IT之家 7 月 21 日消息 據(jù)晶盛機(jī)電發(fā)布，7 月 20 日，晶盛機(jī)電晶體實(shí)驗(yàn)室自主研發(fā)的國內(nèi)首臺(tái) 12 英寸硬軸直拉硅單晶爐成功生長出首顆 12 英寸硅單晶。

這是繼 2020 年 8 月國內(nèi)首臺(tái) 8 英寸硬軸直拉爐生長出 8 英寸硅單晶之后，又一次在半導(dǎo)體級(jí)硅單晶生長裝備上取得的重要技術(shù)進(jìn)展，為國內(nèi)大硅片行業(yè)技術(shù)升級(jí)提供了裝備保障。

官方介紹，研發(fā)團(tuán)隊(duì)在鞏固原有技術(shù)的基礎(chǔ)上，解決了硬軸單晶爐高真空、高精度及傳動(dòng)過程震動(dòng)消除等諸多技術(shù)難題，實(shí)現(xiàn)了高穩(wěn)定性晶體生長環(huán)境，為 12 英寸硅單晶體內(nèi)微缺陷控制和徑向均勻性提高提供了技術(shù)支撐。

晶盛機(jī)電稱，依托兩項(xiàng)國家科技重大 02 專項(xiàng)課題（“300mm 硅單晶直拉生長裝備的開發(fā)”和“8 英寸區(qū)熔硅單晶爐國產(chǎn)設(shè)備研制”），專注于半導(dǎo)體硅單晶生長裝備研發(fā)，相繼開發(fā)出定拉速控徑、液位控制、定放肩、超導(dǎo)磁場拉晶等多項(xiàng)國際領(lǐng)先技術(shù)。