MEMS微機(jī)電系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)的是機(jī)械能與電能的轉(zhuǎn)換,且是雙向轉(zhuǎn)換。MEMS傳感器將機(jī)械能轉(zhuǎn)化為電能,即感測;MEMS執(zhí)行器將電能轉(zhuǎn)化為機(jī)械能,即執(zhí)行。對(duì)于MEMS傳感器傳感器,我們一點(diǎn)也不陌生,但相比起來,MEMS執(zhí)行器則一直不溫不火,雖有應(yīng)用但未受到太多關(guān)注。近日,意法半導(dǎo)體執(zhí)行副總裁兼模擬、MEMS和傳感器產(chǎn)品事業(yè)部總經(jīng)理Benedetto Vigna在媒體會(huì)上表示,未來MEMS執(zhí)行器將迎來比MEMS傳感器更快的增長。

    去年,Benedetto就強(qiáng)調(diào)過MEMS的兩面性——即MEMS傳感器和MEMS執(zhí)行器。意法半導(dǎo)體是唯一一家能夠提供全部MEMS傳感器和MEMS執(zhí)行器的公司。其產(chǎn)品可分為壓電式執(zhí)行器、微反射鏡、射流微執(zhí)行器、環(huán)境傳感器、MEMS麥克風(fēng)及運(yùn)動(dòng)傳感器。

    早在2000年,意法半導(dǎo)體就發(fā)布了射流微執(zhí)行器產(chǎn)品,應(yīng)用于打印機(jī)噴頭中,HP即是其主要客戶之一。然而之后的十余年,因?yàn)樯a(chǎn)工藝、技術(shù)、應(yīng)用需求等多種原因,MEMS執(zhí)行器并未取得太多進(jìn)展。在意法半導(dǎo)體的產(chǎn)品發(fā)布圖上就可以看到這樣一片空白,從2005年至2015年見,意法半導(dǎo)體發(fā)布了多款加速度計(jì)、陀螺儀、壓力傳感器、麥克風(fēng)、紫外傳感器、濕度傳感器等MEMS傳感器產(chǎn)品,但無一MEMS執(zhí)行器新品出現(xiàn)。直至2015年,才陸續(xù)發(fā)布了壓電執(zhí)行器和微反射鏡新品。

    目前,意法半導(dǎo)體MEMS產(chǎn)品銷量已超100億件,成為MEMS和傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展的領(lǐng)航者。其產(chǎn)品由傳統(tǒng)市場與傳統(tǒng)產(chǎn)品不斷向從新興市場和新型應(yīng)用拓展。十年前,意法半導(dǎo)體將MEMS傳感器應(yīng)用于消費(fèi)電子產(chǎn)品,推動(dòng)了整個(gè)MEMS市場的蓬勃發(fā)展。今天,意法半導(dǎo)體看到,隨著工藝的發(fā)展和新興應(yīng)用的出現(xiàn),,意識(shí)到MEMS執(zhí)行器的市場需求急速上升,這將是又一次的發(fā)展機(jī)遇。

    與MEMS傳感器不通,除了MEMS本身的結(jié)構(gòu)工藝和低功耗數(shù)字電路之外,MEMS執(zhí)行器還需要在低功耗前提下有個(gè)對(duì)電源管理的特殊制程,這是因?yàn)樽鑫⑿屯七M(jìn)器時(shí)還需要高電壓、大電流模擬開發(fā)技術(shù)。意法半導(dǎo)體公司25年之前就研發(fā)出領(lǐng)先業(yè)界的BCD技術(shù),這項(xiàng)技術(shù)與MEMS技術(shù)相結(jié)合,成就了意法半導(dǎo)體MEMS執(zhí)行器獨(dú)一無二的優(yōu)勢(shì)。

    意法半導(dǎo)體將MEMS微執(zhí)行器歸為四類:壓電式微執(zhí)行器、靜電式微執(zhí)行器、熱學(xué)微執(zhí)行器以及電磁微執(zhí)行器。其中壓電式微執(zhí)行器可應(yīng)用于相機(jī)自動(dòng)對(duì)焦、噴墨打印頭;靜電式微執(zhí)行器應(yīng)用于微型反射鏡、免觸控用戶界面、超級(jí)本投影;熱學(xué)微執(zhí)行器應(yīng)用于噴墨打印頭和MEMS微射流執(zhí)行器;電磁微執(zhí)行器應(yīng)用于衛(wèi)星反射鏡、免觸控用戶界面、超極本投影。

    Benedetto表示,雖然MEMS執(zhí)行器市場才剛剛起步,距離真正的市場爆發(fā)還有一點(diǎn)時(shí)間。但是意法半導(dǎo)體會(huì)在這方面持續(xù)投入人力物力去研發(fā)、開拓出更好的技術(shù)和產(chǎn)品。