美國加利福尼亞州圣巴巴拉市和中國北京，2019年5月6日 — 美國最大的MEMS 技術和平臺方案獨立提供商IMT公司（Innovative Micro Technology）日前宣布：公司為北京大學微納電子學研究院的三名（個）優(yōu)秀學生（團隊）頒發(fā)了2018年度MEMS專項獎學金，以鼓勵他們在MEMS工藝技術研究與開發(fā)領域所做的貢獻，并激勵更多未來之才持續(xù)投身MEMS制造工藝技術的創(chuàng)新研究。這是IMT為北京大學微納電子學研究院頒發(fā)的第四屆MEMS專項獎學金，也標志著雙方開展戰(zhàn)略合作已有四年。本年度最終獲頒獎學金的是黃東、李君實（團隊），朱佳（個人），李婷宇、徐涵、周文博（團隊）。

IMT公司積極參與中國半導體生態(tài)發(fā)展，與眾多伙伴開展了廣泛而深入的合作。除了為中國領先的器件設計公司代工生產(chǎn)先進的MEMS產(chǎn)品，IMT還與諸多研究機構攜手，致力于MEMS制造工藝技術的研發(fā)。IMT和北京大學微納電子學研究院的戰(zhàn)略合作始于2015年，作為該合作的一部分，IMT在MEMS研究和開發(fā)領域設立了專項獎學金，每年向北京大學的三名（個）學生（團隊）提供獎學金。該獎學金計劃是首項在中國專門針對MEMS制造工藝技術開發(fā)而設立的獎學金。

隨著IMT和北京大學微納電子學研究院的戰(zhàn)略合作持續(xù)深化，越來越多的學生開始在MEMS工藝技術研究方面投入精力，并參與到MEMS專項獎學金的角逐中來。在對所有申請獎學金的候選人進行大量評估和答辯后，北京大學微納電子學研究院最終將2018年度獎學金授予了黃東、李君實（團隊），朱佳（個人），李婷宇、徐涵、周文博（團隊）。這三組IMT獎學金獲得者的研究方向分別為用于生物MEMS應用的先進微針陣列電極制造，用于生物傳感的三維空腔光學納米天線的制造，用于液體活檢應用的聚一氯對二甲苯（Parylene C）微孔過濾膜的制造和功能化。他們的研究成果在MEMS工藝技術方面取得了突破，并且在MEMS器件制造及應用中具有發(fā)展?jié)摿颓熬啊?/p>

MEMS已經(jīng)作為一種整合技術出現(xiàn)在諸多不同的應用中，例如物聯(lián)網(wǎng)、無人機、智能手機、可穿戴電子產(chǎn)品、生物領域和機器人等應用，新型的MEMS器件正在被快速地開發(fā)并推出。為了不斷推動MEMS技術的創(chuàng)新，IMT 和北京大學微納電子學研究院等領先的研究機構結為合作伙伴并積極開發(fā)先進制造工藝技術，以應對眾多領域快速發(fā)展的需求。

“很高興又一次代表IMT為北京大學微納電子學研究院的優(yōu)秀學生頒發(fā)MEMS專項獎學金。雙方合作四年以來，我們看到學生們開展的研究越來越深入，創(chuàng)新性也越來越強。這讓我們對MEMS產(chǎn)業(yè)的前景抱有極大的信心?！盜MT 首席執(zhí)行官Craig Ensley先生表示?！爸袊侨虬雽w產(chǎn)業(yè)最重要的市場之一，IMT始終對中國的半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展保持高度關注，同時我們也期待利用自己全球領先的 MEMS 器件加工技術和產(chǎn)業(yè)經(jīng)驗助力中國的MEMS技術創(chuàng)新、產(chǎn)品開發(fā)、國際合作邁上一個新的臺階?！?/p>

“通過與IMT這樣全球領先的MEMS制造服務公司合作，尤其是借助MEMS 專項獎學金計劃，我們?yōu)榍嗄瓴趴冮_啟了一扇大門，有助于擴展他們的視野，并為他們開展新一代MEMS技術的創(chuàng)新研究提供了很好的平臺。”北京大學微納電子學研究院王瑋教授表示?！岸嗄陙?，北京大學微納電子學研究院一直致力于MEMS新技術、新工藝的研發(fā)，以及為行業(yè)培養(yǎng)更多的優(yōu)秀工藝研發(fā)人才。希望通過我們與IMT甚至更多機構的共同努力，能夠推動MEMS技術在中國乃至全球快速發(fā)展并實現(xiàn)在業(yè)內的更廣泛應用?！?/p>

關于IMT（Innovative Micro Technology）

IMT是全球領先的MEMS技術和平臺方案提供商，擁有多樣化的工藝和客戶。IMT成立于2000年，專門生產(chǎn)微機電系統(tǒng)（MEMS）器件。IMT擁有占地130,000平方英尺的生產(chǎn)廠，其中有一間30,000平方英尺、等級為100的無塵室/晶圓廠，是世界上最大、配置最精良的MEMS晶圓廠之一。IMT提供MEMS量產(chǎn)，以及從設計到生產(chǎn)過程的制造服務。IMT服務的企業(yè)分布在各個應用領域，包括繼電器、醫(yī)療診斷、給藥、生物醫(yī)學、微流體、顯示屏、慣性導航、光學通信、印刷、夜視儀、紅外發(fā)射器、電話/DSL切換、射頻器件、電源管理、各類傳感器及相關領域。IMT將始終與各公司密切合作，共同研發(fā)和制造基于MEMS技術的新型產(chǎn)品。

關于北京大學微納電子學研究院

北京大學微納電子學研究院（IME/Peking University）是中國頂級的微電子/納米電子科技研究和教育基地。其特點是擁有一套完整的教學、培訓和研究體系，并配有各種先進設施。該研究院的雄厚實力反映在其水平優(yōu)異、數(shù)量充足的教職員工隊伍上： 30 位教授、4 位教授級高級工程師、22 位副教授、10 位高級工程師、10 位講師和工程師。他們中有很多人是公認的微電子學專家，包括舉世聞名的科學家王陽元院士和黃如院士。該院還有三個配有先進研究條件的國家級或省部級重點實驗室，研究條件與世界上其他著名大學不相上下。該院每年招收本科生約 40 人，碩士生和博士生 50 余人。

北京大學微納電子學研究院集成微納系統(tǒng)（MEMS）研究所成立于 1996 年，是微米/納米加工技術國家級重點實驗室的重要組成部分。其包含對硅基微納加工技術、微納傳感器與執(zhí)行器和微納系統(tǒng)集成技術的基礎研究和應用研究。近五年來，在頂級會議和期刊（如 IEEE MEMS、Transducers、MicroTAS、Small、Lab Chip、JMEMS和JMM）上發(fā)表了 160 余篇高質量研究論文。