鍍膜產(chǎn)品的常見問題,部分是鍍膜工序的本身造成的,部分是前工程遺留的問題,鍍膜終的品質(zhì)是整個光學(xué)零件加工的(特別是拋光、清洗)的綜合反映,對于出現(xiàn)鍍膜不良時必須綜合考慮,才能真正找到不良產(chǎn)生的原因,對策改善才能取得成效。
膜臟(也稱白壓克)
顧名思義,膜層有臟。一般的膜臟發(fā)生在膜內(nèi)或膜外。臟可以包括:灰塵點、白霧、油斑、指紋印、口水點等。(灰塵點和白霧單列)
01 灰點臟
現(xiàn)象:鏡片膜層表面或內(nèi)部有一些點子(不是膜料點)有些可以擦除,有的不能擦除。并且會有點狀脫膜產(chǎn)生。
產(chǎn)生原因:
1、真空室臟,在開始抽真空時的空氣渦流將真空室底板、護(hù)板的臟灰?guī)У界R片上,形成灰點層。(膜內(nèi),不能擦除,會有點狀脫膜)
2、鏡圈或碟片臟,有浮點灰塵,在離子束作用下附著到了鏡片上形成灰點層。(膜內(nèi),不能擦除,會有點狀脫膜)
3、鏡片上傘時就有灰塵點,上傘時沒有檢查挑選。(膜內(nèi),不能擦除,會有點狀脫膜)
4、鍍制完成后的環(huán)境污染是膜外灰點的主要成因,特別是當(dāng)鏡片熱的時候,更容易吸附灰塵,而且難以擦除。(膜外)
5、真空室充氣口環(huán)境臟、開始充氣量過大、充氣過濾器臟,充氣時鏡片溫度過高也是造成鏡片膜外灰塵點不良的原因。(膜外)
6、 作業(yè)員人為帶來的灰塵污染(膜內(nèi)膜外)
7、 工作環(huán)境中灰塵過多
改善思路:杜絕灰塵源
改善對策:
1、工作環(huán)境改造潔凈車間,嚴(yán)格按潔凈車間規(guī)范實施。
2、盡可能做好環(huán)境衛(wèi)生。盡量利用潔凈工作臺。
3、 真空室周期打掃,保持清潔。
02 膜外白霧
現(xiàn)象:鍍膜完成后,表面有一些淡淡的白霧,用丙酮或混合液擦拭,會有越擦越嚴(yán)重的現(xiàn)象。用氧化鈰粉擦拭,可以擦掉或減輕,(又稱:可擦拭壓克)
分析:膜外白霧的成因較為復(fù)雜,可能的成因有:
?、佟⒛そY(jié)構(gòu)問題:外層膜的柱狀結(jié)構(gòu)松散,外層膜太粗糙;
?、?、蒸發(fā)角過大,膜結(jié)構(gòu)粗糙。
?、邸夭睿虹R片出罩時內(nèi)外溫差過大
?、?、潮氣;鏡片出罩后擺放環(huán)境的潮氣
⑤、真空室內(nèi)Polycold解凍時水汽過重
?、?、蒸鍍中充氧不完全,膜結(jié)構(gòu)不均勻
⑦、膜與膜之間的應(yīng)力
改善思路:膜外白霧成因很多,但各有些特征,盡量對癥下藥。主要思路,一是把膜做的致密光滑些不容易吸附,二是改善環(huán)境減少吸附的對象。
改善對策:
1、改善膜系,外層加二氧化硅,使膜表面光滑,不易吸附。改善鏡片出罩時的環(huán)境(干燥、清潔)
2、降低出罩時的鏡片溫度(延長在真空室的冷卻時間)減少溫差、降低應(yīng)力。
3、改善充氧(加大),改善膜結(jié)構(gòu)。
4、適當(dāng)降低蒸發(fā)速率,改善柱狀結(jié)構(gòu)
5、離子輔助鍍膜,改善膜結(jié)構(gòu)
6、加上polycold解凍時的小充氣閥(其功能是及時帶走水汽)
7、從蒸發(fā)源和夾具上想辦法改善蒸發(fā)角。
8、改善基片表面粗糙度。
9、注意polycold解凍時的真空度。
03 膜內(nèi)白霧
