筆者從5月23日在北京舉行的02重大專項(xiàng)成果發(fā)布會(huì)上了解到，作為02專項(xiàng)的重點(diǎn)承擔(dān)單位，北方華創(chuàng)通過(guò)近九年的科技攻關(guān)，完成了刻蝕機(jī)、磁控濺射、氧化爐、低壓化學(xué)氣相沉積、清洗機(jī)、原子層沉積等集成電路設(shè)備90/55/40/28納米工藝驗(yàn)證，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。

據(jù)悉，公司的刻蝕機(jī)等三大類集成電路設(shè)備進(jìn)入14納米工藝驗(yàn)證階段，首次實(shí)現(xiàn)與國(guó)外設(shè)備同步驗(yàn)證。在02專項(xiàng)支持下，12英寸集成電路設(shè)備實(shí)現(xiàn)從無(wú)到有，批量銷售，成為公司的主要收入來(lái)源之一。并通過(guò)02專項(xiàng)成果擴(kuò)展應(yīng)用，公司成為LED、光伏等泛半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)際主流供應(yīng)商，近幾年的銷售收入平均增速達(dá)到40%。

北方華創(chuàng)是承擔(dān)02專項(xiàng)裝備項(xiàng)目最多的單位，同時(shí)也是零部件的最大用戶。因此，公司與上下游交流的機(jī)會(huì)很多，不但增進(jìn)了相互信任，也帶來(lái)了商機(jī)。

中芯國(guó)際作為北方華創(chuàng)的驗(yàn)證單位，承擔(dān)了公司大部分專項(xiàng)的驗(yàn)證工作，雙方建立了緊密的合作關(guān)系。中芯國(guó)際在開(kāi)發(fā)28納米工藝初期，根據(jù)自身工藝的特點(diǎn)，需要一種單片快速退火設(shè)備，國(guó)外還沒(méi)有完全符合要求的成熟產(chǎn)品，基于雙方的了解，主動(dòng)提出由北方華創(chuàng)來(lái)開(kāi)發(fā)此設(shè)備。雙方進(jìn)行了深入的交流，在不到一年的時(shí)間里，成功完成設(shè)備開(kāi)發(fā)及工藝驗(yàn)證，相關(guān)指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，成為中芯國(guó)際28納米生產(chǎn)線基線配置產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)批量銷售。

此外，通過(guò)與本土零部件企業(yè)合作，大幅提升了設(shè)備的性價(jià)比，在LED、光伏等領(lǐng)域全面替代進(jìn)口產(chǎn)品，不僅增加了客戶效益，更為公司帶來(lái)數(shù)十億的銷售收入，成為海內(nèi)外主流產(chǎn)品，刻蝕機(jī)、濺射設(shè)備、擴(kuò)散設(shè)備多種產(chǎn)品市場(chǎng)占有率第一，批量出口美國(guó)、印度和臺(tái)灣地區(qū)。