裝備成套關(guān)鍵技術(shù)。

推動(dòng)科技服務(wù)新基建，優(yōu)化產(chǎn)業(yè)發(fā)展環(huán)境

1.建設(shè)公共技術(shù)平臺(tái)。整合省內(nèi)優(yōu)勢(shì)中堅(jiān)力量，謀劃建設(shè)第三代半導(dǎo)體關(guān)鍵技術(shù)研究公共技術(shù)平臺(tái)，搭建國(guó)際先進(jìn)的涵蓋第三代半導(dǎo)體晶體生長(zhǎng)技術(shù)、器件物理研究、微納器件設(shè)計(jì)與加工技術(shù)、芯片封裝與測(cè)試等核心技術(shù)實(shí)體研發(fā)創(chuàng)新中心，提升研發(fā)水平和效率。建設(shè)國(guó)際先進(jìn)的第三代半導(dǎo)體研發(fā)、檢測(cè)和服務(wù)公共平臺(tái)，開展芯片和器件關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)，研發(fā)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的新材料、新工藝、新器件。深入開展核心關(guān)鍵技術(shù)研究、應(yīng)用驗(yàn)證、測(cè)試等，引入高溫離子注入系統(tǒng)、化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng)、等離子刻蝕機(jī)等關(guān)鍵工藝設(shè)備，以及大型分析檢測(cè)測(cè)試設(shè)備，為產(chǎn)業(yè)協(xié)同發(fā)展提供服務(wù)支撐。

2.搭建成果轉(zhuǎn)化平臺(tái)。鼓勵(lì)產(chǎn)學(xué)研深度合作，聚焦第三代半導(dǎo)體單晶材料生長(zhǎng)技術(shù)，器件設(shè)計(jì)與制備技術(shù)，封裝與測(cè)試技術(shù)等領(lǐng)域，加快推進(jìn)高校及研究院所科技成果與產(chǎn)業(yè)的對(duì)接，以共建聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室等形式落實(shí)成果轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化，實(shí)現(xiàn)我省在半導(dǎo)體核心技術(shù)領(lǐng)域的彎道超車；建設(shè)省級(jí)第三代半導(dǎo)體重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、工程技術(shù)中心等，加快推進(jìn)申請(qǐng)國(guó)家級(jí)第三代半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室，引入高端研發(fā)人才，對(duì)接先進(jìn)科研成果，加速成果產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。

3.發(fā)展產(chǎn)業(yè)孵化平臺(tái)。支持地市、高校聯(lián)合國(guó)內(nèi)外研發(fā)機(jī)構(gòu)和重點(diǎn)企業(yè)，按照新型研發(fā)機(jī)構(gòu)模式成立第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)研究院，逐步建成國(guó)際先進(jìn)、國(guó)內(nèi)一流的第三代半導(dǎo)體科技孵化
器，帶動(dòng)產(chǎn)業(yè)鏈上下游協(xié)同發(fā)展。

培育優(yōu)勢(shì)主體，拉動(dòng)產(chǎn)業(yè)整體規(guī)模

1.壯大龍頭企業(yè)。加大對(duì)重點(diǎn)企業(yè)的關(guān)注和扶持力度，實(shí)行一企一策，協(xié)調(diào)解決企業(yè)發(fā)展關(guān)鍵制約點(diǎn)。優(yōu)先將符合條件的產(chǎn)業(yè)鏈重點(diǎn)項(xiàng)目納入山東省新舊動(dòng)能轉(zhuǎn)換重大項(xiàng)目庫，充分利用好新舊動(dòng)能轉(zhuǎn)換政策，進(jìn)行重點(diǎn)扶持；圍繞SiC、GaN等晶體材料、功率器件和模塊、照明與顯示器件和下游應(yīng)用等產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)，培育壯大細(xì)分行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)，逐步扶持企業(yè)上市。

2.融通產(chǎn)業(yè)環(huán)節(jié)。強(qiáng)化需求牽引的作用，從應(yīng)用端需求入手，加強(qiáng)從材料、芯片、器件到模塊應(yīng)用產(chǎn)業(yè)鏈上下游的深度合作。加強(qiáng)省內(nèi)省外行業(yè)對(duì)接合作，精準(zhǔn)招引、實(shí)施補(bǔ)鏈、延鏈、強(qiáng)鏈項(xiàng)目。沿鏈分批打造規(guī)模大、技術(shù)強(qiáng)、品牌響的“領(lǐng)航型”企業(yè)，培育細(xì)分領(lǐng)域的“瞪羚”“獨(dú)角獸”企業(yè)，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)鏈上下游、大中小企業(yè)緊密配套、融通發(fā)展，有效提升產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈的穩(wěn)定性和競(jìng)爭(zhēng)力。

推進(jìn)下游應(yīng)用，拓寬產(chǎn)業(yè)發(fā)展路徑

1.大力支持碳化硅功率模塊的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化。加快實(shí)現(xiàn)碳化硅模塊量產(chǎn)，并提升碳化硅芯片及模塊在電氣性能、散熱設(shè)計(jì)、可靠性、封裝材料等方面的性能，降低生產(chǎn)成本。突破第三代半導(dǎo)體器件在充電樁、電動(dòng)汽車、家電等領(lǐng)域的應(yīng)用關(guān)鍵技術(shù)，掃清產(chǎn)業(yè)規(guī)模擴(kuò)大的技術(shù)壁壘。擴(kuò)大應(yīng)用規(guī)模，支持省內(nèi)碳化硅模塊生產(chǎn)企業(yè)擴(kuò)大產(chǎn)能，形成碳化硅模塊產(chǎn)業(yè)集聚，打造模組開發(fā)應(yīng)用產(chǎn)業(yè)化的新高地。

2.加快國(guó)產(chǎn)化第三代半導(dǎo)體產(chǎn)品應(yīng)用推廣。引導(dǎo)省內(nèi)芯片制造、封裝測(cè)試企業(yè)與第三代半導(dǎo)體材料企業(yè)對(duì)接，聯(lián)合開展研發(fā)攻關(guān)，實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵材料本地覆蓋。組織開展省內(nèi)國(guó)產(chǎn)第三代半導(dǎo)體應(yīng)用試點(diǎn)示范，在襯底、芯片加工、模組應(yīng)用等產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)對(duì)企業(yè)提出國(guó)產(chǎn)化比例考核要求。