-非常小的測量光斑,是點光面積,如真尚有公司ZLDS10X系列光斑面積約1mm,它比面積型非接觸電容、電渦流傳感器,對被測體面積幾乎無要求,適合測量非常小面積尺寸厚度;
-較遠的測量范圍起始間距。它比非接觸電容、電渦流傳感器起始間距大很多,如真尚有公司ZLDS100激光位移傳感器測量量程100mm,測量間距可以達到1000mm。這樣傳感器可以遠離被測體,免受碰壞,及被測體熱輻射影響;
-有很大的測量范圍,如真尚有公司ZLDS101激光位移傳感器量程達2000mm,這是其它傳感器很難做到的;
-與被測體材料無關(guān),即金屬非金屬體,非透明有漫反射條件表面都能測。
和其它傳感器測厚一樣,要實現(xiàn)精密測厚需要注意以下條件,否則再好的傳感器也測不準(zhǔn):
1、用單激光位移傳感器測厚
被測體放在測量平臺上,測量出傳感器到平臺表面距離,然后再測出傳感器到被測體表面間距,經(jīng)計算后測出厚度。要求被測體與測量平臺之間無氣隙,被測體無翹起。這些嚴格要求只有在離線情況實現(xiàn)。
2、 雙激光傳感器測厚
在被測體上方和下方各安裝一個激光位移傳感器,被測體厚度D=C-(A+B)。其中,C是兩個傳感器之間距離,A是上面?zhèn)鞲衅鞯奖粶y體之間距離,B是下面?zhèn)鞲衅鞯奖粶y體之間距離。圖中:SMR是指傳感器量程起始間距,MR是指傳感器量程。
在線厚度測量用這種方法優(yōu)點是可消除被測體振動對測量結(jié)果的影響。但同時對傳感器安裝和性能有要求。
保證測量準(zhǔn)確性的條件是:兩個傳感器發(fā)射光束必須同軸,以及兩個傳感器掃描必須同步(見本文附圖)。同軸是靠安裝實現(xiàn),而同步要靠選擇有同步端激光傳感器。如真尚有ZLDS10X系列激光位移傳感器都有同步端。
同步工作示意圖:
不同步將代來很大誤差:如果被測體存在振動頻率20HZ,振幅1mm,如果信號不同步延遲1ms,那么就會帶來125µm誤差。
安裝兩個激光同軸示意圖:
安裝使兩個激光同軸,不但確保被測體同一位置上的厚度,同時降低了被測體傾斜帶來的誤差。以被測體運動方向不同軸為例,當(dāng)不同軸1mm,被測體傾斜2°可帶來35µm誤差。