《電子技術(shù)應(yīng)用》
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中國長城官方已證實(shí),國內(nèi)首臺(tái)激光隱形晶圓切割機(jī)已研制成功

2020-06-04
來源:與非網(wǎng)

與非網(wǎng) 6 月 4 日訊,中國長城科技集團(tuán)股份有限公司(以下簡稱“中國長城”)在投資者互動(dòng)平臺(tái)上表示,公司研制成功國內(nèi)首臺(tái)半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機(jī)消息屬實(shí)。

 

新聞主體:中國長城科技集團(tuán)股份有限公司(股票代碼:000066)是由中國電子信息產(chǎn)業(yè)集團(tuán)有限公司所屬中國長城計(jì)算機(jī)深圳股份有限公司、長城信息產(chǎn)業(yè)股份有限公司、武漢中原電子集團(tuán)有限公司、北京圣非凡電子系統(tǒng)技術(shù)開發(fā)有限公司四家骨干企業(yè)于 2017 年 1 月整合組成,同年 3 月完成注冊(cè),注冊(cè)資本 29.28 億元,總資產(chǎn) 216.71 億元,凈資產(chǎn) 82.96 億元,在職員工 1.4 萬人。

 

最近幾年,中國長城通過實(shí)施創(chuàng)新引領(lǐng)、技術(shù)強(qiáng)企戰(zhàn)略,走出從基礎(chǔ)軟件到整機(jī)、業(yè)務(wù)系統(tǒng)的全鏈條創(chuàng)新研發(fā)之路。利用中國架構(gòu) PKS 體系最新成果制造的長城電腦具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),是我國自主安全電腦的代名詞。

 

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圖源:中國長城科技集團(tuán)官網(wǎng)  下同

 

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據(jù)悉,今年 5 月,中國長城官方消息顯示,旗下鄭州軌交院與河南通用成功研制出我國首臺(tái)半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機(jī),填補(bǔ)國內(nèi)空白,在關(guān)鍵性能參數(shù)上處于國際領(lǐng)先水平。

 

我國半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割技術(shù)取得實(shí)質(zhì)性重大突破,相關(guān)裝備依賴進(jìn)口的局面即將打破。該裝備通過采用特殊材料、特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、特殊運(yùn)動(dòng)平臺(tái),可以實(shí)現(xiàn)加工平臺(tái)在高速運(yùn)動(dòng)時(shí)保持高穩(wěn)定性、高精度,運(yùn)動(dòng)速度可達(dá) 500mm/S,效率遠(yuǎn)高于國外設(shè)備。

 

在光學(xué)方面,根據(jù)單晶硅的光譜特性,結(jié)合工業(yè)激光的應(yīng)用水平,采用了合適的波長、總功率、脈寬和重頻的激光器,最終實(shí)現(xiàn)了隱形切割。

 

在影像方面,采用不同像素尺寸、不同感光芯片的相機(jī),配以不同功效的鏡頭,實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品輪廓識(shí)別及低倍、中倍和高倍的水平調(diào)整。

 

該裝備還搭載了同軸影像系統(tǒng),可以確保切割中效果的實(shí)時(shí)確認(rèn)和優(yōu)化,實(shí)現(xiàn)最佳切割效果。高端智能裝備是國之重器,是制造業(yè)的基石,尤其是半導(dǎo)體領(lǐng)域內(nèi)高端智能裝備,在國民經(jīng)濟(jì)發(fā)展中更是具有舉足輕重的作用。

 

專家評(píng)價(jià)首臺(tái)半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機(jī)研制成功,對(duì)進(jìn)一步提高我國智能裝備制造能力具有里程碑式的意義。在中國長城股東大會(huì)上,董秘王習(xí)發(fā)對(duì)半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機(jī)進(jìn)展及量產(chǎn)可能做出回應(yīng),今年可以期待有小批量。


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