綠色環(huán)保日益受到半導(dǎo)體廠重視，特別是晶圓制造業(yè)者為了在大量生產(chǎn)過程中降低耗材與停機(jī)成本，已開始評(píng)估在制程中采用新一代混合準(zhǔn)分子雷射光源；此種雷射系統(tǒng)不僅耗電量更低，且氣體用量也大幅減少，因而能兼顧晶圓廠綠色制造與降低營(yíng)運(yùn)成本的要求。
隨著各國(guó)持續(xù)發(fā)展專屬的耗能標(biāo)準(zhǔn)及實(shí)行綠色環(huán)保行動(dòng)，“綠色環(huán)保”儼然已成為現(xiàn)在及未來發(fā)展的主軸。綠色環(huán)保曾經(jīng)一度被視為流行的熱潮，但現(xiàn)在綠色環(huán)保行動(dòng)已成為一種強(qiáng)制性標(biāo)準(zhǔn)，其中不僅要求制造商堅(jiān)守其企業(yè)責(zé)任，也必須積極從源頭做起。最終，大規(guī)模制造商必須與其廠商及供應(yīng)商合作，共同實(shí)現(xiàn)整體成本及環(huán)保制造目標(biāo)。
追蹤及管理整體營(yíng)運(yùn)成本是支撐符合成本效益、大規(guī)模制造(HVM)環(huán)境的關(guān)鍵。有效率的合作夥伴已開始參與及運(yùn)用其技術(shù)發(fā)展“綠色”平臺(tái)，并在成本容許的范圍內(nèi)讓效益和對(duì)環(huán)境影響取得平衡。這些企業(yè)不僅利用其創(chuàng)新科技設(shè)計(jì)系統(tǒng)降低能源消耗成本，并設(shè)法讓終端使用者在大量制造時(shí)降低耗材與停機(jī)成本。藉由將各廠商與供應(yīng)商納入環(huán)保制造策略的整體營(yíng)運(yùn)模式，所研發(fā)之節(jié)能科技及環(huán)境改善可以大幅降低晶圓廠的營(yíng)運(yùn)成本。
舉例來說，在考量光源時(shí)，準(zhǔn)分子雷射的耗電量將伴隨著高功率雷射需求的成長(zhǎng)而增加，特別是針對(duì)18寸(450mm)晶圓制程，在過去6年中增加了4.5倍。伴隨著這些制程進(jìn)入大量制造階段，其對(duì)環(huán)境所造成的影響不容忽視。包括電力、氣體消耗與熱能處理在內(nèi)的準(zhǔn)分子雷射運(yùn)轉(zhuǎn)成本約占雷射整體營(yíng)運(yùn)成本的30%。顯然的，減少運(yùn)轉(zhuǎn)成本是非常關(guān)鍵的方向。
最后，對(duì)大量制造而言，雷射的真實(shí)價(jià)值完全端視其控管運(yùn)轉(zhuǎn)成本的效率。為了解決這個(gè)問題，許多公司都在努力找出解決方案。目前，相關(guān)業(yè)者正在開發(fā)一個(gè)采用固態(tài)雷射室的全新混合準(zhǔn)分子雷射系統(tǒng)。相較于目前系統(tǒng)功率需使用60kW，這個(gè)新系統(tǒng)所需功率只需要36kW。就成本考量而言，相較于單獨(dú)使用準(zhǔn)分子雷射系統(tǒng)，使用混合準(zhǔn)分子雷射于大量制造產(chǎn)業(yè)可降低約40%的整體電力消耗。對(duì)于其他正在進(jìn)行相關(guān)技術(shù)開發(fā)的公司來說，此技術(shù)是一個(gè)可降低耗能及協(xié)助大量制造的解決方案實(shí)例。
須注意的是，在綠色環(huán)保制造策略中，成功的合作夥伴能開發(fā)出更廣泛的技術(shù)解決方案以降低“耗材成本”與“停機(jī)成本”。此外，投入時(shí)間與大量資源開發(fā)環(huán)保系統(tǒng)的公司將能提供最有效的全方位解決方案，例如進(jìn)一步減少整體營(yíng)運(yùn)與維護(hù)成本，判斷您的潛在合作夥伴是否有開發(fā)更長(zhǎng)壽命的耗材產(chǎn)品開發(fā)計(jì)畫，或開發(fā)一套能節(jié)省耗材成本的系統(tǒng)。在混合雷射的案例中，譜線窄化模組(LNM)和強(qiáng)化前反射鏡(EFM)是很好的例子。氣體則是另一種會(huì)影響停機(jī)的耗材；相較于現(xiàn)有的雷射系統(tǒng)，有業(yè)者已開發(fā)出能使系統(tǒng)最佳化的全新技術(shù)，并能降低多達(dá)50%的氣體需求，同時(shí)減少一半因維護(hù)所需的停機(jī)時(shí)間。
企業(yè)在擬定大量制造的環(huán)保制造策略時(shí)，若要大幅降低整體營(yíng)運(yùn)成本，合作的公司須努力提供能減少耗能的解決方案、開發(fā)出更長(zhǎng)壽命的耗材、滿足低容量和低填充的氣體需求，進(jìn)而最大幅減少設(shè)備維護(hù)的停機(jī)時(shí)間。正確的合作夥伴不僅有降低成本的效益，也可保護(hù)人們的生存環(huán)境。