晶硅太陽能電池（cSi）是目前市場上最成熟、并得到廣泛應(yīng)用的太陽能光伏電池，在整個產(chǎn)業(yè)占有90%的市場份額。日前，世界知名高科技設(shè)備制造商 Manz集團為滿足不斷增長的市場需求推出了業(yè)界領(lǐng)先的cSi生產(chǎn)解決方案，  在PERC太陽能電池的生產(chǎn)在線得以量產(chǎn)出（背面鈍化太陽能電池）平均效率高達20.6%的PERC電池。Manz此次展出兩款生產(chǎn)PERC電池的關(guān)鍵設(shè) 備參加SNEC第九屆（2015）國際太陽能產(chǎn)業(yè)及光伏工程（上海）展覽會（SNEC PV Power Expo 2015），包括用于太陽能電池正面和背面鈍化的VCS 1200垂直真空鍍膜系統(tǒng)，以及LAS 2400 激光開孔技術(shù)。該展會于4月28日至30日在上海新國際博覽中心舉行，是中國最具影響力的光伏（PV）太陽能產(chǎn)業(yè)展覽會之一。Manz公司展位為E3廳535號展位。

        Manz擁有關(guān)鍵的設(shè)備和工藝技術(shù)幫助客戶將其標(biāo)準(zhǔn)電池生產(chǎn)線轉(zhuǎn)換成高效率PERC電池生產(chǎn) 線，提高盈利并降低生產(chǎn)成本。Manz新一代生產(chǎn)工藝采用VCS 1200垂直真空鍍膜系統(tǒng)在電池背面沉積電介質(zhì)鈍化層，結(jié)合LAS  2400激光開孔技術(shù)，可幫助電池生產(chǎn)企業(yè)實現(xiàn)高效晶硅太陽能電池的大批量生產(chǎn)并節(jié)省更多總擁有成本。同時，由于采用了易于維護的全自動化工具，Manz 解決方案占用空間更小。VCS 1200和LAS 2400均適用于單晶硅和多晶硅太陽能電池生產(chǎn)。

        Manz VCS  1200系統(tǒng)在提升轉(zhuǎn)換效率的同時也提高了生產(chǎn)率，樹立了電池生產(chǎn)工藝新標(biāo)桿。它采用獨特的垂直加工技術(shù)，產(chǎn)量高達每小時1,200個硅片。這種垂直式構(gòu) 造結(jié)合全新的載具系統(tǒng)，可避免出現(xiàn)未鍍區(qū)。簡而言之，該鍍膜工藝不會在硅片上留下任何針印或缺陷，是許多同類廠商系統(tǒng)所不具備的獨特優(yōu)勢。此外，由于配備 了高效能電漿源，Manz高性能PECVD工藝技術(shù)保障了最佳的加工再現(xiàn)性，以及業(yè)界最高水平的電池效率和均勻性。同時，該系統(tǒng)采用的“快速更換清洗”理 念使電池制造企業(yè)得以在系統(tǒng)外部清洗工藝區(qū)和載具，實現(xiàn)了停機時間最小化。

        在激光技術(shù)領(lǐng)域，Manz作為領(lǐng)先的激光加工系統(tǒng)提供商，結(jié)合自身強大的技術(shù)實力為客戶提供關(guān) 于激光工藝、光學(xué)、視覺和自動化方面的解決方案。公司最具代表性的激光加工設(shè)備為LAS  2400激光開孔系統(tǒng)，已被多家知名太陽能電池制造商選用幫助他們成功實現(xiàn)高效PERC電池的量產(chǎn)。LAS  2400系統(tǒng)采用獨特的平頂式光斑設(shè)計，可實現(xiàn)30至80 μm的光斑尺寸和不同的光斑形狀，與高斯光束剖面相比可以更加靈活適應(yīng)不同的工作平面位置，為客 戶提供了一個開孔均勻、高度穩(wěn)定的工藝窗口。該系統(tǒng)采用模塊化、小尺寸設(shè)計，非常適宜現(xiàn)有生產(chǎn)線的升級，每小時可處理2,400個硅片。此外，基于掃描頭 的靈活性允許客戶自行設(shè)定開孔形狀。結(jié)合VCS 1200系統(tǒng)，Manz LAS  2400系統(tǒng)可用于背面鈍化層的局部電極開孔，是一款操作簡單、高精度、高產(chǎn)出的解決方案。Manz激光開孔技術(shù)為一站式工藝，不僅在這一電池生產(chǎn)流程保 證了最低擁有成本，還實現(xiàn)了硅片的安全處理，將破片率降至業(yè)界最低。未來Manz將繼續(xù)憑借自身的技術(shù)實力和專業(yè)知識來推動PERC  PECVD和激光開孔等技術(shù)的完善和升級。

