自面世以來，MEMS產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展。

　　自90年代第一個產(chǎn)品開始，傳感器從先測量壓力，到測量加速度（聲學(xué)/機(jī)械量），然后轉(zhuǎn)向旋轉(zhuǎn)傳感（陀螺儀）和可見光管理（DLP），然后再進(jìn)行可見光以外的光傳感（微測輻射熱計，熱電堆），微流體，RF ，超聲，多光譜等。

　　現(xiàn)在，我們正朝著更全面的感知時代邁進(jìn)，其中許多參數(shù)由許多不同的傳感器（例如傳感器集線器）進(jìn)行監(jiān)控。此外，MEMS正朝著更多處理/計算的時代邁進(jìn)，因為它為數(shù)據(jù)帶來了更高的質(zhì)量。

　　如圖1所示，2019年，全球MEMS市場規(guī)模達(dá)115億美元。其中包括以下MEMS設(shè)備，其應(yīng)用廣泛，包括：噴墨頭，壓力，麥克風(fēng)，慣性，IR，Si微流體，光學(xué)，RF，振蕩器，環(huán)境，超聲波，微型揚(yáng)聲器等。

　　由于某些特定市場上受到COVID-19的負(fù)面影響，今年收入預(yù)計將下降5.2％：

　　圖1

　　由于疫情封鎖期間對汽車需求的急劇下降，而且由于經(jīng)濟(jì)不安全，汽車MEMS市場將受到影響。此外，汽車工廠長時間關(guān)閉，加劇了負(fù)面影響。

　　在國防和航空航天領(lǐng)域，由于今年初航空旅行癱瘓，主要用于民航的傳統(tǒng)MEMS傳感器（壓力，慣性）將受到影響，而且新飛機(jī)訂單減少了。國防應(yīng)用中使用的MEMS不會受到太大影響，因為政府計劃仍將繼續(xù)，并且采購預(yù)算不變。

　　在消費(fèi)類應(yīng)用中，影響取決于終端系統(tǒng)。到2020年，由于人們擔(dān)心自己的工作，移動需求似乎仍然很低，經(jīng)濟(jì)不安全感促使許多人推遲升級。但在2020年上半年，PC /筆記本電腦/平板電腦的需求一直強(qiáng)勁，因為用戶已經(jīng)購買新系統(tǒng)，以應(yīng)付逗留在家中的需求，無論是專業(yè)和教育/消遣。

　　來自醫(yī)療，工業(yè)和電信的收入不會受到太大影響。相反，由于其在大流行中的應(yīng)用，醫(yī)療和工業(yè)MEMS有望在2020年實現(xiàn)增長：用于PCR診斷的微流控技術(shù)，用于呼吸機(jī)的壓力和流量計，可幫助處于ICU重癥呼吸道疾病的患者，溫度槍中的熱電堆也發(fā)展迅猛，因為發(fā)熱是COVID-19的主要癥狀之一，這就使得熱像儀中的測微輻射熱計有助于篩查發(fā)熱的人，這就帶來了相關(guān)傳感器的繁榮。

　　從2021年起，MEMS市場將恢復(fù)增長，預(yù)計到2025年市場將達(dá)到近177億美元，2019- 2025年的復(fù)合年增長率為7.4％。相對于市場規(guī)模而言，最大的增長預(yù)計來自消費(fèi)，工業(yè)和醫(yī)療MEMS。Yole在2019日歷中的先前分析預(yù)測到2024年將達(dá)到約180億美元，因此由于COVID-19的放緩，這一預(yù)測被推遲了一年。

　　價格低廉，MEMS何去何從？

　　在過去的幾年中，MEMS市場一直存在價格壓力，特別是在消費(fèi)和汽車應(yīng)用中（圖2）。

　　圖2

　　從歷史上看，各種各樣的設(shè)備ASP侵蝕浪潮已經(jīng)出現(xiàn)，首先是在汽車市場（慣性，壓力），然后是在消費(fèi)電子產(chǎn)品（慣性，壓力，麥克風(fēng)），其次是RF連接（BAW濾波器），并在其他消費(fèi)品中被廣泛采用（用于例如可穿戴設(shè)備中的慣性MEMS和麥克風(fēng)）。我們現(xiàn)在處于價格無法低得太多的價位（$ 0.4- $ 0.5）。

