英國(guó)西薩克斯郡克勞雷（2014年3月18日）--全球領(lǐng)先的真空設(shè)備和尾氣處理系統(tǒng)制造商及相應(yīng)增值服務(wù)供應(yīng)商Edwards公司將在3月18-20日于上海新國(guó)際博覽中心(Shanghai New International Expo Centre，SNIEC)舉辦的SEMICON® China展會(huì)上展示一系列高性能真空泵，包括最近推出的STP-iXA4506大容量(large-capacity)渦輪分子泵(turbomolecular pump，TMP)。對(duì)于目前世界最大的半導(dǎo)體集成電路市場(chǎng)，SEMICON China展會(huì)是設(shè)備制造商展示其產(chǎn)品和技術(shù)的重要活動(dòng)。
Edwards公司總部設(shè)在英國(guó)，擁有完善成熟的全球品牌。Edwards公司真空和尾氣處理技術(shù)致力于在整個(gè)半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中減少污染、降低能耗和運(yùn)營(yíng)成本，這些領(lǐng)域包括LED、太陽(yáng)能光伏(solar PV)和平板顯示(flat-panel display，F(xiàn)PD)等。
Edwards全球市場(chǎng)半導(dǎo)體行業(yè)經(jīng)理Maiku Boger表示：“中國(guó)的半導(dǎo)體行業(yè)繼續(xù)表現(xiàn)出強(qiáng)勁增長(zhǎng)，尤其是受到國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的推動(dòng)。中國(guó)的戰(zhàn)略目標(biāo)包括新能源和環(huán)境的可持續(xù)性，因此，太陽(yáng)能光伏(PV)、FPD和化合物半導(dǎo)體等都屬于中國(guó)非常具有競(jìng)爭(zhēng)力的廣泛工業(yè)領(lǐng)域。Edwards公司的真空和尾氣處理系統(tǒng)是滿足這個(gè)巨大市場(chǎng)供應(yīng)鏈的絕對(duì)核心，從2005年開始，業(yè)界公認(rèn)中國(guó)已經(jīng)是世界最大的半導(dǎo)體芯片市場(chǎng)。”
Edwards的真空和尾氣處理系統(tǒng)緩解了一系列環(huán)境威脅，例如半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中產(chǎn)生的酸性和腐蝕性氣體，Edwards可幫助用戶實(shí)現(xiàn)碳排放為負(fù)值(carbon-negative)。Edwards通過一系列創(chuàng)新但已經(jīng)過驗(yàn)證的泵和系統(tǒng)來提供高能效解決方案，所有這些方案都僅需要相對(duì)較低的資本投入和維護(hù)成本。
Edwards在中國(guó)的主要目標(biāo)就是按照客戶的特定要求來提供定制的真空解決方案和增值服務(wù)，以便幫助他們應(yīng)對(duì)在先進(jìn)工藝和設(shè)備制造中遇到的挑戰(zhàn)。Edwards能夠在需要尾氣處理的場(chǎng)合提供“交鑰匙”系統(tǒng)方案。
Edwards將在上海展會(huì)展示新型STP-iXA4506大容量(large-capacity)渦輪分子泵(turbomolecular pump，TMP)，該新發(fā)布的產(chǎn)品經(jīng)專門設(shè)計(jì)為成本敏感的半導(dǎo)體、FPD、LED和太陽(yáng)能電池板制造商節(jié)省投資。STP-iXA4506具有高速度(4300 l/s N2)和高排氣量(高達(dá)4300 sccm N2)，并且結(jié)合了高效抽吸輕、重氣體的能力，因而成為廣泛的大容量、高流量應(yīng)用的理想選擇，這些應(yīng)用包括半導(dǎo)體蝕刻、LCD蝕刻、玻璃鍍膜、太陽(yáng)能物理氣相沉積(physical-vapour deposition，PVD)和PVD鍍膜。
Edwards在展位上展出的其它產(chǎn)品包括iH600、iXM1200 / 1800、STP iXA3306和iXH645H：
• iH600干泵為PECVD和LPCVD等復(fù)雜困難工藝提供了高可靠性，這些工藝存在著粉塵顆粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品。
• iXM1200 / iXM1800是Edwards公司首次在中國(guó)展出的優(yōu)化節(jié)能型設(shè)備，具有超低功率輸入。它還具有同類最佳的粉體處理和耐腐蝕性，達(dá)到最高可靠性并延長(zhǎng)泵的使用壽命。
• STP-iXA3306磁浮式渦輪分子泵帶有完全集成的板載控制器，無需泵和控制單元之間使用連接電纜。它還消除了安裝空間和成本，上述附件是傳統(tǒng)分體式(rack-type)控制單元所需要的。
• iXH645H干泵已針對(duì)MOCVD工藝進(jìn)行了優(yōu)化，該工藝用于LED制造和其它形式的化合物半導(dǎo)體生產(chǎn)。iXH泵的先進(jìn)技術(shù)可使維護(hù)需求最小化并使泵的運(yùn)行時(shí)間最大化，幫助降低運(yùn)營(yíng)成本。
歡迎所有SEMICON China 2014展會(huì)觀眾光臨Edwards在N1展廳中的1014展位，在這里，公司代表和應(yīng)用專家將在現(xiàn)場(chǎng)討論哪類泵和系統(tǒng)是您最合適的解決方案。
積極參與SEMICON China展會(huì)表明Edwards公司完全致力于服務(wù)中國(guó)客戶和發(fā)展在中國(guó)不斷增長(zhǎng)的服務(wù)機(jī)構(gòu)，其機(jī)構(gòu)現(xiàn)在包括兩個(gè)重要的制造基地，極大地增強(qiáng)了Edwards在中國(guó)的本地支持能力，并且加強(qiáng)了公司延伸至中國(guó)客戶的世界級(jí)服務(wù)和支持。
要了解有關(guān)Edwards的更多信息，請(qǐng)?jiān)L問公司網(wǎng)站：www.edwardsvacuum.com。
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關(guān)于Edwards
Edwards是一家全球領(lǐng)先的真空設(shè)備、尾氣處理系統(tǒng)和相關(guān)增值服務(wù)的開發(fā)商和制造商。其產(chǎn)品和服務(wù)在半導(dǎo)體、平板顯示器、LED和太陽(yáng)能電池的制造流程中不可或缺；被應(yīng)用于日益多樣化的工業(yè)生產(chǎn)過程，包括電力、玻璃和其他鍍膜應(yīng)用、鋼鐵和其他冶金工業(yè)、制藥和化學(xué)工業(yè)，并用于科學(xué)儀器和多種研發(fā)應(yīng)用。
Edwards在全球約20個(gè)國(guó)家擁有3,200多名全職雇員和500名臨時(shí)雇員，從事于高科技真空和廢氣管理設(shè)備的設(shè)計(jì)、制造和支持。
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