今年以來，科創(chuàng)板、5G、新基建、功率半導(dǎo)體、第三代半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè)熱點(diǎn)領(lǐng)域一波接一波，讓人應(yīng)接不暇。近日，山東有研硅片項(xiàng)目通線量產(chǎn)以及徐州鑫晶大硅片成功下線的消息，將業(yè)界視線再次拉回到國產(chǎn)硅片領(lǐng)域，該領(lǐng)域亦一度獲得狂熱投資與重點(diǎn)關(guān)注。

　　硅片項(xiàng)目投資降溫 企業(yè)資源并購整合

　　眾所周知，硅片（又稱硅晶圓）作為重要基礎(chǔ)材料，被視為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的“糧食”。然而，目前半導(dǎo)體硅片行業(yè)仍處于高度壟斷狀態(tài)，絕大部分市場(chǎng)份額被歐日韓廠商所占據(jù)，我國半導(dǎo)體硅片嚴(yán)重依賴進(jìn)口，屬于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展中“卡脖子”一環(huán)。

　　近年來，在全球半導(dǎo)體硅片產(chǎn)能緊缺、價(jià)格持續(xù)上漲以及國內(nèi)晶圓制造生產(chǎn)線持續(xù)落地的產(chǎn)業(yè)背景下，半導(dǎo)體硅片國產(chǎn)化需求迫在眉睫，國內(nèi)多地掀起硅片投資建設(shè)熱潮，一個(gè)又一個(gè)硅片項(xiàng)目接踵而至，一時(shí)間熱鬧無比。此前有券商研報(bào)顯示，截至2019年第三季度，國內(nèi)大硅片項(xiàng)目總投資額達(dá)到1349億元，目標(biāo)產(chǎn)能合計(jì)642萬片/月，不少業(yè)者擔(dān)心產(chǎn)能過剩。

　　今年以來，國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展依然備受關(guān)注，但我們不難發(fā)現(xiàn)，國產(chǎn)硅片產(chǎn)業(yè)遠(yuǎn)不如前些年那般熱鬧了，如仍在不斷涌現(xiàn)的巨額投資的半導(dǎo)體項(xiàng)目中，已較少看見硅片項(xiàng)目的身影，不復(fù)此前硅片狂熱建廠盛況，硅片項(xiàng)目投資進(jìn)入冷靜期；此外，在話題熱度方面，國產(chǎn)硅片在今年亦不如第三代半導(dǎo)體、功率半導(dǎo)體、射頻器件等話題受歡迎。

　　不過，巨額項(xiàng)目投資雖有所降溫，但是在資本市場(chǎng)上硅片企業(yè)仍可見其活躍身影。如今年硅片企業(yè)滬硅產(chǎn)業(yè)、立昂微均成功上市，且一度股價(jià)暴漲；上海超硅獲上海集成電路產(chǎn)業(yè)基金投資等；值得注意的是，近兩年來硅片企業(yè)亦在進(jìn)行一些資源收購整合。

　　首先要說一下滬硅產(chǎn)業(yè)。去年，滬硅產(chǎn)業(yè)從上海新陽手中收購上海新昇26.06%股權(quán)；今年5月，滬硅產(chǎn)業(yè)再次收購上海新陽所持有的上海新昇剩余股權(quán)，上海新昇現(xiàn)已成為滬硅產(chǎn)業(yè)的全資子公司，而在這之前，硅產(chǎn)業(yè)相繼收購了 Okmetic和上海新傲。

　　再如前不久，TCL科技完成收購中環(huán)股份控股股東中環(huán)集團(tuán)100%股權(quán)，并通過中環(huán)集團(tuán)間接持有中環(huán)股份25.30%股權(quán)，TCL科技成為中環(huán)股份間接控股股東。至此，TCL科技正式切入硅片產(chǎn)業(yè)，這讓業(yè)界對(duì)后續(xù)中環(huán)股份硅片業(yè)務(wù)的發(fā)展變化有所期待。

　　9月15日，日本Ferrotec控股公司宣布，批準(zhǔn)了向中國境內(nèi)有意向的投資者轉(zhuǎn)讓杭州中欣晶圓共計(jì)60%的股權(quán)，交易完成后，F(xiàn)errotec控股公司仍然是杭州中欣晶圓相對(duì)間接控制方。根據(jù)企查查資料，中欣晶圓目前已新增了多家中資股東。