　　實際上，某些MEMS（例如慣性，麥克風(fēng)等）的價格已經(jīng)低至0.1-0.2美元，但仍將需要一些有源傳感區(qū)域（Si），而這些成本將與基線成本一起出現(xiàn)。此外，除了BOM之外，即使利潤非常低，公司仍需要一些利潤。因此，問題是，我們下一步要去哪里？各種方案都是可能的：

　　首先，由于COVID-19的供需調(diào)整，ASP可能會在供應(yīng)分配的推動下暫時略有上升，然后回落到COVID之前的水平，并繼續(xù)緩慢下降。

　　由于工業(yè)，醫(yī)療和消費(fèi)者物聯(lián)網(wǎng)的趨勢，有可能出現(xiàn)新一輪更強(qiáng)的ASP侵蝕浪潮。

　　由于增加了與傳感器結(jié)合的功能，例如更多軟件，數(shù)據(jù)預(yù)處理，邊緣計算，邊緣AI等，ASP將再次增加。

　　Yole認(rèn)為玩家將嘗試通過向傳感器添加功能/處理來獲取更多價值，因此第三種情況或第一種和第三種情況的混合是最可能的。

　　每個MEMS器件的獨(dú)特性將驅(qū)動其未來

　　在整個市場上，AV，EV，ADAS，AR / VR，工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)和互聯(lián)工廠，醫(yī)療保健轉(zhuǎn)型和遠(yuǎn)程醫(yī)療受到了電子產(chǎn)業(yè)大趨勢中的影響。MEMS涵蓋了廣泛的領(lǐng)域，包括與不同的最終市場/應(yīng)用相關(guān)的多種類型的MEMS器件。

　　盡管2018年與頂級消費(fèi)公司提供的忠誠度計劃有關(guān)，但由于數(shù)字化，噴墨打印頭消費(fèi)市場正遭受家用打印機(jī)需求疲軟的困擾。與噴墨打印機(jī)競爭，基于噴墨的單次通過辦公室打印機(jī)的需求仍然很低。

　　未來，由于商業(yè)和工業(yè)市場對大型MEMS打印頭的需求，預(yù)計會有小幅增長。在工業(yè)應(yīng)用中或在墨水可能阻塞噴嘴的情況下，墨水再循環(huán)對于噴墨打印頭制造商變得越來越重要，因為這能提高打印質(zhì)量和打印頭壽命。

　　綠色機(jī)動性趨勢將導(dǎo)致汽車中需要更多的壓力傳感器（MAP，BAP，變速箱油壓，GPF，DPF等），部分被向更多EV（無ICE動力總成）的轉(zhuǎn)移所抵消。盡管TPMS市場在2019年遭受重創(chuàng)，但工業(yè)和醫(yī)療應(yīng)用將會成為未來的成長動力，例如過程控制和HVAC以及血液監(jiān)測設(shè)備和呼吸設(shè)備。可以肯定的是，汽車系統(tǒng)和消費(fèi)品制造商對平均售價的強(qiáng)勁需求使設(shè)備制造商承受著巨大的壓力。

　　語音個人助理（VPA）的流行，例如Apple的Siri，亞馬遜的Alexa和Google Assistant，已將音頻技術(shù)推向采用VPA作為新的人機(jī)界面的新系統(tǒng)。這個界面可以看作是一個小工具，例如用于智能手機(jī)，但是對于廚房/智能家居助手或智能手表則更明顯，因為它們的可訪問性或小巧的尺寸阻止了觸摸界面的出現(xiàn)。或用于汽車，因為在駕駛時雙手需要避免觸摸屏。語音互聯(lián)網(wǎng)的普遍趨勢將推動MEMS麥克風(fēng)市場。

　　慣性傳感器變得越來越智能。性能一直在不斷提高，從而允許以算法的形式在傳感器級別和許多用例（步數(shù)，手勢識別，體育活動識別）上添加功能。它們在保健和健身可穿戴設(shè)備方面也具有很高的潛力，并且正在用于監(jiān)測患者活動的醫(yī)療可穿戴應(yīng)用程序的場景中獲得支持。他們從獨(dú)立傳感器到更多組合（IMU）的趨勢仍在繼續(xù)。