        利用業(yè)界領(lǐng)先的自動化系統(tǒng)，Manz幫助客戶顯著提高企業(yè)生產(chǎn)力和生產(chǎn)線產(chǎn)量。Manz知名的 SpeedPicker  2.1優(yōu)化版系統(tǒng)目前是全球速度最快的自動化設(shè)備，在裝載和卸載過程中可實現(xiàn)100%的檢驗率，每小時可處理3,400個電池芯片，并且擁有進一步提升處 理能力的額外潛能。由于體積小巧，該系統(tǒng)可在有限空間內(nèi)實現(xiàn)現(xiàn)有生產(chǎn)線的升級，是客戶理想的投資選擇。SpeedPicker使用特殊的視覺系統(tǒng)來進行校 準(zhǔn)對齊，因而大大降低了在生產(chǎn)流程中因機械校準(zhǔn)操作而產(chǎn)生應(yīng)力造成硅片破損。Manz升級版SpeedPicker包含位置驗證和硅片校準(zhǔn)等核心技術(shù)，可 以識別邊緣和棱角，有助于清理已損壞的硅片。

        作為配套技術(shù)，Manz還提供了業(yè)界領(lǐng)先的濕化學(xué)加工工具IPSG CEI  4800，以去除硅片背面及邊緣的重?fù)诫s層，從而形成化學(xué)除邊（CEI）。此外，IPSG CEI  4800還可去除在之前擴散過程中殘留在硅片正面的磷硅玻璃（PSG）層。由于應(yīng)用了柔軟的海綿輥的概念并將基板機械應(yīng)力降至最低，IPSG CEI  4800可保障最低破片率。

        Manz集團首席執(zhí)行官Dieter  Manz表示：“經(jīng)過多年的發(fā)展，Manz與世界各地的知名太陽能企業(yè)都建立了良好的技術(shù)合作關(guān)系。Manz近期獲得的PERC生產(chǎn)解決方案訂單總額已超 過4000萬人民幣。包括晶澳太陽能（JA Solar）、聯(lián)景光電（Topcell）、新日光能源科技（NSP）、以及旭泓全球光電（中美硅晶宜蘭分公司）在內(nèi)的多家知名太陽能廠商都選用了我們的PERC生產(chǎn)解決方案來提高他們的生產(chǎn)率和產(chǎn)出質(zhì)量。在中國市場，Manz贏得了全球知名電池制造企業(yè)的高度認(rèn)可。作為唯一一家在工藝流程、激光和鈍化領(lǐng)域具備雄厚專業(yè)技術(shù)實力，能夠提供可靠自動化系統(tǒng)的設(shè)備提供商，我們可為客戶提供技術(shù)領(lǐng)先的高效率PERC量產(chǎn)工具，幫助并支持太陽能廠商擴展產(chǎn)能。”

        在光伏產(chǎn)業(yè)，Manz專注于晶硅太陽能電池和薄膜太陽能組件的生產(chǎn)工藝及解決方案。在晶硅太陽能領(lǐng)域，Manz致力于提供有關(guān)金屬化、激光加工、濕化學(xué)和真空鍍膜的工藝和設(shè)備、自動化解決方案、以及測試和檢驗技術(shù)。

Manz 集團 ——激情成就高效能 （passion for efficiency）

        Manz  集團總公司位于德國羅伊特林根市，是一家全球領(lǐng)先的高科技設(shè)備制造商。公司于1987年成立，在自動化、量測、激光加工、真空鍍膜、濕化學(xué)、印刷和鍍膜、 以及卷對卷工藝等七大技術(shù)領(lǐng)域擁有雄厚的技術(shù)實力。Manz致力于在太陽能、電子組件、電子器件和儲能等戰(zhàn)略業(yè)務(wù)領(lǐng)域應(yīng)用及持續(xù)開發(fā)上述技術(shù)。Manz  集團于2006 年在德國公開上市，由創(chuàng)立者Dieter Manz 先生擔(dān)任首席執(zhí)行官。Manz  集團目前在德國、中國大陸、臺灣、斯洛伐克、匈牙利及意大利皆設(shè)有自己的生產(chǎn)基地，而Manz  集團的業(yè)務(wù)銷售及服務(wù)網(wǎng)絡(luò)遍布全球，包括美國、韓國和印度。至2015年年初，Manz 集團在全球擁有約1,900名員工，其中在亞洲約有900  名。在該公司宣言“激情成就高效能”的推動下，Manz  承諾未來會為各種重點產(chǎn)業(yè)的客戶，提供更高效能的生產(chǎn)系統(tǒng)解決方案。作為世界領(lǐng)先的設(shè)備制造商，Manz為其全球眾多客戶降低終端產(chǎn)品的生產(chǎn)成本做出了巨 大貢獻。