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打破國外壟斷,首臺國產(chǎn)低能離子注入機順利完成驗證

2021-08-30
來源: 全球半導(dǎo)體觀察

  在全球產(chǎn)能緊缺以及半導(dǎo)體國產(chǎn)化的浪潮下,國產(chǎn)半導(dǎo)體正面臨前所未有的發(fā)展機遇,尤其是國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備中的離子注入機,近期好消息不斷。

  8月27日,萬業(yè)企業(yè)披露財報,根據(jù)財報顯示,在過去半年,萬業(yè)企業(yè)的營收為6.09億元,同比增長28.25%,其中集成電路設(shè)備收入同比增長223%,研發(fā)費用同比增長575.23%,這一串?dāng)?shù)據(jù)的背后既是萬業(yè)企業(yè)不斷創(chuàng)造輝煌的展現(xiàn),也是國產(chǎn)離子注入機快速增長的證明。

  國產(chǎn)離子注入機的春天

  離子注入機作為半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵設(shè)備之一,在整個晶圓加工中占比約5%,但這一設(shè)備長期被國外所統(tǒng)治,美國的應(yīng)用材料(Applied Materials)和亞舍利(Axcelis)合計占據(jù)全球85%-90%的市場。長期以來,國內(nèi)企業(yè)的市場份額一度近乎為0,凱世通是國內(nèi)為數(shù)不多切入這個領(lǐng)域的企業(yè)。

  2018年萬業(yè)企業(yè)收購凱世通,一年之后,凱世通的集成電路(IC)離子注入機,就陸續(xù)在主流存儲器芯片廠和國內(nèi)12英寸晶圓廠進行產(chǎn)線驗證,產(chǎn)品在束流強度指標上表現(xiàn)優(yōu)異,實力可見一斑。

  而如今,在凱世通的努力下,國產(chǎn)離子注入機迎來了一個朝氣蓬勃的春天。

  根據(jù)萬業(yè)企業(yè)的財報顯示,凱世通的離子注入機已經(jīng)拿下多個訂單。尤其是凱世通自主研發(fā)的第一臺國產(chǎn)低能大束流離子注入機,已于今年5月份在國內(nèi)一家12寸主流集成電路制造廠完成設(shè)備驗證,并已確認銷售收入。這也是首臺完成國內(nèi)主流客戶驗證并確認收入的國產(chǎn)低能大束流設(shè)備,是一次攻克卡脖子設(shè)備的初戰(zhàn)告捷。

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  △ 凱世通低能大束流離子注入機

  凱世通的離子注入機獲得國內(nèi)最高等級晶圓廠的驗證,這不僅是凱世通從0到1的突破,也是國產(chǎn)離子注入機領(lǐng)域從0到1的突破。萬里長征最難的是第一步,隨著凱世通第一筆國產(chǎn)低能大束流設(shè)備訂單銷售的確認,凱世通后續(xù)的訂單也會越來越多。

  國產(chǎn)替代訂單前景廣闊

  當(dāng)前的趨勢之下,國產(chǎn)半導(dǎo)體對于國產(chǎn)離子注入機的需求也是十分緊迫的。根據(jù)產(chǎn)業(yè)人士透露,2016年時,國產(chǎn)離子注入機產(chǎn)量僅4臺,而需求已高達157臺,供需差為153臺。盡管過去幾年需求增速低于國產(chǎn)產(chǎn)能速度,但離子注入的本土供需仍存在較大差距,進口替代迫在眉睫。

  如果以現(xiàn)在國內(nèi)新增產(chǎn)能52萬片計算,預(yù)計新增晶圓產(chǎn)能需采購的離子注入機需要520-780臺,市場潛力巨大,這也給了萬業(yè)企業(yè)更多的機會與更高的要求。

  除了今年5月通過驗證了的1臺低能大束流離子注入機,凱世通去年12月公告的另外3臺設(shè)備進展順利,重金屬離子注入機和超低溫大束流離子注入機已完成客戶交付,高能離子注入機設(shè)備按客戶交付計劃進行組裝。

  值得一提的是,報告期內(nèi)凱世通又新增2臺訂單,與國內(nèi)另一家12英寸芯片制造廠簽署了1臺低能大束流超低溫離子注入機和1臺高能離子注入機訂單。

  可以看到,廣闊的市場需求給了萬業(yè)企業(yè)更大的成長空間,未來萬業(yè)企業(yè)的訂單也將越來越多,而萬業(yè)企業(yè)在獲得訂單的同時,也沒有忘記作為一個半導(dǎo)體企業(yè)的使命,那就是不斷的攻克更尖端的技術(shù)。

