《電子技術(shù)應(yīng)用》
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中芯國際北京廠12吋國產(chǎn)設(shè)備加工突破千萬片次

2016-12-21

    截至今年11月,中芯國際北京廠使用國產(chǎn)設(shè)備加工的12英寸正式產(chǎn)品晶圓加工突破1000萬片次。這標(biāo)志著國產(chǎn)設(shè)備技術(shù)和市場競爭力邁上了一個(gè)新臺階,也意味著在以精密、嚴(yán)苛著稱的集成電路生產(chǎn)領(lǐng)域,國產(chǎn)設(shè)備正通過進(jìn)口替代,穩(wěn)步走向“前臺”。

  12英寸集成電路國產(chǎn)設(shè)備是實(shí)現(xiàn)我國集成電路芯片自主制造的基礎(chǔ),設(shè)備要求高,系統(tǒng)復(fù)雜,相當(dāng)長時(shí)間內(nèi),主要由美日德等設(shè)備供應(yīng)商供應(yīng)。2008年,國家科技重大專項(xiàng)02專項(xiàng)組織“產(chǎn)學(xué)研”聯(lián)合開發(fā),把目標(biāo)直接定在世界上最先進(jìn)的40納米和28納米技術(shù)節(jié)點(diǎn),并由行業(yè)的龍頭企業(yè)牽頭。

    隨著專項(xiàng)的順利實(shí)施,集成電路生產(chǎn)制造關(guān)鍵設(shè)備實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化并為國產(chǎn)設(shè)備在中國集成電路產(chǎn)業(yè)鏈中的大面積應(yīng)用打開了局面。2015年,中芯國際北京廠新增包括干法刻蝕機(jī)、物理氣相沉積設(shè)備、單片退火爐設(shè)備等在內(nèi)的國產(chǎn)設(shè)備主機(jī)臺及附屬機(jī)臺數(shù)百臺。這些國產(chǎn)設(shè)備出色地通過了28納米至90納米技術(shù)節(jié)點(diǎn)的大生產(chǎn)線驗(yàn)證,與進(jìn)口設(shè)備同臺競技。

  國產(chǎn)設(shè)備進(jìn)入集成電路生產(chǎn)線難在哪?“以往的探索式研究只需要單點(diǎn)突破,100次嘗試有一次成功就可以宣告成功了?,F(xiàn)在要提供大生產(chǎn)技術(shù),必須100次都成功,而且成功的結(jié)果還必須完全一樣,發(fā)散一點(diǎn)兒都不行?!敝行颈狈礁笨偨?jīng)理張昕告訴記者,在高風(fēng)險(xiǎn)、高投入的集成電路產(chǎn)業(yè),裝備的設(shè)計(jì)也要改變在實(shí)驗(yàn)室里閉門造車的習(xí)慣,要預(yù)先知道生產(chǎn)的具體要求,隨時(shí)改進(jìn),共同開發(fā)。

  值得注意的是,目前中芯國際北京廠使用的國產(chǎn)設(shè)備中,有相當(dāng)一部分產(chǎn)自其所在的北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)。與中芯國際北京廠“比鄰”的北方華創(chuàng),已成功開發(fā)了以刻蝕設(shè)備、化學(xué)氣相沉積設(shè)備、物理氣相沉積設(shè)備三大類半導(dǎo)體裝備產(chǎn)品為基礎(chǔ)的20余類產(chǎn)品,成功替代國外廠商同類產(chǎn)品。

 “區(qū)域的集成電路產(chǎn)業(yè)鏈布局為實(shí)現(xiàn)芯片制造設(shè)備國產(chǎn)化奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ),開發(fā)區(qū)已形成集制造、封測、裝備、零部件及材料、設(shè)計(jì)企業(yè)在內(nèi)的完備產(chǎn)業(yè)鏈。”北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)投資促進(jìn)局局長王延衛(wèi)告訴記者,目前亦莊集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模占北京市的二分之一。

  一批代表企業(yè)及研究機(jī)構(gòu)關(guān)鍵裝備及材料、先進(jìn)工藝的開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化等方面取得一批代表國家最高水平的成果,為我國集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)自主發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ),也確立了北京在全國集成電路產(chǎn)業(yè)布局中的領(lǐng)先地位。

  未來,亦莊開發(fā)區(qū)將致力于成為全球領(lǐng)先的,先進(jìn)新型存儲器、基帶芯片和射頻電路、電力電子及功率器件、集成電路代工及裝備四大高精尖領(lǐng)域的研發(fā)制造中心。同時(shí),以建立上下游價(jià)值鏈、整合產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈、打造具有國際競爭力的大企業(yè)為依托,積極推進(jìn)中國集成電路產(chǎn)業(yè)的技術(shù)創(chuàng)新、模式創(chuàng)新、制度創(chuàng)新,實(shí)現(xiàn)全產(chǎn)業(yè)鏈在京津冀地區(qū)布局集群發(fā)展,成為中國集成電路產(chǎn)業(yè)的核心區(qū)與承載地。


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