ULSI熱分析中考慮通孔自熱效應(yīng)后的有效熱導(dǎo)系數(shù)
所屬分類：技術(shù)論文
上傳者：aet
文檔大?。?span>2325 K
所需積分：0分積分不夠怎么辦？
文檔介紹：研究了ULSI熱分析中考慮通孔自熱效應(yīng)后的有效熱導(dǎo)系數(shù)的理論模型，詳細(xì)計(jì)算了不同的通孔間距、通孔直徑、通孔高度以及金屬線寬對(duì)有效熱導(dǎo)系數(shù)的影響。結(jié)果表明，考慮通孔自熱效應(yīng)后，使有效熱導(dǎo)系數(shù)的計(jì)算更加符合實(shí)際情況，為進(jìn)一步分析USLI的熱學(xué)模型提供了理論依據(jù)。
現(xiàn)在下載
VIP會(huì)員，AET專家下載不扣分；重復(fù)下載不扣分，本人上傳資源不扣分。