《電子技術(shù)應(yīng)用》
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三星、SK海力士嘗試采用國產(chǎn)半導(dǎo)體材料

2019-09-04

  據(jù)韓國《中央日報》4日報道,在日本政府限制向韓國出口氟化氫、光刻膠、含氟聚酰亞胺等尖端半導(dǎo)體材料一個半月后,三星電子開始使用替代產(chǎn)品。

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  報道稱,三星電子和SK海力士尋找日產(chǎn)氟化氫替代材料的工作比預(yù)期進(jìn)展順利,預(yù)計到年底前后,可以完全替代日本產(chǎn)品。

  韓國半導(dǎo)體業(yè)界消息稱,三星電子已經(jīng)從8月中旬開始把韓國國內(nèi)企業(yè)“Soulbrain”和“ENF TECH”生產(chǎn)的氟化氫用于部分工程。

  不過,三星電子目前尚未把國產(chǎn)氟化氫用于所有半導(dǎo)體生產(chǎn)工程。三星電子相關(guān)人士說,“將首先把國內(nèi)企業(yè)生產(chǎn)的氟化氫試驗品投入到敏感度較低的工程,未來再陸續(xù)投入到高敏感度的工程”。

  據(jù)了解,半導(dǎo)體工程大約由500項工程構(gòu)成,其中需要氟化氫的工程有50項左右。也就是說,三星電子先把國產(chǎn)氟化氫應(yīng)用到其中的1-2項工程中,用來取代日本產(chǎn)品。

  SK海力士也計劃盡快對國內(nèi)企業(yè)生產(chǎn)的氟化氫進(jìn)行試用。據(jù)了解,SK海力士設(shè)在中國無錫的半導(dǎo)體工廠已經(jīng)完全使用中國生產(chǎn)的氟化氫取代了日本產(chǎn)品。

  同時,三星電子和SK海力士負(fù)責(zé)材料開發(fā)的工程師正在對國產(chǎn)氟化氫試驗品進(jìn)行成分分析,旨在根據(jù)半導(dǎo)體工廠的要求,對國內(nèi)企業(yè)生產(chǎn)的氟化氫成分含量進(jìn)行調(diào)整。

  報道稱,這相當(dāng)于三星電子和海力士與國內(nèi)材料企業(yè)一起進(jìn)行“共同研發(fā)”。只有產(chǎn)品成分結(jié)構(gòu)與以往使用的日本Stella和Morita公司產(chǎn)品接近,沒有大的差異,在用于半導(dǎo)體工程時才不會生產(chǎn)出缺陷產(chǎn)品。

  此外,韓國國內(nèi)材料企業(yè)“Soulbrain”忠南公州工廠的擴(kuò)建工程如果按計劃在本月末竣工,韓國國產(chǎn)氟化氫的產(chǎn)能有望進(jìn)一步擴(kuò)大。

  “Soulbrain”和“ENF TECH”以前一直從日本Stella和Morita進(jìn)口氟化氫進(jìn)行提純,然后制作成半導(dǎo)體工程使用的蝕刻劑材料,向三星供貨。在日本限制對韓出口后,這些國內(nèi)企業(yè)開始從中國臺灣和中國大陸進(jìn)口氟化氫。


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