市場(chǎng)對(duì)晶圓代工產(chǎn)能的需求從未像當(dāng)下這么強(qiáng)烈,從成熟制程到先進(jìn)制程,幾乎全線處于供不應(yīng)求的狀態(tài)。在這種情況下,能夠通吃成熟和先進(jìn)制程的晶圓代工廠就可以在市場(chǎng)上處于優(yōu)勢(shì)地位,誰(shuí)覆蓋的面更廣,誰(shuí)就能在競(jìng)爭(zhēng)中占據(jù)上風(fēng)。從排名來(lái)看,也基本體現(xiàn)出了這樣的局面,特別是全球排名前五的晶圓代工廠,分別是臺(tái)積電、三星、聯(lián)電、格芯、中芯國(guó)際。這幾家都有成熟制程和先進(jìn)制程產(chǎn)線,但所占比例各不相同,其中,臺(tái)積電的先進(jìn)制程最強(qiáng),所占比重最高,三星緊隨其后,這是它們排名前二的重要原因;聯(lián)電和格芯都以成熟制程為主,有一部分先進(jìn)制程;中芯國(guó)際則以成熟制程為主,先進(jìn)制程總體處于生長(zhǎng)、起步階段。
以節(jié)點(diǎn)來(lái)看,成熟制程和先進(jìn)制程很難有明確的劃分,本文則以28nm為分界線,小于28nm的節(jié)點(diǎn)為先進(jìn)制程,反之則為成熟制程,另外,每家公司都有各自的特殊制程,相應(yīng)的節(jié)點(diǎn)會(huì)分布在28nm左右兩側(cè)。下面就看一下全球晶圓代工“五虎”近一年內(nèi)在成熟和先進(jìn)制程方面的發(fā)展和表現(xiàn)。
臺(tái)積電
提到臺(tái)積電,先進(jìn)制程已經(jīng)成為了該公司的名片,特別是7nm、5nm和3nm。
7nm方面,臺(tái)積電已經(jīng)在這個(gè)節(jié)點(diǎn)上獲得了超過(guò)200個(gè)NTO,且大多投入量產(chǎn)。臺(tái)積電已經(jīng)生產(chǎn)了超過(guò)10億顆7nm芯片。在7nm時(shí)代,臺(tái)積電還率先推出了使用EUV技術(shù)的7nm+工藝。在7nm基礎(chǔ)上,該公司推出了6nm工藝,這個(gè)平臺(tái)的一個(gè)主要特點(diǎn)是與7nm工藝平臺(tái)兼容,這樣,客戶很容易把7nm的設(shè)計(jì)移植到6nm。
2020年,臺(tái)積電實(shí)現(xiàn)了5nm的量產(chǎn),與7nm相比,新工藝的速度提升了15%,功耗降低了30%,而邏輯密度則是前者的1.8倍。在良率方面,新工藝的進(jìn)展也非常順利。與此同時(shí),該公司還推出了增強(qiáng)版的N5P工藝制程,晶體管的速度提升了5%,功耗降低了10%,這將給HPC帶來(lái)新的機(jī)會(huì)。
此外,臺(tái)積電還基于N5平臺(tái)推出了N4工藝,其速度、功耗和密度都有了改善。其最大的優(yōu)勢(shì)同樣是在于其與N5的兼容,使用5nm工藝設(shè)計(jì)的產(chǎn)品能夠輕易地轉(zhuǎn)移到4nm的平臺(tái)上。這也能保證臺(tái)積電客戶在每一代的投資,都能獲得更好的效益。N4試產(chǎn)將在2021年第四季度,而量產(chǎn)將會(huì)在2022年實(shí)現(xiàn)。
目前,臺(tái)積電正在為3nm制程工藝量產(chǎn)做著準(zhǔn)備,在這代工藝上,臺(tái)積電會(huì)繼續(xù)采用FinFET。與5nm相比,臺(tái)積電3nm的速度將提升10%到15%,功耗將提升25%到30%,邏輯密度將是前者的1.7倍,SRAM密度也將能提升20%,就連模擬密度也提升了10%。根據(jù)臺(tái)積電規(guī)劃,3nm工藝將在2022年下半年進(jìn)行量產(chǎn)。