　　光學(xué)MEMS仍在掙扎（例如投影儀和微型投影儀）。但是，用于LIDAR或其他光投影應(yīng)用的MEMS微鏡似乎很有前途，許多公司都押注這項技術(shù)，當(dāng)中包括AEYE，Luminar，Velodyne，Robosense，Benewake，Valeo，Infineon，Innoviz。

　　由于COVID-19，熱感測/成像MEMS（熱電堆和測微輻射熱計）的發(fā)燒檢查應(yīng)用需求激增。如果滿足技術(shù)/成本要求并且對消費(fèi)者進(jìn)行了此項技術(shù)的教育，那么在2020年的這種熱潮可能導(dǎo)致熱成像/傳感（集成在智能手機(jī)中）的消費(fèi)化。華為于2020年6月發(fā)布了智能手機(jī)Honor Play 4 Pro就集成了用于溫度測量的熱傳感器。

　　在微流體（microfluidics）領(lǐng)域，越來越多的有前途的公司正在使用硅芯片進(jìn)行即時檢驗，這將擴(kuò)大該細(xì)分市場的規(guī)模?；诠? CMOS芯片的新型即時醫(yī)療產(chǎn)品正在開發(fā)中，并開始投放市場（InSilixa，DNAe，Mobinostics，Qorvo Biotechnologies，Genalyte，Ontera），并且這種趨勢在未來幾年肯定會繼續(xù)。COVID-19也將促進(jìn)基于微流體的診斷測試市場。

　　5G將越來越多地在智能手機(jī)中采用，它將需要基于RF MEMS的4×4 MIMO濾波器。滲透速度快于預(yù)期可能會導(dǎo)致高頻BAW技術(shù)的加速發(fā)展。預(yù)計該市場將繼續(xù)增長，特別是由于專用于5G的新頻段的到來。多家制造商的電話中越來越多地采用MEMS計時（振蕩器），在部署新的5G基站時也需要它們。

　　包括麥克風(fēng)，溫度，濕度和壓力傳感器在內(nèi)的環(huán)境（開放式）hubs對智能家居設(shè)備/產(chǎn)品越來越感興趣。同樣，除了將氣體傳感器集成到汽車中之外，另一種可能性是例如在城市關(guān)鍵點(diǎn)的各種基礎(chǔ)設(shè)施中使用它們。然后，汽車可以通過V2X連接到這些基礎(chǔ)設(shè)施，從而以這種方式獲取本地空氣質(zhì)量的實時信息。

　　最后，對諸如微型揚(yáng)聲器之類的未來MEMS的需求將不斷增長，它們可以利用其潛力來實現(xiàn)低功耗，更小尺寸以及更高的聲音指向性，并集成到許多消費(fèi)類設(shè)備中。

　　傳統(tǒng)的電動揚(yáng)聲器技術(shù)已經(jīng)超過50年沒有大的改變了，而MEMS可以為小型化提供替代方案。Butterfly Networks公司通過其cMUT為超聲民主化和醫(yī)學(xué)檢測消費(fèi)化開辟了道路。

　　此外，盡管與其他技術(shù)（光學(xué)指紋或3D面部識別以解鎖手機(jī)等）一直存在競爭，但智能手機(jī)中用于超聲指紋傳感器的pMUT似乎很有希望。在數(shù)據(jù)充斥的世界中需要更好的隱私可能意味著，出于冗余的考慮，將有多個身份驗證解決方案是強(qiáng)制性的。

　　下一步和前進(jìn)的方向？

　　MEMS是成熟的技術(shù)，在過去的10年中，MEMS制造領(lǐng)域沒有出現(xiàn)重大突破。主要的技術(shù)趨勢正在轉(zhuǎn)變；以前，他們是要提高產(chǎn)量，降低成本，提高集成度；現(xiàn)在，MEMS設(shè)備正在向更高的精度，超低功耗和嵌入式智能轉(zhuǎn)變。

　　此外，MEMS市場正面臨一些挑戰(zhàn)。一方面，增加新一代MEMS器件的開發(fā)成本需要更多。為此我們需要不斷地擴(kuò)展的市場，以分?jǐn)傔@些成本并最大程度地降低任何相關(guān)風(fēng)險。另一方面，僅關(guān)注傳感器本身（在傳感器/硬件級別）及其固有性能不足以打開新市場。