白霧形成在膜內(nèi),無法用擦拭方法祛除。
可能的成因:
?、?、基片臟,附著前工程的殘留物
?、?、鏡片表面腐蝕污染
?、?、膜料與膜料之間、膜料與基片之間的不匹配。
④、氧化物充氧不夠。
⑤、一層氧化鋯膜料,可能對某些基片產(chǎn)生白暈現(xiàn)象
⑥、基片進(jìn)罩前(洗凈后)受潮氣污染
?、摺⑾磧艋虿潦貌涣?,洗凈痕跡、擦拭痕跡
?、唷⒄婵帐遗K、水氣過重
?、帷h(huán)境濕度大
改善思路:基片本身的問題可能是主要的,鍍膜是盡量彌補(bǔ),鍍膜本身的可能是膜料匹配問題。
改善對策:
1、改進(jìn)膜系,層不用氧化鋯。
2、盡量減少真空室開門時間,罩與罩之間在短時間內(nèi)做好真空室的清潔、鍍膜準(zhǔn)備工作。
3、真空室在更換護(hù)板、清潔后,能空罩抽真空烘烤一下,更換的護(hù)板等真空室部件必須干燥、干凈。
4、改善環(huán)境
5、妥善保護(hù)進(jìn)罩前在傘片上的鏡片,免受污染。
6、改善洗凈、擦拭效果。
7、改善膜匹配(考慮層用Al2O3)
8、改善膜充氧和蒸發(fā)速率(降低)
9、加快前工程的流程。前工程對已加工光面的保護(hù)加強(qiáng)。
10、拋光加工完成的光面,必須立即清潔干凈,不能有拋光粉或其他雜質(zhì)附著干結(jié)。
?。ㄎ恼聛碓矗罕疚霓D(zhuǎn)載于網(wǎng)絡(luò)平臺,如有什么不當(dāng)之處請隨時聯(lián)系我們,我們將及時進(jìn)行修改。)
光學(xué)薄膜設(shè)計軟件
功能強(qiáng)大
★TFCalc 是一個光學(xué)薄膜設(shè)計和分析的工具,這里有按順序排列介紹了 TFC 的功能:吸收、有效鍍膜、角度匹配、雙錐形的穿透、黑體光源、色彩優(yōu)化、約束、繼續(xù)優(yōu)化目標(biāo)、派生目標(biāo)、探測器、散射公式、電場強(qiáng)度、同等折射率、同等堆棧、獲得材質(zhì)、全局優(yōu)化、組優(yōu)化、發(fā)光體、膜層敏感性、局部優(yōu)化、多重環(huán)境、針優(yōu)化、光學(xué)監(jiān)控、光學(xué)密度、相位移動、psi、發(fā)光分布、折射率的確定、反射、敏感度分析、堆棧公式、綜合、穿透率、隧道效應(yīng)、可變材料。
創(chuàng)新
★TFCalc 軟件是膜系設(shè)計軟件中提供創(chuàng)新方法的領(lǐng)導(dǎo)者。例如,TFCalc 允許活動材料-材料的折射率隨著外部影響而改變。這個功能是其它商業(yè)軟件沒有的功能。
容易使用
★TFCalc 是標(biāo)準(zhǔn)的 windows 和蘋果機(jī)程序;薄膜設(shè)計工程師利用菜單、對話框和窗口來輸入并顯示結(jié)果。
★Software Spectra 努力讓 TFCalc 軟件盡可能的容易使用,特別是對僅僅偶爾使用軟件的工程師來說這一點更加重要。TFCalc 軟件包中包含了大量的設(shè)計實例。
多種平臺
TFCalc 可以在以下計算機(jī)和操作系統(tǒng)下工作:
★運行 windows 3.1 ,3.11, 95,98,2000,7,XP 的 PC。
★運行 System 7 或更新版本的蘋果計算機(jī)。
★TFCalc 所輸出的檔格式兼容這兩個平臺,讓你和同時可以共享數(shù)據(jù)。