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設備 | 晶洲裝備新建濕制程智能裝備項目竣工投產(chǎn)

2021-07-31
來源:互聯(lián)網(wǎng)

  隨著我國平板顯示、光伏以及半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,國產(chǎn)濕制程裝備的需求日益增長,經(jīng)過地方政府的考察與認可,2020年晶洲裝備投資新建濕制程智能裝備生產(chǎn)基地。經(jīng)過400多天的施工,目前該項目已順利通過竣工驗收。

  晶洲裝備自2011年成立以來,一直專注于平板顯示、光伏、半導體領域的高精密濕制程裝備的生產(chǎn)及研發(fā),產(chǎn)品主要包括高精密清洗、濕法刻蝕、光阻剝離、顯影等高端濕制程設備,至2021年6月,平板顯示工藝制程設備累積交付逾200臺/套;已交付量產(chǎn)設備對應基板尺寸涵蓋G2.5~G8.6。

  隨著新建濕制程智能裝備生產(chǎn)基地的交付使用,制造車間可對應G10.5、G11超大尺寸基板裝備制造,機型可對應包括單層I Type、雙層I Type、U Type等;實現(xiàn)平板顯示全系列基板尺寸裝備全覆蓋。

  晶洲裝備本次投產(chǎn)的濕制程智能裝備生產(chǎn)基地位于江蘇省常熟市高新技術產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)辛莊工業(yè)園,占地40,000平方米,具備年度120臺以上中大世代設備的交付能力。

  以晶洲裝備2018年獲得江蘇省首臺(套)重大裝備的G6濕法刻蝕機為例,單臺濕法刻蝕機寬4米,高4.5米,長達30米;120臺中大世代設備可以擺滿兩個足球場。

  這樣一個體積龐大的大型裝備,潔凈度要求卻非常高,設備內(nèi)部潔凈度要求達到Class10,即每立方米空間直徑大于0.5微米小于5微米的顆粒物不能超過10個,而人體細胞的平均直徑在10-20微米,相當于每立方米空間不能有超過10個細胞大小的顆粒物。

  為了達到這一要求,設備整機裝配需要在無塵車間進行;面向平板顯示工藝制程設備組裝均需在無塵室進行,為了保障裝配精度及部品潔凈度,新建了兩個恒溫恒濕加工車間。車間局部區(qū)域環(huán)境等級達Class100,具備高精密半導體設備的組裝及調(diào)試條件。

  晶洲裝備在業(yè)務快速發(fā)展中,面對良好的市場環(huán)境、源源不斷的訂單,公司的研發(fā)業(yè)務、產(chǎn)品質(zhì)量與交貨周期,面臨巨大的挑戰(zhàn)與瓶頸。為提升產(chǎn)品的“研發(fā)-工藝-生產(chǎn)”效率,加快市場響應速度,提高訂單交付質(zhì)量,加強研發(fā)業(yè)務管理水平,背靠華為云(常熟)工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)基地及其生態(tài)合作伙伴的技術支撐,晶洲裝備選擇與國內(nèi)優(yōu)秀CAD/PLM軟件企業(yè)CAXA進行戰(zhàn)略合作,借助CAXA在行業(yè)的最佳實踐與豐富經(jīng)驗,幫助晶洲裝備打造統(tǒng)一、規(guī)范的研發(fā)管理平臺。




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