1月20日,光刻機龍頭ASML公布2020年全年財報。2020年,ASML共售出258臺光刻系統(tǒng),包括236臺新系統(tǒng)和22臺二手系統(tǒng)??偁I收達(dá)140億歐元,毛利率為48.6%,凈利潤達(dá)36億歐元。
EUV光刻機是當(dāng)前頂尖芯片制造的關(guān)鍵設(shè)備,主要用于生產(chǎn)7納米及更先進(jìn)制程的芯片。2020年,ASML共銷售31臺EUV,較前一年增加5臺,創(chuàng)收45億歐元。
EUV進(jìn)展:交付第一臺YieldStar385系統(tǒng)
ASML在第四季度向客戶交付了第一臺YieldStar385系統(tǒng)。YieldStar385具備最新的量測技術(shù),提高量測速度和準(zhǔn)確度,可以滿足3納米制程的要求。與以前的系統(tǒng)相比,主要的增強功能包括更快的工作臺和更快的波長切換,這可以實現(xiàn)高精度的套準(zhǔn)測量和使用多個波長的設(shè)備匹配。
ASML預(yù)計,下一代EUV光刻機將在2025年量產(chǎn)。預(yù)計到2021年,EUV全年銷售額將達(dá)到55億歐元。
DUV突破:預(yù)訂量創(chuàng)歷史新高
ASML向《科創(chuàng)板日報》記者透露,2020年DUV(深紫外光)光刻機預(yù)訂量創(chuàng)歷史新高(73億歐元)。在DUV光刻業(yè)務(wù)領(lǐng)域,首批NXT2050i系統(tǒng)的生產(chǎn)周期長達(dá)120天,但截至去年年底,最后五套系統(tǒng)的生產(chǎn)中,已將生產(chǎn)周期縮短到60天。
ASML預(yù)計2021年一季度收入在39億歐元-41億歐元之間,市場預(yù)估35.2億歐元;毛利率在50%至51%之間。