等離子清洗設(shè)備的最大特點(diǎn)是不分處理對(duì)象的基材類(lèi)型,均可進(jìn)行處理,對(duì)玻璃、金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料,如聚丙烯、聚酯、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理,并可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。 等離子體的”活性”組分包括:離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。
一、表面清洗
材料表面常常會(huì)有油脂、油污等有機(jī)物及氧化層,在粘合、焊接前,需要用等離子處理來(lái)得到完全潔凈和無(wú)氧化層的表面。適用于金屬、玻璃、陶瓷等多種材料。
二、表面活化
塑料、玻璃、陶瓷與聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚四氟(PTFE)等一樣是沒(méi)有極性的,因此這些材料在印刷、粘合、涂覆前要進(jìn)行處理。在惰性材料表面生成活性基團(tuán),增強(qiáng)表面極性,提高表面能。等離子處理與灼燒處理相比,不會(huì)損害樣品,同時(shí)還可以十分均勻地處理整個(gè)表面,不會(huì)產(chǎn)生有毒煙氣,盲孔和帶縫隙的樣品也可以處理。
三、表面刻蝕
在等離子刻蝕過(guò)程中,通過(guò)處理氣體的作用,被刻蝕物會(huì)變成氣化物(例如在使用氟氣對(duì)硅刻蝕時(shí))。處理氣體和基體氣化物質(zhì)被真空泵抽出,表面連續(xù)被新鮮的處理氣體覆蓋。無(wú)需刻蝕部分應(yīng)使用相應(yīng)材料覆蓋起來(lái)(例如半導(dǎo)體行業(yè)用鉻做覆蓋材料
四、表面接枝與聚合
在等離子體表面活化產(chǎn)生的基團(tuán)或等離子體引發(fā)聚合層不能與材料表面牢固結(jié)合時(shí),采用等離子體接枝的方法來(lái)改善。等離子體接枝的原理為:首先利用表面活化在材料表面產(chǎn)生新的活性基團(tuán),利用此基團(tuán)與后續(xù)的活性物質(zhì)產(chǎn)生化學(xué)共價(jià)鍵結(jié)合,后續(xù)的活性物質(zhì)中帶有能夠滿(mǎn)足應(yīng)用的特定基團(tuán),以達(dá)到既能滿(mǎn)足表面特性又能牢固結(jié)合的目的。
使用等離子清洗,可以使得清洗效率獲得極大地提高。整個(gè)清洗工藝流程幾分鐘內(nèi)即可完成,因此具有產(chǎn)率高的特點(diǎn)。使用等離子清洗,避免了對(duì)清洗液的運(yùn)輸、存儲(chǔ)、排放等處理措施,很容易保持清潔衛(wèi)生。