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伊利諾伊大學采用泰克儀器裝備納米制造實驗室

2017-10-23

全球領先的測量解決方案提供商——泰克科技公司日前宣布,伊利諾伊大學香檳分校電氣和計算機工程系購買了三臺吉時利4200A-SCS參數分析儀及三個4200A-CVIV多功能開關模塊,用于首個本科生納米加工實驗室,旨在為學生提供與微納電子動手實踐經驗。4200A-SCS是一種全面集成的模塊化參數分析儀,用來對材料、半導體器件和工藝進行電氣特性測試。4200A-CVIV提供了一種錯誤檢驗方法,在DC和AC測量之間實現(xiàn)切換,并把AC測量傳送到測試設備的任意端子。

伊利諾伊大學正在建立納米制造實驗室——阿提斯ECE大樓,建筑面積23萬平方英尺,有20多間實驗室,為學生提供電子和計算操作培訓。該大學之所以在納米制造鑄造實驗室中選擇4200A-SCS,是因為其希望購買的設備能夠立即投入使用,而使學生和新用戶的培訓達到最小。最新推出的4200A-SCS突出了易用性和以下功能:

· 內嵌YouTube類測量指引視頻,包括中文、英文、日文和韓文,介紹了怎樣設置、執(zhí)行及調試測試,并包含各種應用指南和網上研討會

· 超過450項隨時可以使用的、用戶可以修改的應用及器件,快速提升測試計劃開發(fā)工作

· 可視化測試計劃開發(fā)和測試排序工具

· 集成置信度檢查,用戶可確保探頭接觸晶圓焊盤

“實踐證明,吉時利4200A-SCS提供了先進的參數測試功能與易用性的理想組合?!毙聦嶒炇抑笇T兼協(xié)調員Dane Sievers說,“事實上,該儀器的操作非常直觀易懂,甚至未經培訓就能操作?!?/p>

4200A-SCS由以下幾部分組成:源測量單元,用于I-V表征;電容-電壓模塊,用于AC阻抗測量;超快速脈沖測量單元,用于執(zhí)行脈沖式I-V、波形捕獲和瞬態(tài)I-V測量。通過4200A-SCS,研究人員或工程師可以測試關鍵參數,滿足材料研究、半導體器件設計、開發(fā)或生產等需求。

“我們做了大量的工作,即使是以前沒有參數分析儀經驗的用戶,4200A-SCS設置起來也非常簡便,而且很容易學習。”泰克科技公司吉時利產品線總經理Mike Flaherty說,“4200A-SCS的易用性,使其特別適合伊利諾伊大學正在建設的這類教學實驗室,以及在多個用戶之間共享資源的半導體器件研究、器件故障分析和可靠性測試等應用。”

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