　　可見，在熱鬧過后，國內(nèi)硅片企業(yè)開始進(jìn)入冷思考時(shí)期，這些收購事件整合了國內(nèi)小而散的企業(yè)資源，有利于形成龍頭企業(yè)從而帶動(dòng)整個(gè)產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，亦在進(jìn)一步吸收外國的技術(shù)和資源，有望助力提升國產(chǎn)硅片產(chǎn)業(yè)整體水平。

　　多個(gè)項(xiàng)目傳捷報(bào) 國產(chǎn)化率有望提升

　　已經(jīng)歷“瘋狂”時(shí)期的國產(chǎn)硅片產(chǎn)業(yè)，如今雖少了一點(diǎn)熱鬧與喧嘩，卻亦顯得多了一些理性與務(wù)實(shí)，與前些年頻頻傳出巨額項(xiàng)目不同，今年不時(shí)傳來的是在建項(xiàng)目量產(chǎn)準(zhǔn)備或下線投產(chǎn)等消息，如文首提及的山東有研、徐州鑫晶等。

　　山東有研

　　10月16日，山東有研半導(dǎo)體材料有限公司舉行集成電路用大尺寸硅材料規(guī)模化生產(chǎn)項(xiàng)目通線量產(chǎn)儀式，宣布項(xiàng)目正式通線量產(chǎn)。該項(xiàng)目于2019年3月動(dòng)工，歷時(shí)近18個(gè)月，完成近10萬平方米廠房的建設(shè)、1.5萬平米潔凈廠房的安裝，并在3個(gè)月內(nèi)實(shí)現(xiàn)新購工藝設(shè)備的安裝、北京生產(chǎn)線的搬遷及工藝調(diào)試。

　　山東有研集成電路用大尺寸硅材料規(guī)模化生產(chǎn)項(xiàng)目于2018年簽約落地山東德州，一期項(xiàng)目總投資18億元，建設(shè)包括年產(chǎn)276萬片8英寸硅片、180萬片6英寸硅片、300噸12-18英寸大直徑硅單晶生產(chǎn)線。據(jù)悉，二期12英寸集成電路用大硅片項(xiàng)目也在積極籌備，計(jì)劃明年開工建設(shè)。

　　徐州鑫晶

　　徐州日?qǐng)?bào)報(bào)道顯示，10月16日，徐州鑫晶半導(dǎo)體科技有限公司半導(dǎo)體大硅片項(xiàng)目一期工程實(shí)現(xiàn)通線量產(chǎn)。據(jù)了解，鑫晶半導(dǎo)體聚焦在28nm、14nm以及更先進(jìn)的10nm芯片制造所需的硅片工藝研發(fā)和制造，已實(shí)現(xiàn)12英寸半導(dǎo)體大硅片生產(chǎn)線貫通，并產(chǎn)出首批半導(dǎo)體硅片。

　　報(bào)道稱，目前鑫晶半導(dǎo)體一階段10萬片/月的產(chǎn)能全線貫通，徐州基地已經(jīng)建成廠房能夠容納60萬片/月的產(chǎn)能，按照公司規(guī)劃，一階段產(chǎn)品驗(yàn)證全部通過后，2021年上半年開始繼續(xù)擴(kuò)大產(chǎn)能，預(yù)計(jì)在2023年徐州基地60萬片/月產(chǎn)能可全部投產(chǎn)。該公司的長(zhǎng)期規(guī)劃是在2025年前后通過自建或者收購等方式達(dá)到150萬片/月產(chǎn)能。

　　上海新昇

　　9月28日，由上海新昇承擔(dān)的“40-28nm集成電路制造用300mm硅片技術(shù)研發(fā)”項(xiàng)目順利通過驗(yàn)收。通過承擔(dān)此項(xiàng)02重大專項(xiàng)，上海新昇成功開發(fā)了300mm拋光片和外延片成套制備技術(shù)，完成了項(xiàng)目既定的15萬片/年的產(chǎn)能建設(shè)目標(biāo)。據(jù)滬硅產(chǎn)業(yè)公告披露，上海新昇300mm硅片產(chǎn)能計(jì)劃2020年底達(dá)到20萬片/月，明年可達(dá)到30萬片/月。

　　滬硅產(chǎn)業(yè)半年報(bào)顯示，300mm硅片已獲得客戶認(rèn)證的產(chǎn)品規(guī)格累計(jì)超過50種；已實(shí)現(xiàn)28nm以上所有節(jié)點(diǎn)的產(chǎn)品認(rèn)證以及64層3D NAND產(chǎn)品驗(yàn)證；目前正在認(rèn)證或研發(fā)過程中的產(chǎn)品規(guī)格超過30種，包括應(yīng)用于14nm邏輯芯片、19nmDRAM芯片及128層3D NAND產(chǎn)品等。