臺(tái)積電不僅在先進(jìn)制程方面處于霸主地位,在成熟和特殊制程領(lǐng)域同樣名列前茅。臺(tái)積電能提供MEMS、圖像傳感器、嵌入式NVM,RF、模擬、高電壓和BCD功率IC等制程工藝。臺(tái)積電在基本的邏輯技術(shù)基礎(chǔ)上,會(huì)加上先進(jìn)的ULL&SRAM、RF&Analog及eNVM技術(shù),實(shí)現(xiàn)低功耗以及模擬技術(shù)的提升。
為了實(shí)現(xiàn)低功耗,臺(tái)積電可提供0.18um eLL、90nm ULP、55ULP等制程,同時(shí),臺(tái)積電還推出了最新的FinFET技術(shù)-N12e,可以打造高效高能的產(chǎn)品。
臺(tái)積電在Sensor,Stacking和ASIC(ISP)方面都在延續(xù)自己的技術(shù)。Sensor方面從N65BSI 一直到N65BSI,Stacking方面,則是從BSI到Advanced Pixel Level Stack,ASIC(ISP)則是從N90LP到N65LP。
三星
在先進(jìn)制程方面,三星是唯一能沖擊臺(tái)積電的晶圓代工廠。繼7nm之后,三星正在5nm制程方面向臺(tái)積電發(fā)動(dòng)著攻擊。
三星的5nm制程于2020年第三季度實(shí)現(xiàn)量產(chǎn),稍晚于臺(tái)積電,但相差不多。三星的5LPE(5nm低功耗早期)制造技術(shù)是該公司7LPP(7nm低功耗性能)制造工藝的改進(jìn),該工藝已經(jīng)使用了兩年。
與7LPP相比,5LPE增強(qiáng)了EUV光刻工具的使用,以提供10%的性能提升(在相同的功率和復(fù)雜度下)或20%的功耗降低(在相同的時(shí)鐘和復(fù)雜度下),并減少約25%的面積。5LPE 在原始工藝中增加了幾個(gè)新模塊,包括具有智能擴(kuò)散中斷(Smart Diffusion Break:SDB)隔離結(jié)構(gòu)的FinFET,以提供額外的性能。
三星表示,5LPE在很大程度上與7LPP兼容,這使5LPE設(shè)計(jì)可以復(fù)用IP,從而降低了成本并加快了上市時(shí)間。
三星首批5LPE芯片是在其位于韓國(guó)華城的第一條 EUV專用V1生產(chǎn)線上生產(chǎn)的。從2021年下半年開(kāi)始,這項(xiàng)技術(shù)將在三星平澤新產(chǎn)線中使用。
3nm 制程方面,三星計(jì)劃于2022年下半年量產(chǎn),這也是在對(duì)標(biāo)臺(tái)積電。
在成熟制程方面,三星目前有四條產(chǎn)線,包括三條12英寸和一條8英寸的,12英寸晶圓代工線分布在韓國(guó)和美國(guó),主要針對(duì)相對(duì)高端的制程工藝,包括65nm、45nm、32/28nm HKMG、14nm FinFET工藝。8英寸晶圓代工線于2016年開(kāi)放,涵蓋180nm到65nm節(jié)點(diǎn),主要用于eFlash、功率器件、CIS,以及高壓制程等。
聯(lián)電
自從調(diào)整經(jīng)營(yíng)策略后,聯(lián)電專注成熟和特殊制程技術(shù),并從強(qiáng)化財(cái)務(wù)結(jié)構(gòu)、具成本競(jìng)爭(zhēng)力的產(chǎn)能擴(kuò)充及調(diào)整產(chǎn)品組合著手。
2020年,聯(lián)電在先進(jìn)制程平臺(tái)推出14nm 14FFC制程、22nm超低功耗22ULP及超低漏電流22ULL制程、28nm高效能運(yùn)算28HPC+制程等均已進(jìn)入量產(chǎn),并采用28HPC+制程量產(chǎn)圖像信號(hào)處理器(ISP),且今年導(dǎo)入更先進(jìn)產(chǎn)品。聯(lián)電還針對(duì)毫米波(mmWave)制程完成了55nm/40nm/28nm平臺(tái),可應(yīng)用于移動(dòng)裝置、物聯(lián)網(wǎng)、5G通訊、車用電子及工業(yè)雷達(dá)。
