1月20日，光刻機(jī)龍頭ASML公布2020年全年財(cái)報(bào)。2020年，ASML共售出258臺(tái)光刻系統(tǒng)，包括236臺(tái)新系統(tǒng)和22臺(tái)二手系統(tǒng)。總營(yíng)收達(dá)140億歐元，毛利率為48.6%，凈利潤(rùn)達(dá)36億歐元。

EUV光刻機(jī)是當(dāng)前頂尖芯片制造的關(guān)鍵設(shè)備，主要用于生產(chǎn)7納米及更先進(jìn)制程的芯片。2020年，ASML共銷售31臺(tái)EUV，較前一年增加5臺(tái)，創(chuàng)收45億歐元。

EUV進(jìn)展：交付第一臺(tái)YieldStar385系統(tǒng)

ASML在第四季度向客戶交付了第一臺(tái)YieldStar385系統(tǒng)。YieldStar385具備最新的量測(cè)技術(shù)，提高量測(cè)速度和準(zhǔn)確度，可以滿足3納米制程的要求。與以前的系統(tǒng)相比，主要的增強(qiáng)功能包括更快的工作臺(tái)和更快的波長(zhǎng)切換，這可以實(shí)現(xiàn)高精度的套準(zhǔn)測(cè)量和使用多個(gè)波長(zhǎng)的設(shè)備匹配。

ASML預(yù)計(jì)，下一代EUV光刻機(jī)將在2025年量產(chǎn)。預(yù)計(jì)到2021年，EUV全年銷售額將達(dá)到55億歐元。

DUV突破：預(yù)訂量創(chuàng)歷史新高

ASML向《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》記者透露，2020年DUV（深紫外光）光刻機(jī)預(yù)訂量創(chuàng)歷史新高（73億歐元）。在DUV光刻業(yè)務(wù)領(lǐng)域，首批NXT2050i系統(tǒng)的生產(chǎn)周期長(zhǎng)達(dá)120天，但截至去年年底，最后五套系統(tǒng)的生產(chǎn)中，已將生產(chǎn)周期縮短到60天。

ASML預(yù)計(jì)2021年一季度收入在39億歐元-41億歐元之間，市場(chǎng)預(yù)估35.2億歐元；毛利率在50%至51%之間。