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ASML光刻機能否賣給中,可以但EUV受限

2020-10-15
來源:OFweek電子工程網
關鍵詞: ASML 光刻機 EUV 三星

當季賣出60臺光刻機,凈賺87億元

10月14日,光刻機霸主——荷蘭阿斯麥(ASML)公司發(fā)布了最新財務報告,數據統(tǒng)計顯示,第三季度ASML當季實現營收40億歐元,凈利潤高達11億歐元(約合87億元人民幣)。

2020年前三季度,ASML總共實現凈銷售額97.24億歐元,較去年同期77.83億歐元提高近25%;凈利潤22.03億歐元同樣大幅提升51%。ASML預估四季度的收入在36到38億歐元,毛利率50%左右,2020全年的營收應該至少能達到133億歐元。

據悉,第三季出售的60臺光刻機為公司提供了近31億歐元的營收,其中有14臺是EUV光刻機,數量占比約23%,但卻提供了66%的營收,從而也足以見得EUV光刻機的重要程度。

這60臺光刻機都賣給了誰?臺積電拿下了將近一半數量,剩下的則賣給了三星、英特爾這些企業(yè)。從地區(qū)上來看,中國臺灣貢獻了光刻機收入的47%,韓國貢獻了26%,中國大陸企業(yè)貢獻了21%。

光刻機到底能不能賣給中國?回應:可以但有限制

如此看來,中國是ASML光刻機最大的市場,ASML甚至在財報中立下目標,將中國市場2020年的銷售收入小幅提升到10億歐元以上(約79億元人民幣)。

但此前受中芯國際EUV光刻機遲遲難以交付消息的影響,一直有傳言稱ASML光刻機出口中國必須獲得相應許可證,由此給國產芯片制造產業(yè)帶來了莫大難處。

光刻機到底能不能賣給中國?在這次ASML的財報會議的視頻采訪中,ASML CFO Roger Dassen提到了與中芯國際等中國客戶的業(yè)務情況,他表示一些情況下出口光刻機是不需要許可證的。

Roger Dassen指出,按照該司對美國新規(guī)的整體理解,如果阿斯麥從荷蘭向中國買家供應DUV光刻系統(tǒng),無需出口許可證。但是直接出口涉及到美國方面的零部件及設備,阿斯麥則必須提交出口申請,待獲批后才能進行正常買賣。

換句話說,一般的光刻機包括DUV光刻機在內的都可以賣,但EUV光刻機必須要獲得許可證。

DUV光刻機和EUV光刻機有什么區(qū)別?簡單來說,DUV是深紫外線(Deep Ultraviolet Lithography),EUV是極深紫外線(Extreme Ultraviolet Lithography)。兩種不同的光源讓光刻機獲得了不同的曝光能力,從而獲得不一樣的工藝制程范圍。

DUV光刻機最多只能做到25nm,英特爾曾憑借雙工作臺的模式做到了10nm,但是卻無法達到10nm以下,后來胡正明教授(梁孟松的老師)發(fā)明了FinFET工藝之后,極盡所能的壓榨了這臺機器的潛能,讓它走到了7nm制程。

但是即使采用了FinFET工藝,芯片再想往5nm、3nm先進工藝繼續(xù)延伸,那就不得不使用EUV光刻機了。因此,DUV光刻機和EUV光刻機的價格差別也很大,DUV光刻機的價格為2000萬-5000萬美金/臺,而EUV的價格是1-3億美金/臺。

那么,ASML此番表態(tài)也等于是表明了自己的態(tài)度,一般的光刻機可以賣給你,但是好又貴的EUV光刻機,想賣給中國卻是有心無力。

國產光刻機走到哪一步?

世界上做光刻機的除了ASML以外還有尼康和佳能,但是為什么各大企業(yè)都想購買ASML的光刻機?很簡單,在繁雜的光刻機制造過程中,ASML扮演的是集大成者,將全球范圍內近8000個核心零部件整合最終造出一臺光刻機,其設備上不僅擁有最頂級的光源技術(激光系統(tǒng)),在其他精密儀器方面也達到了世界頂端。

雖然最近十幾年我國一直在致力于研究光刻機,但是取得的成果并不是很明顯,目前我國光刻機最高技術也就上海微電子所生產的90nm光刻機。

90nm跟28nm或者是7nm從數字上來看差距不大,但光刻機每上一個臺階技術難度就會大大增加,從90nm跨越到65nm并不難,再從65nm升級到45nm難度加大,至于28nm、14nm、7nm、5nm,甚至未來有可能出現的3nm、2nm,難度進一步加大。也正因為如此,我國的光刻機的研發(fā)進度一直都比較緩慢。

對我國來說,要想制造高端芯片,在當前肯定是離不開海外巨頭的支持。但是未來必須將核心技術掌握在自己手里,不過時間到底要多久還很難說。


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