互聯(lián)網(wǎng)時(shí)代的繁榮，從技術(shù)層面看，靠的是一塊塊刻著細(xì)密電路的半導(dǎo)體芯片，而將蘊(yùn)藏著智能的集成電路刻上硅片的，則是光刻機(jī)。芯片越做越小，用來雕刻芯片的光刻機(jī)則越來越復(fù)雜，成為集光機(jī)電等多學(xué)科尖端技術(shù)于一體的“智能制造業(yè)中的珠穆朗瑪峰”。
       面對(duì)發(fā)達(dá)國(guó)家的技術(shù)封鎖，中國(guó)能靠自己力量登上這座“珠穆朗瑪峰”嗎？
　　   2002年，光刻機(jī)被列入國(guó)家863重大科技攻關(guān)計(jì)劃，由科技部和上海市共同推動(dòng)成立上海微電子裝備有限公司來承擔(dān)，2008年國(guó)家又啟動(dòng)了“02”科技重大專項(xiàng)予以銜接持續(xù)攻關(guān)。經(jīng)過十幾年潛心研發(fā)，我國(guó)已基本掌握了高端光刻機(jī)的集成技術(shù)，并部分掌握了核心部件的制造技術(shù)。
　　   更值得一提的是，雖然用于集成電路前道制造的光刻機(jī)工作母機(jī)的研發(fā)之路還未達(dá)終點(diǎn)，但一路伴隨研發(fā)誕生的相關(guān)技術(shù)，已開始產(chǎn)生輻射效應(yīng)：先進(jìn)封裝光刻機(jī)已占領(lǐng)了90%的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)，預(yù)計(jì)未來兩年國(guó)際市場(chǎng)占有率可達(dá)50%；OLED光刻機(jī)已形成了成熟產(chǎn)品，也已進(jìn)入海外市場(chǎng)銷售。
　　   創(chuàng)新資源整合，站上全球產(chǎn)業(yè)制高點(diǎn)
　　   浦東張江，上海微電子創(chuàng)始人賀榮明就在這里，與最初的幾位創(chuàng)業(yè)者開始了光刻機(jī)的研發(fā)之路?！爱?dāng)時(shí)國(guó)內(nèi)懂行的人寥寥無幾，國(guó)際上又封鎖技術(shù)。而當(dāng)時(shí)所有投入，在國(guó)外只夠造一個(gè)超凈車間?！辟R榮明說，盡管如此，技術(shù)上有再多困難，他也有信心克服，當(dāng)時(shí)要讓人理解光刻機(jī)的意義、技術(shù)風(fēng)險(xiǎn)，才是最難的。想象一下，一束激光經(jīng)過上百塊玻璃的聚焦，在硅片上刻下一道道相距僅幾十納米寬的電路——這難度相當(dāng)于坐在一架超音速飛行的飛機(jī)上，拿著線頭穿進(jìn)另一架飛行中的飛機(jī)上的針孔。
　　   但再難也要做，因?yàn)樵觳怀鲎约旱墓饪虣C(jī)，集成電路產(chǎn)業(yè)的命脈就不能掌握在自己手中。目前，世界上僅有美、德、日等少數(shù)幾個(gè)國(guó)家有制造能力。
　　   英國(guó)一位經(jīng)濟(jì)學(xué)家指出，長(zhǎng)期而富有耐心的政府資助是突破性創(chuàng)新的絕對(duì)先決條件。作為國(guó)家“十五”、“十一五”、“十二五”發(fā)展規(guī)劃中的重點(diǎn)制造裝備，光刻機(jī)得到了穩(wěn)定的資助?！白屵@個(gè)項(xiàng)目落地上海，是上海市政府富有戰(zhàn)略眼光的決策，是真正具有創(chuàng)新精神的決策。”賀榮明說，從建造大樓、研發(fā)經(jīng)費(fèi)配套，到政策扶持，上海市政府為光刻機(jī)的成長(zhǎng)，提供了穩(wěn)定而長(zhǎng)期的支持。
　　   作為制造業(yè)皇冠上的明珠，光刻機(jī)的制造集光機(jī)電等高技術(shù)于一體，任何一個(gè)零部件的生產(chǎn)要求，都可能為一個(gè)配套產(chǎn)業(yè)帶來創(chuàng)新能級(jí)提升的機(jī)會(huì)。賀榮明說，整個(gè)研發(fā)過程相當(dāng)艱苦，除了出差，每天早上7點(diǎn)出門，晚上10點(diǎn)回家，就是他這十幾年生活的全部。
　　   然而，忍受這種“煎熬”是值得的。從2012年開始，培育起了供應(yīng)鏈的上海微電子，開始“沿途下蛋”，利用已經(jīng)掌握的光刻機(jī)技術(shù)，開發(fā)出了一系列光刻機(jī)產(chǎn)品，不到兩三年就走向了國(guó)際市場(chǎng)。據(jù)悉，先進(jìn)封裝光刻機(jī)500系列一進(jìn)入市場(chǎng)，就迫使國(guó)外同行產(chǎn)品降價(jià)近1/3。
　　   將創(chuàng)新基因注入人才團(tuán)隊(duì)
　　   創(chuàng)新，靠的是人才。上海微電子極為注重自己培養(yǎng)研發(fā)隊(duì)伍。
　　   十幾年前，國(guó)內(nèi)真正懂光刻機(jī)的人才很少，由于高端光刻機(jī)人才的稀缺性及受到國(guó)際技術(shù)限制等綜合因素，從海外引進(jìn)，一是可能性很小，二是回來可能“水土不服”。幾經(jīng)嘗試和綜合考慮，上海微電子決定采用以自主培養(yǎng)為主、引進(jìn)吸收為輔的人才培養(yǎng)策略，實(shí)踐證明，這是符合我們國(guó)情的有效方法。
　　   公司人事總監(jiān)賀躍進(jìn)說，由于光刻機(jī)需要多學(xué)科、大團(tuán)隊(duì)協(xié)作，要求既尊重人才，又不過分依賴個(gè)人。為此，他們已經(jīng)形成了一整套人才快速培養(yǎng)的機(jī)制。
　　   隨著研發(fā)團(tuán)隊(duì)日益龐大，如何向團(tuán)隊(duì)內(nèi)注入創(chuàng)新基因，使其不斷產(chǎn)生強(qiáng)大的創(chuàng)新變異能力？三年前，上海微電子推出鼓勵(lì)員工創(chuàng)新的“黃昏工程”，每年組織評(píng)選出10個(gè)年度創(chuàng)新研究課題，每個(gè)資助10萬元，創(chuàng)新研究過程中如果失敗可免責(zé)，成功有獎(jiǎng)，不斷營(yíng)造企業(yè)創(chuàng)新氛圍。如今，黃昏工程已產(chǎn)生多項(xiàng)發(fā)明專利。未來他們還將推出企業(yè)內(nèi)部“創(chuàng)新幣”，搭建創(chuàng)新交易平臺(tái)，讓創(chuàng)新變得更活躍。