在特殊制程方面,聯(lián)電28nm高壓制程在晶圓代工業(yè)界是第一個(gè)開(kāi)發(fā)并量產(chǎn)OLED面板驅(qū)動(dòng)IC的廠商,22nm高壓22eHV制程研發(fā)進(jìn)度符合預(yù)期。RFSOI技術(shù)可滿足所有4G/5G手機(jī)對(duì)射頻開(kāi)關(guān)的嚴(yán)格要求,目前90nm制程已進(jìn)入量產(chǎn),55nm制程即將導(dǎo)入量產(chǎn),同時(shí)已著手開(kāi)發(fā)40nm RFSOI技術(shù)平臺(tái),以滿足后續(xù)5G和mmWave市場(chǎng)增長(zhǎng)需求。
此外,聯(lián)電嵌入式閃存(eFlash)的40nm制程已導(dǎo)入量產(chǎn),28nm研發(fā)符合預(yù)期,將可供應(yīng)物聯(lián)網(wǎng)需求。40nm電阻式隨機(jī)存取內(nèi)存(ReRAM)已經(jīng)進(jìn)入量產(chǎn)階段,22nm ReRAM技術(shù)平臺(tái)和22nm嵌入式磁阻隨機(jī)存取內(nèi)存(eMRAM)制程平臺(tái)研發(fā)如期進(jìn)行中。
格芯
格芯主攻成熟制程,其在先進(jìn)制程方面涉獵已經(jīng)很少,最先進(jìn)的是12nm工藝。2020年,該公司宣布其最先進(jìn)的FinFET制程工藝12LP+大功告成。按照格芯的說(shuō)法,12LP+相較于12LP,性能增加了20%、規(guī)模面積減少了10%。
目前,12LP+已經(jīng)在AI訓(xùn)練芯片領(lǐng)域通過(guò)了IP驗(yàn)證,可減少生產(chǎn)成本、創(chuàng)造更大價(jià)值。另外,格芯也在豐富12LP+的IP組合包,目標(biāo)包括PCIe 3/4/5、USB 2/3主控芯片、HBM2/2e顯存、DDR/LPDDR4/4X芯片、GDDR6芯片等。
在成熟制程方面,格芯主要涉及28nm/22nm、40nm/45nm、55nm/65nm、90nm、130nm工藝。
中芯國(guó)際
受國(guó)際形勢(shì)影響,中芯國(guó)際先進(jìn)制程研發(fā)進(jìn)展受阻,預(yù)計(jì)14nm以下節(jié)點(diǎn)制程帶來(lái)的營(yíng)收將有所下降。然而,由于市場(chǎng)對(duì)40nm及以上成熟制程的需求仍然維持在較高水平,2020年,中芯國(guó)際憑借在成熟制程方面的優(yōu)勢(shì)取得了17%的營(yíng)收年增長(zhǎng)率及5%的市場(chǎng)占有率。中芯國(guó)際全年14nm/28nm營(yíng)收占比為9.3%,40nm/45nm營(yíng)收占比為16%,55nm/65nm營(yíng)收占比為30%,合計(jì)占比超過(guò)總營(yíng)收的一半以上。
具體來(lái)看,中芯國(guó)際有150多個(gè)工藝平臺(tái),按地區(qū)劃分:在上海,0.35μm-0.11μm有65個(gè)工藝;在天津,0.35μm-0.15μm有35個(gè)工藝;在深圳,0.35μm-0.15μm有25個(gè)工藝;在北京,0.18μm-22nm有76個(gè)工藝。此外,該公司于2020年新增了10個(gè)工藝平臺(tái)。
IP方面,中芯國(guó)際已經(jīng)積累2300個(gè),具體包括:826個(gè)40nm/28nm的IP,562個(gè)65nm/55nm的IP,74個(gè)90nm的IP,355個(gè)0.18μm/0.15μm的IP,35個(gè)0.35μm/0.25μm的IP,以及478個(gè)0.13μm /0.11μm的IP。
結(jié)語(yǔ)
在當(dāng)今的產(chǎn)業(yè)環(huán)境下,晶圓代工的地位愈加突出,而在成熟和先進(jìn)制程方面具備多線能力的廠商,其市場(chǎng)接受度會(huì)更高,營(yíng)收能力更強(qiáng)。越全面,越能實(shí)現(xiàn)通吃。