光刻機(jī)是半導(dǎo)體生產(chǎn)制造流程的核心設(shè)備，由于技術(shù)復(fù)雜、技術(shù)壟斷，導(dǎo)致價(jià)格昂貴。

    最近，光刻機(jī)全球領(lǐng)導(dǎo)廠商荷蘭ASML發(fā)布最新報(bào)告，ASML宣布，今年一季度，他們共獲得了73 臺光刻機(jī)訂單，其中 11 臺是極紫外EUV光刻機(jī)。這 73 臺光刻機(jī)訂單中，有 72 臺將是新生產(chǎn)的光刻機(jī)，另外 1 臺則是翻新的光刻機(jī)。據(jù)介紹，這73 臺光刻機(jī)訂單金額高達(dá) 30.85 億歐元，其中11臺EUV光刻機(jī)的訂單金額為15億歐元。

    根據(jù)ASML此前的財(cái)報(bào)數(shù)據(jù)，2019年Q1,ASML獲得的光刻機(jī)訂單是 34 臺，金額 13.99 億歐元。相比去年一季度，無論是訂單數(shù)量還是訂單金額，ASML在今年一季度都實(shí)現(xiàn)了暴增。

    從高端的極紫外EUV光刻機(jī)訂單量來看，ASML去年的財(cái)報(bào)顯示，2019年ASML全年共計(jì)出貨26臺EUV光刻機(jī)，而今年僅一季度就獲得了11臺EUV光刻機(jī)訂單，可以預(yù)計(jì)，今年在EUV光刻機(jī)的出貨量上，也要遠(yuǎn)超去年。

    根據(jù)最新的訂單金額，21ic小編粗算了一下，最高端的EUV光刻機(jī)每臺大約10億元人民幣，即便是中低端的光刻機(jī)產(chǎn)品，每臺也要約2億元人民幣。

    這么昂貴的設(shè)備，ASML的光刻機(jī)都賣給了誰呢?

    光刻機(jī)是半導(dǎo)體生產(chǎn)的必備設(shè)備，全球的晶圓廠、代工廠原則上都是ASML的潛在客戶，尤其是在EUV光刻機(jī)產(chǎn)品上，ASML是獨(dú)家供貨商。根據(jù)去年的數(shù)據(jù)，其售出的26臺極紫外線(EUV)光刻機(jī)中的一半左右賣給了臺積電公司。

    中國的晶圓代工企業(yè)中芯國際也向ASML預(yù)定了極紫外EUV光刻機(jī)，但遺憾的是，由于種種原因，目前仍未能到貨。

    不過，雖然沒有EUV光刻機(jī)，但據(jù)中芯國際梁孟松介紹，中芯國際已研發(fā)了N+1、N+2工藝，N+1與現(xiàn)在的14nm工藝相比，性能有20%的提升，功耗將會降低50%，并且SoC面積對比減小55%。如果從性能上來看，該工藝與7nm稍有差距，但是功耗要低得很多?？梢钥闯?，基本上，中芯國際N+1、N+2工藝已十分接近7nm工藝，該技術(shù)將于2020年底開始試驗(yàn)產(chǎn)能。