熱超聲倒裝鍵合機(jī)的視覺系統(tǒng)定位精度實驗研究
所屬分類：技術(shù)論文
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文檔介紹：簡要說明了視覺定位原理及定位實驗數(shù)據(jù)的采集過程，并對倒裝鍵合實驗臺的視覺定位系統(tǒng)的誤差進(jìn)行了理論分析。以熱超聲倒裝鍵合實驗臺為平臺，應(yīng)用HexSight圖像處理軟件，對實驗用1mm×1mm的表面有8個凸點的芯片進(jìn)行定位實驗。根據(jù)測得的實驗結(jié)果，分別對定位系統(tǒng)的平移誤差和旋轉(zhuǎn)誤差進(jìn)行了分析。采用對5次識別結(jié)果取平均值的優(yōu)化方法，使角度誤差減小到0.023 766°，單項誤差減小到0.183μm，綜合誤差減小到0.554μm。試驗結(jié)果表明,該視覺定位系統(tǒng)達(dá)到了熱超聲倒裝鍵合過程中芯片與基板之間的定位精度的要求。
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