全球領先的半導體制造晶圓處理、清洗和表面處理設備供應商FSI國際有限公司（納斯達克：FSII），日前宣布收到來自重要半導體制造商的后續(xù)訂單，購買其新推出的ORION 單晶圓清洗技術平臺。該項后續(xù)訂單將為2008年12月23日發(fā)布的訂單的機臺提供擴充的晶圓清洗量能和性能。這一追加定購乃緣于已安裝的ORION機臺杰出表現(xiàn)所帶來的鼓舞。ORION系統(tǒng)將被應用于后段(BEOL)銅/低K導線制作。?

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“這項訂單對我們尤其重要，因為它證明了FSI的ORION技術在制造中的應用?！?SPAN lang=EN-US>FSI總裁兼首席執(zhí)行官Don Mitchell說道?！皩τ谖覀兯瞥龅挠糜?SPAN lang=EN-US>BEOL 32nm工藝的單晶圓新技術，該客戶已經(jīng)初步進行評估。他們在 ORION系統(tǒng)性能充分的杰出表現(xiàn)激勵下，決定擴大應用至當前大量生產(chǎn)線上。該項訂單使我們更加相信，即使在當前行業(yè)不景氣的情況下，我們的客戶依舊樂于為新技術投資，因為這些技術提供了優(yōu)越的性能和顯著的經(jīng)濟效益?！?SPAN lang=EN-US>?

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ORION系統(tǒng)特有的閉室設計，同時解決了前段(FEOL)和后段（BEOL）先進制造工藝中關鍵步驟上的清洗問題。關于FSI ORION系統(tǒng)的更多信息，請登陸FSI網(wǎng)站鏈接：http://www.fsi-intl.com/index.php/index.php/applications-and-products/orion-single-wafer-cleaning-cluster.?

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關于FSI：?

FSI國際有限公司是一家為微電子制造提供表面處理設備技術及支持服務的全球性的供應商。通過使用公司產(chǎn)品組合中的多晶圓批量和單晶圓的浸泡式、旋轉(zhuǎn)噴霧式、汽相和超凝態(tài)過冷動力學等一整套清洗技術產(chǎn)品，客戶能夠?qū)崿F(xiàn)他們的工藝性能、靈活性和生產(chǎn)能力目標。公司推出的支持服務項目包括了產(chǎn)品及工藝的提升，從而延長已安裝的FSI設備的使用壽命，使世界范圍內(nèi)的客戶的資本投資獲得更高的回報。?

FSI國際有限公司全球網(wǎng)站：http://www.fsi-intl.com.?