目前蘋果A12/A12X、華為麒麟980、AMD Radeon VII等7nm芯片均由臺(tái)積電代工，不過，目前臺(tái)積電量產(chǎn)的7nm制程仍是基于DUV（深紫外）工藝。相比之下，雖然三星的7nm目前仍未量產(chǎn)，但是三星則是直接采用了更為先進(jìn)的EUV（極紫外）工藝，有望領(lǐng)先臺(tái)積電的7nm EUV制程。消息稱，三星去年就小規(guī)模投產(chǎn)了7nm EUV。

所以，臺(tái)積電要想保持優(yōu)勢(shì)，就必須要加快7nm EUV的進(jìn)程。而7nm EUV工藝的關(guān)鍵在于EUV光刻機(jī)，今年ASML（荷蘭阿斯麥）也計(jì)劃提高EUV光刻機(jī)的產(chǎn)能，以及將年出貨量由之前的18臺(tái)提升到今年的30臺(tái)。

而來自產(chǎn)業(yè)鏈的最新消息稱，臺(tái)積電將包攬ASML今年的30臺(tái)EUV光刻機(jī)中的18臺(tái)，加上之前采購的幾臺(tái)，臺(tái)積電有望在今年3月份啟動(dòng)7nm EUV的量產(chǎn)，推動(dòng)7nm在其2019年晶圓銷售中的占比從去年的9%提升到25%。

目前，ASML現(xiàn)款EUV光刻機(jī)Twinscan NXE: 3400B（今年會(huì)有新型號(hào)3400C）報(bào)價(jià)約1.2億美元（約合8億人民幣），也就是說臺(tái)積電訂購的這18臺(tái)EUV光刻機(jī)總價(jià)接近150億元。

此外，臺(tái)積電還計(jì)劃在今年第二季度啟動(dòng)5nm工藝的風(fēng)險(xiǎn)試產(chǎn)，值得注意的是，5nm必須采用EUV工藝才能夠?qū)崿F(xiàn)。

此前臺(tái)積電聯(lián)合CEO魏哲家在投資者會(huì)議上也曾，2019年上半年晚些時(shí)候?qū)?huì)流片5nm，量產(chǎn)時(shí)間將會(huì)再2020年上半年。