　　為了從傳感器和其他類型的數(shù)據(jù)（慣性，音頻，環(huán)境等）中獲得更多價值，需要邁向更加復(fù)雜的算法，軟件和計算級別。例如，一個目標(biāo)是使智能手機(jī)和可穿戴設(shè)備變得更智能，以便它們可以預(yù)測用戶需求。因此，可以融合各種輸入，例如GPS和慣性/壓力傳感器（位置），日歷，旅行預(yù)約，運(yùn)動傳感器（活動水平）等。

　　從他們的角度來看，MEMS傳感器制造商正在尋求差異化，同時試圖提升價值鏈并同時保持成本效益。為此，他們可以遵循以下三個路徑之一（圖3）：

　　通過開拓新市場來尋找新的應(yīng)用和用例；

　　通過應(yīng)用于現(xiàn)有用例的改進(jìn)算法和軟件來匯總功能；

　　添加額外的處理并最終進(jìn)行計算，這可能會轉(zhuǎn)化為更多的Si出售給同一客戶。

　　圖3

　　當(dāng)然，這些不是唯一的選擇。有些玩家已經(jīng)在追求價值的過程中遵循不同的策略（圖4）。博世就是一個例子，它使用高通的軟件開發(fā)平臺來針對現(xiàn)有客戶用例改進(jìn)其算法。示例包括具有改進(jìn)的角度檢測算法的汽車應(yīng)用陀螺儀以及具有改進(jìn)的傳感算法的環(huán)境傳感器。

　　圖4

　　像Knowles這樣的音頻玩家會更多地押注傳感器附近的數(shù)據(jù)處理以及邊緣的額外智能。這就是他們在Google Pixel Phone上實現(xiàn)的。Pixel 3合并了3個Knowles的麥克風(fēng)（每個成本0.25美元），但在Pixel 4中，他們成功贏得了應(yīng)用處理器之外的獨(dú)立音頻處理器的design-win（成本為1.5美元），最終設(shè)法提高了價值與這個客戶的比例提高了200％。

　　TDK與高通公司合作，開發(fā)套件（RoboKit）結(jié)合使用融合算法和高通的AI引擎。意法半導(dǎo)體（ST）擁有一種慣性傳感器產(chǎn)品（iNemo，它是MEMS IMU），該產(chǎn)品在MCU中包含嵌入式機(jī)器學(xué)習(xí)核心。

　　最后，有一些在邊緣AI上工作的初創(chuàng)公司不一定制造傳感器，而是與MEMS玩家（英飛凌與Aspinity和Syntiant，意法半導(dǎo)體與Cartesiam）合作以利用傳感器數(shù)據(jù)。邊緣的處理和智能，尤其是針對MEMS麥克風(fēng)和慣性的智能，變得越來越重要。

　　先前的示例指出了一件事情：從軟件到硬件再到系統(tǒng)級，生態(tài)系統(tǒng)中各個參與者的協(xié)作是必不可少的，因為這能促使該行業(yè)向前發(fā)展。最后，整體感知是關(guān)鍵，尤其是現(xiàn)在最終用戶需要更完整的解決方案，而不是獨(dú)立的組件。

　　為了使MEMS廠商擺脫商品化周期和傳感器價值下跌的影響，他們可以通過更改業(yè)務(wù)模型或通過并購來重新定位自己，將價值鏈向上轉(zhuǎn)移至更多數(shù)據(jù)處理并最終進(jìn)行計算，這首先可以在云中完成并最終在邊緣（圖5）。

　　圖5

　　一個非常新鮮的例子支持了這種觀點(diǎn)：mCube（一家慣性MEMS公司）最近收購了Kinduct，這是一家主要為體育運(yùn)動員（但不僅限于此）提供完整分析平臺解決方案的公司，它利用了在云端處理的慣性傳感器數(shù)據(jù)并可以提供對客戶可行的見解。Kinduct擁有豐厚的客戶名單，例如奧運(yùn)會委員會，NFL和NBA的知名人物等等。mCube了解了當(dāng)前的問題，并瞄準(zhǔn)了這一增長接力點(diǎn)。與我們周圍的超靈敏可穿戴設(shè)備和其他智能產(chǎn)品相關(guān)的可行見解變得越來越重要。

　　可以肯定的是，來自MEMS（以及其他傳感器）數(shù)據(jù)的額外智能將推動傳感器和系統(tǒng)級的更多創(chuàng)新，并為MEMS行業(yè)打開新的機(jī)遇。