　　中環(huán)股份

　　10月10日，中環(huán)股份在投資者關(guān)系互動(dòng)平臺(tái)上披露，公司總產(chǎn)能規(guī)劃8英寸105萬片/月、12英寸62萬片/月，目前已建成產(chǎn)能8英寸50萬片/月、12英寸7萬片/月，項(xiàng)目持續(xù)推進(jìn)。

　　中環(huán)股份在天津、無錫宜興擁有半導(dǎo)體硅片項(xiàng)目。據(jù)中環(huán)股份披露的信息，天津工廠的8英寸產(chǎn)線30萬片/月已達(dá)產(chǎn)，12英寸產(chǎn)線已于2019年一季度投產(chǎn)，截至二季度末產(chǎn)能2萬片/月；無錫宜興工廠的8英寸產(chǎn)線已于2019年9月投產(chǎn)，12英寸產(chǎn)線于今年8月底完成通線，年內(nèi)可實(shí)現(xiàn)產(chǎn)能5-10萬片/月，2021年實(shí)現(xiàn)產(chǎn)能15萬片/月。

　　西安奕斯偉

　　西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司所投資建設(shè)的西安奕斯偉硅產(chǎn)業(yè)基地項(xiàng)目，項(xiàng)目一期總投資110億元，第一階段產(chǎn)能達(dá)5萬片/月生產(chǎn)規(guī)模，項(xiàng)目最終計(jì)劃建成月產(chǎn)能100萬片、年產(chǎn)值超百億元的12英寸電子級(jí)硅材料企業(yè)。

　　今年8月17日，西安奕斯偉硅產(chǎn)業(yè)基地項(xiàng)目實(shí)現(xiàn)首臺(tái)工藝設(shè)備搬入。據(jù)近期報(bào)道，該項(xiàng)目目前開始進(jìn)行測(cè)試片批量試生產(chǎn)，中芯國際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、廈門聯(lián)電等客戶正在持續(xù)認(rèn)證中。

　　隨著多個(gè)硅片項(xiàng)目相繼喜傳捷報(bào)，8英寸、12英寸硅片的國產(chǎn)化率有望持續(xù)提高。

　　材料設(shè)備等亟待解決 產(chǎn)業(yè)發(fā)展仍面臨挑戰(zhàn)

　　項(xiàng)目陸續(xù)投產(chǎn)，那么國產(chǎn)硅片供應(yīng)現(xiàn)狀如何？我們可看到，上文提到的主要硅片項(xiàng)目基本都是8英寸以及12英寸項(xiàng)目，事實(shí)上，國產(chǎn)硅片在6英寸及以下領(lǐng)域的研發(fā)生產(chǎn)上較為成熟，已擁有一定國產(chǎn)化率。

　　據(jù)華潤微去年披露的招股書，2016年、2017年、2018年、2019年1-6月，其前五大原材料（硅片）供應(yīng)商中基本以國產(chǎn)硅片廠商為主，其中浙江金瑞泓、南京國盛電子一直為位列前兩名（詳見下圖）。據(jù)了解，華潤微的晶圓制造產(chǎn)能以6英寸為主，其6英寸生產(chǎn)線產(chǎn)能在國內(nèi)居于前列，而其供應(yīng)商陣容側(cè)面反映出我國6英寸硅片早已進(jìn)入國內(nèi)晶圓制造生產(chǎn)線。

　　圖片來源：截圖于華潤微招股書

　　然而，目前8英寸、12英寸硅片已逐漸成為市場(chǎng)主流，相較于6英寸及以下硅片，8英寸、12英寸硅片的國產(chǎn)化率仍較低，尤其是12英寸硅片，這導(dǎo)致了我國硅片整體國產(chǎn)化率較低。盡管目前部分項(xiàng)目已取得階段性成果，但是國產(chǎn)硅片產(chǎn)業(yè)發(fā)展仍面臨較大挑戰(zhàn)。

　　首先，在上游原材料方面，我國應(yīng)用于8英寸以上硅片和高品質(zhì)的電子級(jí)多晶硅仍主要依靠進(jìn)口，這部分市場(chǎng)主要被日本、歐美廠商所占據(jù)。今年9月，滬硅產(chǎn)業(yè)在調(diào)研活動(dòng)上回應(yīng)關(guān)于上游原材料供應(yīng)相關(guān)問題時(shí)表示，公司上游原材料主要是多晶硅材料，目前主要來自美國、日本、韓國和德國。

