隨著疫情反彈導(dǎo)致全球部分地區(qū)的海運(yùn)緊張、港口和通關(guān)阻滯,運(yùn)輸存儲(chǔ)、交期相對(duì)敏感的電子材料供應(yīng)鏈仍然危機(jī)重重。據(jù)CSIA(中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì))消息,8月2日,上海市集成電路行業(yè)協(xié)會(huì)收到中芯國(guó)際、華宏虹力等公司的反饋,浦東國(guó)際機(jī)場(chǎng)由于疫情突發(fā),導(dǎo)致冷鏈運(yùn)輸貨物分撥不暢,大量貨物滯留在海外。其中便包括光刻膠。
光刻膠又稱光致抗蝕劑,它是指由感光樹(shù)脂、增感劑和溶劑三種主要成分構(gòu)成的對(duì)光敏感的混合液體。在紫外光、電子束、離子束、X 射線等輻射的作用下,其感光樹(shù)脂的溶解度及親和性由于光固化反應(yīng)而發(fā)生變化,經(jīng)適當(dāng)溶劑處理,溶去可溶部分可獲得所需圖像。
光刻工藝是指在光照作用下,借助光刻膠將掩膜版上的圖形轉(zhuǎn)移到基片上的技術(shù),在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,隨著集成電路線寬縮小、集成度大為提升,光刻工藝技術(shù)難度大幅提升,成為延續(xù)摩爾定律的關(guān)鍵技術(shù)之一。同時(shí),器件和走線的復(fù)雜度和密集度大幅度提升,高端制程關(guān)鍵層次需要兩次甚至多次曝光來(lái)實(shí)現(xiàn)。其中,光刻膠的質(zhì)量和性能是影響集成電路性能、成品率及可靠性的關(guān)鍵因素。目前,高端光刻膠市場(chǎng)主要由日本和美國(guó)光刻膠巨頭主導(dǎo)。
此外,由于光刻膠保質(zhì)期短(平均6個(gè)月左右),長(zhǎng)期滯留不僅貨物本身會(huì)造成損失,中芯國(guó)際、華虹集團(tuán)等企業(yè)也會(huì)因光刻膠短缺存在停工停產(chǎn)的風(fēng)險(xiǎn)。
經(jīng)上海市集成電路行業(yè)協(xié)會(huì)與上海市經(jīng)委運(yùn)行處商議,采用“包機(jī)”的形式將自8月初開(kāi)始滯留的貨物一次性運(yùn)輸至上海。8月31日,上海市集成電路行業(yè)協(xié)會(huì)召集國(guó)際知名光刻膠供應(yīng)商杜邦、默克、住商、信越等企業(yè)討論“包機(jī)”紓困方案。
截至目前,在供應(yīng)鏈與東航物流、上海海關(guān)、浦東機(jī)場(chǎng)海關(guān)等多部門的支持下,上海市集成電路行業(yè)協(xié)會(huì)分別于9月10日和10月17日完成2次包機(jī)任務(wù),共運(yùn)輸光刻膠53.78噸。