  加強人才技術(shù)研發(fā)投入

  從萬業(yè)企業(yè)的財報不難發(fā)現(xiàn),從2018年到2020年三年間,其費用的年均復(fù)合增長率為238%,并且2020年研發(fā)費用超過了銷售費用,這充分體現(xiàn)了 萬業(yè)企業(yè)在半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化方面的決心。根據(jù)本次財報的披露,上半年用于設(shè)備的研發(fā)費用同比增長575.23%,這再次說明萬業(yè)企業(yè)對于技術(shù)的執(zhí)著追求。

  凱世通的創(chuàng)始團隊主要是來自全球知名的離子注入機公司,深耕離子注入機領(lǐng)域30多年,曾開發(fā)過多款暢銷的離子注入機。所以在進行國產(chǎn)IC離子注入機研發(fā)過程中,凱世通在每款產(chǎn)品開發(fā)之初,就做了詳盡的市場與知識產(chǎn)權(quán)調(diào)查,避免陷入專利糾紛,同時也積極的布局關(guān)鍵專利,為自己筑起一道雄厚的技術(shù)壁壘。

  此外,人才是半導(dǎo)體企業(yè)的立身之本,對人才的尊重才能讓企業(yè)更快速發(fā)展。為了完善人才激勵機制,調(diào)動公司管理層和核心技術(shù)/業(yè)務(wù)人員的積極性,同時提高公司的市場競爭力。萬業(yè)企業(yè)在今年6月推出了第一期員工持股計劃。此舉有效的調(diào)動員工積極性和創(chuàng)造性,增強員工凝聚力和提升公司集成電路業(yè)務(wù)的技術(shù)與市場能力。

  兩大引擎驅(qū)動板塊成長

  從萬業(yè)企業(yè)的股權(quán)架構(gòu)可以看出,當(dāng)前萬業(yè)企業(yè)的前三大股東分別是浦東科投,三林萬業(yè)和大基金,三者分別持股為28.44%、12.9%、7.07%。

  值得注意的是,浦東科技投是一家專注于高科技產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域并購?fù)顿Y的專業(yè)機構(gòu),曾投資過數(shù)家知名集成電路設(shè)計公司,2014年參與收購瀾起科技,并曾與紫光集團競購銳迪科。有大基金與浦東科投的坐鎮(zhèn),也意味著萬業(yè)企業(yè)與向下游形成產(chǎn)業(yè)協(xié)同時也更為順利。

  在經(jīng)營方面,萬業(yè)企業(yè)不僅收購了凱世通,還在2020年牽頭境內(nèi)外投資人收購Compart Systems。后者是全球領(lǐng)先的氣體輸送系統(tǒng)領(lǐng)域供應(yīng)商之一,也是全球少數(shù)可完成該領(lǐng)域零組件精密加工全部環(huán)節(jié)的公司。

  

  △ Compart Systems精密零部件生產(chǎn)線

  今年上半年,Compart Systems首度布局國內(nèi)市場,相關(guān)產(chǎn)業(yè)正式打入國內(nèi)集成電路設(shè)備公司的供應(yīng)鏈。另一方面,萬業(yè)牽頭簽約浙江海寧新建Compart研發(fā)和制造中心,該項目總投資30億元,是海寧市2021年重點引進的半導(dǎo)體領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)項目。

  自此,萬業(yè)企業(yè)集成電路板塊正式形成雙引擎驅(qū)動發(fā)展模式。一是以凱世通的離子束技術(shù)為核心,集科研、制造于一體的高科技項目,二是以Compart的集成電路設(shè)備氣體傳輸系統(tǒng)為核心的零部件供應(yīng)。兩者目前都屬于國產(chǎn)替代,成長空間巨大。

  總 結(jié)

  一家半導(dǎo)體企業(yè)的成長靠的是什么?靠的是資金,靠的是技術(shù),但更靠的是恒心。敢于挑戰(zhàn)國際寡頭的恒心,以及對研發(fā)持之以恒的投入,正是這種信念驅(qū)使著萬業(yè)企業(yè)不斷前行,也驅(qū)使著國產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)不斷前行。

  回顧萬業(yè)企業(yè)的轉(zhuǎn)型,從2015年至今僅有6年,6年很快,但萬業(yè)企業(yè)走得更快,不僅打破了國外對于IC離子注入機的壟斷,還用專利筑起了自己的技術(shù)壁壘。此次中期財報,只是萬業(yè)企業(yè)對過去半年的一次小結(jié),在半導(dǎo)體國產(chǎn)化與產(chǎn)能緊缺的雙重因素之下,以及萬業(yè)企業(yè)對技術(shù)的投入,對人才的尊重,相信未來萬業(yè)企業(yè)也定會踩著東風(fēng)加速前進。



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