　　有獨(dú)無偶，硅片生產(chǎn)線所需設(shè)備方面亦主要來自于海外供應(yīng)商。目前，雖然國產(chǎn)設(shè)備廠商在單晶爐、研磨機(jī)、拋光機(jī)等方面均已有研發(fā)和生產(chǎn)，但是質(zhì)量、精度等整體水平與進(jìn)口設(shè)備存在差距。滬硅產(chǎn)業(yè)在調(diào)研中亦指出，公司拉晶爐目前主要采購自海外，少部分來自國內(nèi)。

　　滬硅產(chǎn)業(yè)坦言，本土的設(shè)備和原材料供應(yīng)商因?yàn)槠鸩捷^晚，確實(shí)與國外主流供應(yīng)商還存在一定差距，且主要設(shè)備和原材料供應(yīng)商的更換同時(shí)還涉及客戶認(rèn)證與溝通，目前公司也在積極推進(jìn)部分本土設(shè)備和原材料的認(rèn)證。

　　再者，硅片生產(chǎn)本身具有較高的技術(shù)門檻，生產(chǎn)工藝繁多復(fù)雜，如拉晶、切割、研磨、拋光等，且每一個(gè)程序均有著嚴(yán)謹(jǐn)?shù)囊?，背后涉及眾多精密控制和檢測(cè)保障，而中國硅片產(chǎn)業(yè)起步較晚，缺乏長(zhǎng)期技術(shù)積累、關(guān)鍵技術(shù)人才稀缺，這對(duì)于硅片企業(yè)而言亦存在挑戰(zhàn)。

　　此外，晶圓制造廠商對(duì)其硅片供應(yīng)商有著嚴(yán)格的認(rèn)證機(jī)制，國產(chǎn)硅片能否進(jìn)入產(chǎn)線驗(yàn)證以及驗(yàn)證能否通過仍是問題。一位晶圓制造產(chǎn)業(yè)相關(guān)人士向筆者表示，雖然現(xiàn)在國內(nèi)已有12英寸硅片量產(chǎn)，但是不少晶圓制造廠商尚不敢輕易用于產(chǎn)線量產(chǎn)，有的廠商會(huì)用作空跑片。

　　“廠商不敢輕易用在產(chǎn)線上，萬一有問題可能就是幾千萬美金的損失?！绷硪晃粯I(yè)內(nèi)人士說道，國內(nèi)晶圓制造廠商愿意扶持上游國產(chǎn)材料發(fā)展，但這種損失風(fēng)險(xiǎn)不是誰都承受得起的。

　　該人士表示，現(xiàn)在各方正在尋求解決方法，如前不久太極實(shí)業(yè)所披露的上海集成電路裝備材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心有限公司擬建設(shè)12英寸集成電路研發(fā)制造用廠房及配套設(shè)施項(xiàng)目，應(yīng)該主要為了提供關(guān)鍵國產(chǎn)裝備材料產(chǎn)線級(jí)驗(yàn)證服務(wù)。

　　還需要提的一點(diǎn)是，由于技術(shù)門檻高、研發(fā)投入大、工藝經(jīng)驗(yàn)積累及客戶驗(yàn)證時(shí)間長(zhǎng)、折舊費(fèi)用高昂等因素，硅片企業(yè)面臨著較長(zhǎng)的投資回報(bào)期，這亦是個(gè)較大的挑戰(zhàn)。如國產(chǎn)大硅片排頭兵上海新昇，早于2018年實(shí)現(xiàn)了12英寸硅片量產(chǎn)，2019年已實(shí)現(xiàn)15萬片/月產(chǎn)能，但是根據(jù)滬硅產(chǎn)業(yè)8月發(fā)布的半年報(bào)，上海新昇仍處于虧損狀態(tài)。

　　挑戰(zhàn)亦往往與機(jī)遇并存，國內(nèi)晶圓制造生產(chǎn)線亦在持續(xù)建設(shè)、擴(kuò)產(chǎn)等，對(duì)國產(chǎn)硅片的需求不斷提升，國產(chǎn)替代空間巨大。正如上文有言，隨著各項(xiàng)目持續(xù)推進(jìn)以及建成投產(chǎn)，國產(chǎn)硅片8英寸和12英寸產(chǎn)能正在逐步釋放，相信在政府支持以及市場(chǎng)需求帶動(dòng)下，硅片國產(chǎn)化進(jìn)程將進(jìn)一步加快。

　　但是，國產(chǎn)硅片產(chǎn)業(yè)的崛起，必將是一個(gè)非常漫長(zhǎng)且需要大量資金投入的過程。