高速激光點陣光刻機(jī)的設(shè)計
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文檔介紹:為了制作大尺寸激光防偽商標(biāo),開發(fā)了高速激光點陣光刻機(jī)。該光刻機(jī)以工控機(jī)為上位機(jī),ARM LPC2138和單片機(jī)STC12C5401AD為下位機(jī),采用直線電機(jī)直接驅(qū)動X-Y工作臺,實現(xiàn)了高速高精度定位。
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