《電子技術(shù)應(yīng)用》
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伊利諾伊大學(xué)采用泰克儀器裝備納米制造實(shí)驗(yàn)室

2017-10-23

全球領(lǐng)先的測(cè)量解決方案提供商——泰克科技公司日前宣布,伊利諾伊大學(xué)香檳分校電氣和計(jì)算機(jī)工程系購買了三臺(tái)吉時(shí)利4200A-SCS參數(shù)分析儀及三個(gè)4200A-CVIV多功能開關(guān)模塊,用于首個(gè)本科生納米加工實(shí)驗(yàn)室,旨在為學(xué)生提供與微納電子動(dòng)手實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)。4200A-SCS是一種全面集成的模塊化參數(shù)分析儀,用來對(duì)材料、半導(dǎo)體器件和工藝進(jìn)行電氣特性測(cè)試。4200A-CVIV提供了一種錯(cuò)誤檢驗(yàn)方法,在DC和AC測(cè)量之間實(shí)現(xiàn)切換,并把AC測(cè)量傳送到測(cè)試設(shè)備的任意端子。

伊利諾伊大學(xué)正在建立納米制造實(shí)驗(yàn)室——阿提斯ECE大樓,建筑面積23萬平方英尺,有20多間實(shí)驗(yàn)室,為學(xué)生提供電子和計(jì)算操作培訓(xùn)。該大學(xué)之所以在納米制造鑄造實(shí)驗(yàn)室中選擇4200A-SCS,是因?yàn)槠湎M徺I的設(shè)備能夠立即投入使用,而使學(xué)生和新用戶的培訓(xùn)達(dá)到最小。最新推出的4200A-SCS突出了易用性和以下功能:

· 內(nèi)嵌YouTube類測(cè)量指引視頻,包括中文、英文、日文和韓文,介紹了怎樣設(shè)置、執(zhí)行及調(diào)試測(cè)試,并包含各種應(yīng)用指南和網(wǎng)上研討會(huì)

· 超過450項(xiàng)隨時(shí)可以使用的、用戶可以修改的應(yīng)用及器件,快速提升測(cè)試計(jì)劃開發(fā)工作

· 可視化測(cè)試計(jì)劃開發(fā)和測(cè)試排序工具

· 集成置信度檢查,用戶可確保探頭接觸晶圓焊盤

“實(shí)踐證明,吉時(shí)利4200A-SCS提供了先進(jìn)的參數(shù)測(cè)試功能與易用性的理想組合?!毙聦?shí)驗(yàn)室指導(dǎo)員兼協(xié)調(diào)員Dane Sievers說,“事實(shí)上,該儀器的操作非常直觀易懂,甚至未經(jīng)培訓(xùn)就能操作?!?/p>

4200A-SCS由以下幾部分組成:源測(cè)量單元,用于I-V表征;電容-電壓模塊,用于AC阻抗測(cè)量;超快速脈沖測(cè)量單元,用于執(zhí)行脈沖式I-V、波形捕獲和瞬態(tài)I-V測(cè)量。通過4200A-SCS,研究人員或工程師可以測(cè)試關(guān)鍵參數(shù),滿足材料研究、半導(dǎo)體器件設(shè)計(jì)、開發(fā)或生產(chǎn)等需求。

“我們做了大量的工作,即使是以前沒有參數(shù)分析儀經(jīng)驗(yàn)的用戶,4200A-SCS設(shè)置起來也非常簡(jiǎn)便,而且很容易學(xué)習(xí)?!碧┛丝萍脊炯獣r(shí)利產(chǎn)品線總經(jīng)理Mike Flaherty說,“4200A-SCS的易用性,使其特別適合伊利諾伊大學(xué)正在建設(shè)的這類教學(xué)實(shí)驗(yàn)室,以及在多個(gè)用戶之間共享資源的半導(dǎo)體器件研究、器件故障分析和可靠性測(cè)試等應(yīng)用。”

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