IMT與北京大學微納電子學研究院深入合作推動MEMS工藝技術持續(xù)發(fā)展

　　美國加利福尼亞州圣巴巴拉市及中國北京，2016年12月8日 — 美國最大的MEMS 技術和制造服務提供商IMT公司（Innovative Micro Technology）日前宣布：公司為北京大學微納電子學研究院的三位學生頒發(fā)了2016年度MEMS專項獎學金，以獎勵他們在MEMS工藝技術開發(fā)領域的杰出成就。這次頒獎也標志著IMT與北京大學微納電子學研究院開展戰(zhàn)略合作已滿一周年。該獎學金已為MEMS器件制造工藝技術及相關領域內(nèi)的基礎研究提供了支持，接下來將繼續(xù)推動MEMS技術的創(chuàng)新，并將在全球范圍內(nèi)為人才培養(yǎng)提供幫助。

　　在對所有申請獎學金的候選人進行大量評估和答辯后，北京大學微納電子學研究院將獎學金授予了三位學生。2016年度獎學金的獲得者是程曉亮、毛逸飛和張立。這三位IMT獎學金獲得者的研究方向分別為使用碳氟等離子體的無掩膜皺紋結構的可控制造，聚焦離子束應力引入技術，以及SOG（Silicon On Glass）工藝質(zhì)量監(jiān)控和工藝相關參數(shù)提取。他們的研究成果在MEMS工藝技術方面取得了突破，并且在MEMS器件制造及應用中具有發(fā)展?jié)摿颓熬啊?/p>

　　MEMS已經(jīng)成為了一項關鍵的技術，被用來應對物聯(lián)網(wǎng)、智能化和生物技術領域內(nèi)快速發(fā)展的技術和應用。MEMS技術持續(xù)演進，推動了器件制造工藝、新材料及封裝等方面的創(chuàng)新，以滿足未來的需求。在當今的電子系統(tǒng)中，MEMS已經(jīng)作為一種整合技術出現(xiàn)在諸多不同的應用中，例如無人駕駛設備、智能電話、可穿戴電子產(chǎn)品、細胞計數(shù)器和機器人等等應用，新型的MEMS器件正在被快速地開發(fā)并推出。MEMS技術的拓展及其發(fā)展前景不但激勵著IMT 和北京大學微納電子學研究院等領先的制造與研究機構去自發(fā)地推動MEMS技術的先進研究和開發(fā)，同時也促動他們與行業(yè)中志同道合的伙伴積極開展合作。

　　2015年，IMT與北京大學微納電子學研究院簽署戰(zhàn)略合作伙伴協(xié)議，旨在通過攜手合作加快MEMS技術在中國和美國的發(fā)展。作為該協(xié)議的一部分，IMT在MEMS研究和開發(fā)領域設立了專項獎學金，每年向北京大學的三名（個）學生個人或團隊提供獎學金。該獎學金鼓勵創(chuàng)新，并有助于在通信、人類健康、農(nóng)業(yè)優(yōu)化和可再生能源等眾多領域中展現(xiàn)出MEMS制造的優(yōu)勢。該獎學金計劃是首項在中國專門針對MEMS制造工藝技術開發(fā)而設立的獎學金。

　　“很高興能夠代表IMT再一次為北京大學微納電子學研究院的優(yōu)秀學生頒發(fā)我們的年度專項獎學金，今年同學們提交的所有論文都以極高的質(zhì)量和創(chuàng)新給我們留下了深刻的印象，也反映了該院在MEMS技術領域內(nèi)又取得了許多技術進步和突破，”IMT 首席執(zhí)行官Craig Ensley先生表示?！白?015年IMT與北京大學微納電子學研究院形成戰(zhàn)略關系以來，雙方在開發(fā)新的MEMS制造工藝及技術方面展開了合作并已經(jīng)從中獲益。這將為IMT利用自己全球領先的 MEMS 器件加工技術服務中國MEMS產(chǎn)業(yè)帶來新的機會。兩個組織擁有一個共同的目標，即通過基于MEMS的技術來實現(xiàn)物聯(lián)網(wǎng)及其他新興技術的快速發(fā)展?！?/p>

　　“在過去的兩年中，IMT-北京大學微納電子學研究院MEMS專項獎學金計劃已經(jīng)獎勵了5位學生和1個學生團隊。同學們的研究為MEMS工藝技術開發(fā)和制造帶來了真實的貢獻。該獎學金為其他青年才俊開啟了一扇大門，有助于擴展他們的視野，并使他們致力于創(chuàng)新以邁向新一代MEMS技術?！北本┐髮W微納電子學研究院李志宏教授表示，“我們與IMT之間的合作伙伴關系，以及其他類似的行業(yè)合作，對于持續(xù)創(chuàng)新而言都是至關重要的?！?/p>